有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養：平面電機由定子和動子組成，它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。如果是合格的芯片，打點器不動作。上海智能探針臺生產

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。上海智能探針臺生產探針臺是半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝等行業的測試設備。

探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備，一代工藝，一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產線投資中，設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計，全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半導體行業景氣度下滑及宏觀經濟環境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預計疫病過后，將恢復增長。

探針臺概要：晶圓探針臺是在半導體開發和制造過程中用于晶片電氣檢查的設備。在電氣檢查中，通過探針或探針卡向晶片上的各個設備提供來自測量儀器或測試器的測試信號，并返回來自設備的響應信號。在這種情況下，晶片探測器用于輸送晶片并接觸設備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。潮濕的環境及長時期保養不當將很容易使定子發生銹蝕現象。

半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm；chuck粗調升降9mm，微調升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probecard測試；適用領域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產品。電動型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）；X,Y電動移動行程300mmx300mm；chuck粗調升降9mm，微調升降16mm，微調精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡；針座擺放個數8～12顆；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“；材質：花崗巖臺面+不銹鋼；可搭配Probecard測試；適用領域：12寸Wafer、IC測試之產品。探針尖磨損和污染也會對測試結果造成極大的負面影響。上海智能探針臺生產

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探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號，保證半導體產品品質的重要檢測設備。下面我們來了解下利用探針臺進行在片測試的一些相關問題，首先為什么需要進行在片測試？因為我們需要知道器件真正的性能，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌，但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產量。因為有時我們需要進行自動化測試，在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統，主要包括：矢量網絡分析儀，線纜，探針，探針定位器，探針臺，校準設備及軟件，電源偏置等。上海智能探針臺生產