**電子工程設計院秦學禮摘要隨著IC生產工藝技術的不斷發展,對于無塵車間生產環境及其它配套系統要求也相應更為嚴格,本文81"、12",IC生產的無塵車間設計中有關無塵車間形式和送風方式、空氣處理及溫濕度保證措施,懸浮分子污染物(AMC)的控制,以及無塵車間排*等方面的設計方案,進行了多方案的綜合分析和評價。0引言集成電路(IC)是集多種高新技術于一體的高科技產品，它幾乎存在于所有工業部門，對國民經濟的發展起著“倍增器”的作用，因此被****作為戰略性產業。同時IC產業也是當今世界上發展**為迅速、競爭**為激烈的產業。由于下游產品的需要以及生產成本的考慮，IC不斷朝著特征尺寸縮小，硅片直徑增大的方向發展。目前**上以8”、**的工藝已進入大生產，以12”、**的工藝也開始進入大生產，研究工作已進入納米階段，70納米、40納米的器件已在實驗室中制備成功。隨著工藝牛產技術的不斷發展，IC生產對于環境及其他配套系統的要求也相應越來越嚴格，說到環境首當其沖的是無塵車間，8”、12”IC生產無論對潔凈度、溫濕度還是空氣中分子級污染物(AMC)、防微振、防靜電等都有極嚴格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些傳統的做法受到挑戰。無塵車間的潔凈度常用 ISO 14644 標準劃分，從 ISO 1 到 ISO 9，等級數字越小潔凈度越高。上海智能無塵車間誠信合作
溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般把控在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度把控在30-50%，夏季潔凈室濕度把控在50-70%。8、配電：潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。烘培（食品）無塵車間建筑平面布置建筑平面設置應該屬建筑zhuan業的zhuan業范疇，但由于食品凈化車間要求人、物分流，并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度，因此，該工程中建筑平面要求具備以下幾點：1、各凈化操作間集中設置單獨前室為氣閘，氣閘室與各操作間同時相通，確保低潔凈區的空氣不向高潔凈區滲透。2、實驗室的人流經過更衣室更衣換鞋→清洗間洗手→緩沖間→風淋室→各操作室。3、食品空氣凈化車間物流由外走廊經過機械連鎖自消du傳遞窗消du后進入緩沖走廊后再經過傳遞窗進入各操作室。烘培（食品）潔凈車間結構系統根據《潔凈廠房設計規范》車間的墻體和吊頂必須采用不產塵、不積塵表面平滑的材料施工，并且不能在車間中存在死角。采用潔凈廠房施工專屬彩板，基板頂板采用寶鋼，芯材密度14kg/m3,鋁材采用華聯專屬鋁型材。上海食品十萬級無塵車間案例無塵車間的作用是什么？上海中湖告訴您。
無塵車間是指將車間內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將車間內溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，不論外在環境條件如何變化，無塵車間內均能維持設定所要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。無塵車間較主要作用在于控制產品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好環境空間中生產、制造、測試、試驗，提升產品質量，是污染敏感產品重要的生產保證設施。凈化設備對無塵凈化車間至關重要，那么無塵車間都需要哪些凈化設備呢？那么跟著小湖帶你具體了解一下。1、高效進風口：高效進風口可廣泛應用于電子行業、精密機械、冶金、化工、其他行業、醫療、制藥、食品等凈化空氣領域。空調系統。該裝置主要由靜壓箱、高效過濾器、鋁合金擴散器、標準法蘭接口等組成，外形美觀，結構簡單，使用可靠。進風口安裝在底部，具有易于安裝和更換過濾器的優點。高效過濾器采用機械壓縮或液罐密封裝置，機場安裝無泄漏，密封嚴密，良好凈化效果。2、FFU風機過濾單元：FFU是英文縮寫，全稱為FanFilterUnits，中文意思為“風機濾器單元（機組）”，也稱為空氣過濾單元。風機從FFU頂部吸入空氣。
