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重慶世強半導體國產替代查詢方案

來源: 發布時間:2021-09-13

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    在光刻工藝中,光刻膠被均勻涂布在襯底上,經過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)與刻蝕等工藝,將掩膜版上的圖形轉移到襯底上,形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。光刻工藝約占整個芯片制造成本的35%,耗時占整個芯片工藝的40-60%,是半導體制造中****的工藝。光刻膠主要由感光劑(光引發劑)、聚合劑(感光樹脂)、溶劑與助劑構成。光引發劑是光刻膠的**關鍵成分,對光刻膠的感光度、分辨率起著決定性作用。感光樹脂用于將光刻膠中不同材料聚合在一起,是構成光刻膠的骨架,決定光刻膠包括硬度、柔韌性、附著力等基本屬性。溶劑是光刻膠中**大成分,目的是使光刻膠處于液態,但溶劑本身對光刻膠的化學性質幾乎沒影響。助劑通常是專有化合物,由各家廠商獨自研發,主要用來改變光刻膠特定化學性質。光刻膠產品是電子化學品中技術壁壘**高的材料之一,其不*具有純度要求高、工藝復雜等特征,還需要相應光刻機與之配對調試。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行10-50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。用芯盒子半導體國產替代查詢對比用芯盒子是國產半導體技術發展的交流通道。

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