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光刻機隔振臺一級代理

來源: 發布時間:2021-12-10

TS-140+40TS-140+40結合了久經考驗的技術特點與優雅且用戶友好的設計這種中型動態隔振系統非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。在公制(M6x25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結合了久經考驗的技術卓悅性與優雅且用戶友好的設計TS-140+40的隔離始于0.7Hz,超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優勢是創新建筑理念的結果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元,比較大負載為800公斤。光刻機隔振臺一級代理

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LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI/LP系統結合使用在前饋環路中,以提高非常低頻率的振動隔離。

LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。

系統符合EEC指令89/336(電磁兼容性)每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器。 壓電陶瓷技術隔振臺研發可以用嗎***使用AVI系統時,將前面板隔離開關設置為關閉(黑色旋鈕熄滅)。

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AVI-400系列(負載:蕞多800kg)型號:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系統形狀:控制器與防振單元分離型主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上確認防振狀態:使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg單位重量:約13kg;約19公斤,聯絡我們電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲耗電量:通常為18W工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。

    傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬,以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。運作方式設置好并將電源連接到傳感器后,就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點亮。紅色LED開始閃爍,這意味著存在一些振動。現在,您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。紅色LED不應點亮了。如果它們點亮,則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。請注意,如果未啟用LFS,則它將無效。敏感的傳感器單元,請勿撞擊,敲打或跌落! 所有范圍內為±5%。控制單元必須與相應的測量頭一起使用!

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TS-300TS系列產品中蕞大的系列,比TS-140/TS-150更大。在公制(M6x25mm)或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。頻率負載范圍TS-300負載范圍TS-300LT尺寸圖0,7-1000赫茲0-300公斤0-120公斤600x800x120毫米TS-300結合了久經考驗的技術卓悅性和優雅且用戶友好的設計TS-300的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”傳感器可以移動到任何所需位置。主動減振臺隔振臺應用

Table Stable通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。光刻機隔振臺一級代理

AVI-600/LP的每個單元均可調節,以適應0至600kg的負載。對于任何設置由兩個單元組成的系統上的負載,可在+/-90kg之間變化,而不必重設調整。手次操作系統時,請將前面板隔離開關設置為OFF(黑色旋出)。接通電源。電源指示燈現在將點亮,并且24個顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上,則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后,您可以將隔離開關推到ON位置(紅色旋鈕進入)。黃色LED現在將勇久保持亮起,表明系統處于隔離。光刻機隔振臺一級代理

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