一方面口可以使操作人員和其他污染源與硅片完全隔離，另一方面生產自動化程度的提高對提高硅片成品率極為有利。開放式無塵車間加微環境方式，工藝生產只要求微環境內有很嚴格的潔凈度，而開放式無塵車間只需保證5-6級，這樣嚴格要求的潔凈度區域**減少，保證潔凈度所需的循環空氣量也相應減少，能耗**降低，通常情況下開放式無塵車間加微環境方式其維持潔凈度所需的能耗大約*為港灣式無塵車間的1/3[]。實際工程中微環境是由設備自帶的和開放式無塵車間完全脫開，再加上開放式無塵車間本身結構簡單，動力設備減少，這樣無論從設計到建造都變得簡單快捷，可以縮短建造時間。采用開放式無塵車間加微環境方式，確保硅片加工過程所需的潔凈度的關鍵區域是微環境，微環境通常如圖4、圖5所示。圖4所示的微環境的送風是由無塵車間送風系統提供，其缺點是不靈活，移動或增加工藝設備不方便。目前8”、12”IC生產線所用的微環境基本上是圖5的形式（光刻機除外），微環境全部由工藝設備自帶，與工藝設備緊密結合在一起，并且與裝載臺、前開口傳遞盒(frontopeningunifiedpods．FOUP)、吊掛傳輸系統(ovcerheadhoisttransport，OHT)有機結合。微環境系統的風機直接吸室內的空氣。尋找無塵車間的專業廠家。
這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。各行業無塵車間的標準大全：空氣凈化工程之應用行業與標準序號應用行業溫度（℃）濕度（RH%）要求潔凈要求（級）是否需要GMP認證生產(可調)測試、實驗（可調）生產測試或實驗1光學/微電子/電子行業溫度:20-26濕度:50-75溫度:12-23濕度:40-851-30萬級百級-十萬級否2LED/液晶/線路板行業溫度：20-26濕度：50-70溫度：12-23濕度：40-851-30萬級百級-十萬級否3食品/飲料行業溫度:6-26濕度:50-76溫度:-5--23濕度:40-851-10萬級百級-十萬級部分行業需要4化妝品/日化行業溫度：20-26濕度：50-71溫度:12-23濕度:20-86百級-十萬級百級-十萬級否5光伏新能源行業溫度:20-26濕度:50-77溫度：12-23濕度：40-851-30萬級百級-十萬級否6汽車/航空/精密加行業溫度：20-26濕度：50-72溫度:12-23濕度:40-851-30萬級百級-十萬級否7塑膠/化工/精細化工行業溫度:12-26濕度:50-78溫度:-12--23濕度:20-851-30萬級百級-十萬級否8塑料/電鍍行業溫度：20-26濕度：50-73溫度：12-23濕度：40-851-30萬級百級-十萬級否9保健品/制藥行業溫度:12-26濕度:50-79溫度:-12--23濕度:20-85百級-十。上海中湖告訴您如何正確使用無塵車間？上海智能無塵車間誠信合作
無塵車間通過調節送風 / 回風量維持室內正壓（防止外部臟空氣滲入）或負壓（防止內部污染物逸出）。上海智能無塵車間誠信合作
并通過初級過濾器和高效過濾器進行過濾，為不同大小、不同清潔度級別的無塵車間和微環境提供高質量的清潔空氣。3、層流罩：層流罩是一種可以提供局部高潔凈環境的空氣凈化裝置。主要由機柜、風機、初級空氣過濾器、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。機柜采用不銹鋼噴涂或制造。是一款可掛在地上、可支撐的產品，結構緊湊，使用方便。可單獨使用，也可多聯使用，形成帶狀潔凈區。4、雨淋室：風淋室是無塵車間不可缺少的無塵配件，去除人和物體表面的灰塵，同時在兩側有潔凈的區域。風淋室，對不潔區域有積極作用。它起到了緩沖和隔離的作用。風淋室分為“普通型和聯鎖型”兩種，普通型采用手動啟動吹氣的控制方式。在無塵車間，在動態條件下，更大的細菌和灰塵來源是無塵車間的負責人。責任人員進入無塵車間前，應使用清潔空氣噴灑附著的粉塵顆粒。他們衣服的表面。5、傳遞窗：傳遞窗主要適用于潔凈區與非潔凈區之間，或無塵車間與無塵車間之間的小件物品的傳送。這樣可以有效地減少數量。門洞的幾個區域的污染減少到很低的程度。根據使用要求，傳遞窗箱體表面可噴塑，內膽可采用不銹鋼材質，外形美觀。中轉窗的兩扇門采用電控聯鎖或機械聯鎖。上海智能無塵車間誠信合作
