有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養：平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創碧水藍天。上海溫控探針臺機構

探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準確扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。上海探針臺服務探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動。

相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環境中，滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過程中，從直線導軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性。

探針臺市場占有率及行業分析：針對于電學量測分析設備，探針臺則是眾多量測設備之一，探針臺也是不可或缺的一部分，就目前國內探針臺設備的占有率來講，好的型產品主要集中在歐美以及日本品牌，中端設備主要集中在品牌，而對于量測精度而言，產設備具有一定的優勢，我公司探針臺系列產品量測組件均采用歐美品牌設備，所以在量測精度上來講，可以與歐美及日本品牌相媲美，價格適中，應用普遍，并與國內多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配，插入常用電壓探針會使得結果出現很大偏差。探針卡沒焊到位，是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮，使針尖偏離壓點區。

通常，參數測試系統將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于此輸入信號的響應。這些信號的路徑為：從測試儀通過電纜束至測試頭，再通過測試頭至探針卡，然后通過探針至芯片上的焊點，到達被測器件，并后沿原路徑返回測試儀器。如果獲得的結果不盡如人意，問題可能是由測量儀器或軟件所致，也可能是其它原因造成。通常情況下，測量儀器引進一些噪聲或測量誤差。而更可能導致誤差的原因是系統的其它部件，其中之一可能是接觸電阻，它會受探針參數的影響，如探針的材料、針尖的直徑與形狀、焊接的材質、觸點壓力、以及探針臺的平整度。此外，探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。在實際的芯測試中探針卡的狀態是非常重要的。上海高溫探針臺機構

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高性能密閉微暗室有效屏蔽：腔體采用導電的處理工藝，確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果，降低系統噪聲，有效屏蔽外界*，并提供低漏電流保護，為微弱電信號測試提供了合理的測試環境；同時也注意零件配合以及裝配的同時，保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/晶圓需要在高低溫的情況進行環境的模擬測試，有效地避免了空氣中的水分在樣品上結露或者結霜的存在，通過氣流的特性，填充滿密封腔體內，使腔體里內的氣體露的點進行降低直至到一定的點。上海溫控探針臺機構