隨著半導體行業的迅速發展，半導體產品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術，具有技術壁壘高、制造難度大及研發投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產業的多個環節起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發展，市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數、光學參數進行測試，根據測試結果評定上一道工序的工藝質量，并指導下一道工序。探針卡常見故障分析及維護方法：芯片測試是IC制造業里不可缺少的一個重要環節。上海智能探針臺機構

錸鎢探針的針尖尖部經過特殊工藝加工而成，針錐精度高，具有厲害度和彈性模量，產品更耐磨、更耐腐蝕，表面光滑無傷，光潔度可達到Ra0.25以下，幾乎為鏡面。錸鎢探針有不同的針尖類型，即不同的尖部形狀，例如，針尖帶平臺，針尖完全尖以及針尖為圓弧；探針直徑為0.05-1.2mm，長度為15-300mm，尖部為0.08-100μm。錸鎢探針主要應用于半導體、LED、LCD等行業，應用于探針卡、探針臺、芯片測試、晶圓測試和LED芯片測試等領域。上海勤確科技有限公司。上海智能探針臺機構焊針時，應憑自己的經驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點。

初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發明顆單石集成電路，為現代半導體領域奠定基礎時，晶圓直徑不過1.25英寸～2英寸之間，生產過程多以人工方式進行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生，Align/Load的校準工作和一些進階檢測也開始自動化；直到12英寸晶圓成形，可謂正式邁入“單鍵探測”(OneButtonProbing)的全部自動化時代，就連傳輸也開始借助機器輔助；但此時的測試大都是轉包給專業的廠商做，且大部分是著重在如何縮短工藝開發循環的參數測試上。

晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結構中獲得大部分有關器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時，芯片有內部備用資源可用于修復（即閃存IC）；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的，則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記，或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。我們通過探針卡把測試儀和被測芯片連接起來。

手動探針臺：普遍應用于，科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段，批量不是很大的情況，大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表，量測半導體器件IVCV脈沖/動態IV等參數。用途：以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。在實際的芯測試中探針卡的狀態是非常重要的。上海芯片探針臺生產

隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。上海智能探針臺機構

隨著電子技術的不斷發展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上，從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。上海智能探針臺機構