微納加工當中，GaN材料的刻蝕一般采用光刻膠來做掩膜，但是刻蝕GaN和光刻膠，選擇比接近1:1，如果需要刻蝕深度超過3微米以上就需要采用厚膠來做掩膜。對于刻蝕更深的GaN,那就需要采用氧化硅來做刻蝕的掩模，刻蝕GaN的氣體對于刻蝕氧化硅刻蝕比例可以達到8:1。應用于MEMS制作的襯底可以說是各種各樣的，如硅晶圓，中山MEMS微納加工工廠、玻璃晶圓、塑料、還其他的材料。硅晶圓包括氧化硅片、SOI硅片、高阻硅片等，硅片晶圓包括單晶石英玻璃、高硼硅玻璃、光學玻璃，中山MEMS微納加工工廠、光敏玻璃等。塑料材料包括PMMA、PS、光學樹脂等材料，中山MEMS微納加工工廠。其他材料包括陶瓷、AlN材料、金屬等材料。微納加工平臺支持基礎信息器件與系統等多領域、交叉學科，開展前沿信息科學研究和技術開發。中山MEMS微納加工工廠
微納制造技術一般是指微米、納米級的材料、設計、制造、測量控制和產品的研發、加工、制造以及應用技術。微納制造技術是繼IT、生物技術之后，21世紀較具發展潛力的研究領域和新興產業之一。微納制造技術較早是由加工精度研究的角度延伸出來的。伴隨著科技進步和制造業的快速發展，人們對加工精度的要求越來越高，傳統加工方式的加工精度越來越難以滿足諸多領域的應用和研究需求。這一需求促使人們投入到更高精度加工技術的研發上。從較初的毫米級（10-3m）到微米級（10-6m）和納米級（10-9m），人類的制造水平逐步由宏觀尺度向微觀尺度邁進，“微納制造技術”的概念也應運而生。中山MEMS微納加工工廠干法刻蝕能夠滿足亞微米/納米線寬制程技術的要求，且在微納加工技術中被大量使用。
基于掩模板圖形傳遞的光刻工藝可制作宏觀尺寸的微細結構，受光學衍射的限，適用于微米以上尺度的微細結構制作，部分優化的光刻工藝可能具有亞微米的加工能力。例如，接觸式光刻的分辨率可能到達0.5μm，采用深紫外曝光光源可能實現0.1μm。但利用這種光刻技術實現宏觀面積的納米/亞微米圖形結構的制作是可欲而不可求的。近年來，國內外比較多學者相繼提出了超衍射限光刻技術、周期減小光刻技術等，力求通過曝光光刻技術實現大面積的亞微米結構制作，但這類新型的光刻技術尚處于實驗室研究階段。
微納制造技術的發展，同樣涉及到科研體系問題。嚴格意義上來說，科研分為三個領域，一個是基礎研究領域，一個是工程化應用領域，一個是市場推廣領域。在發達國家的科研機制中。幾乎所有的基礎研究領域都是由國家或機構直接或間接支持的。這種基礎研究較看重的是對于國家、民生或國防的長遠意義．而不是短期內的投入與產出。因而致力于基礎研究的機構或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進行基礎、理論的研究。另一方面。工程化應用領域由專門的機構或職能部門負責，這些部門從應用領域、生產領域、制造領域抽調專家、學者及相關人員，對基礎研究的市場應用前景進行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業來進行工程化應用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業來做了。的高校和研究機構，做純理念和純基礎的并不多，大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業三結合狀態，各司其職，各負其責。微納技術是繼JT、生物之后。21世紀較具發展潛力的高新技術，是未來十年高增長的新興產業。微納加工按技術分類，主要分為平面工藝、探針工藝、模型工藝。
當前納米制造技術在環境友好方面有望大展身手的一些領域：1、照明：對于傳統的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代，納米技術可用來開發更多新的光源。2、發動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能，使得發動機可以在更高的溫度下繼續運轉，進而提高整個發動機的效率。3、減重：新型較強度復合材料能夠減輕材料的重量。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術制得的汽車等的催化式排氣凈化器優化車內燃料的燃燒過程。微納加工平臺，主要是兩個方面：微納加工、微納檢測。中山MEMS微納加工工廠
微納制造技術是由零件構成的部件或系統的設計、加工、組裝、集成與應用技術。中山MEMS微納加工工廠
硅材料在MEMS器件當中是很重要的一種材料。在硅材料刻蝕當中，應用于醫美方向的硅針刻蝕需要用到各向同性刻蝕，縱向和橫向同時刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕，主要是在垂直方向刻蝕，而橫向盡量少刻蝕。微納加工平臺主要提供微納加工技術工藝，包括光刻、磁控濺射、電子束蒸鍍、濕法、干法、表面形貌測量等。該平臺以積靈活的方式服務于實驗室的研究課題，并產生高水平的研究成果，促進半導體器件的發展，成為國內半導體器件技術與學術交流和人才培養的重要基地，同時為實驗室的學術交流、合作研究提供技術平臺和便利條件。中山MEMS微納加工工廠
廣東省科學院半導體研究所專注技術創新和產品研發，發展規模團隊不斷壯大。公司目前擁有較多的高技術人才，以不斷增強企業重點競爭力，加快企業技術創新，實現穩健生產經營。公司業務范圍主要包括：微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等。公司奉行顧客至上、質量為本的經營宗旨，深受客戶好評。一直以來公司堅持以客戶為中心、微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務市場為導向，重信譽，保質量，想客戶之所想，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要。
