國瑞熱控針對離子注入后雜質***工藝，開發**加熱盤適配快速熱退火需求。采用氮化鋁陶瓷基材，熱導率達 200W/mK，熱慣性小，升溫速率達 60℃/ 秒，可在幾秒內將晶圓加熱至 1000℃，且降溫速率達 40℃/ 秒，減少熱預算對晶圓的影響。加熱面采用激光打孔工藝制作微小散熱孔，配合背面惰性氣體冷卻，實現晶圓正反面溫度均勻（溫差小于 2℃）。配備紅外高溫計實時監測晶圓表面溫度，測溫精度 ±2℃，通過 PID 控制確保溫度穩定，適配硼、磷等不同雜質的***溫度需求（600℃-1100℃）。與應用材料離子注入機適配，使雜質***率提升至 95% 以上，為半導體器件的電學性能調控提供關鍵支持。熱解決方案伙伴，深入探討共同優化工藝熱管理環節。河北刻蝕晶圓加熱盤非標定制

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統，為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持。系統采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監測與報警功能，確保系統運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環，為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障。河北刻蝕晶圓加熱盤非標定制多種規格形狀靈活定制，滿足特殊需求，無錫國瑞是您可靠合作伙伴。

國瑞熱控 12 英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內部采用分區式加熱元件布局，劃分 8 個**溫控區域，配合高精度鉑電阻傳感器，實現 ±0.8℃的控溫精度，滿足 7nm 至 14nm 制程對溫度均勻性的嚴苛要求。設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應腔結構，升溫速率達 20℃/ 分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃，可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝。通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作，已實現與國產 12 英寸晶圓生產線的無縫對接，為先進制程規模化生產提供穩定溫控支撐。

在半導體離子注入工藝中，國瑞熱控配套加熱盤以穩定溫控助力摻雜濃度精細控制。其采用耐高溫合金基材，經真空退火處理消除內部應力，可在 400℃高溫下長期穩定運行而不變形。加熱盤表面噴涂絕緣耐離子轟擊涂層，避免電荷積累對注入精度的干擾，同時具備優良的導熱性能，能快速將晶圓預熱至設定溫度并保持恒定。設備配備雙路溫度監測系統，分別監控加熱元件與晶圓表面溫度，當出現偏差時自動啟動調節機制，溫度控制精度達 ±1℃。適配不同型號離子注入機，通過標準化接口實現快速安裝，為半導體摻雜工藝的穩定性與重復性提供有力支持。專業應用工程師團隊，提供工藝優化建議，創造更大價值。

國瑞熱控深耕半導體加熱盤國產化研發，針對進口設備的技術壁壘與供應風險，推出全套替代方案。方案涵蓋6英寸至12英寸不同規格加熱盤，材質包括鋁合金、氮化鋁陶瓷等，可直接替換Kyocera、CoorsTek等國際品牌同型號產品，且在溫度均勻性、控溫精度等關鍵指標上達到同等水平。通過與國內半導體設備廠商的聯合開發，實現加熱盤與國產設備的深度適配，解決進口產品安裝調試復雜、售后服務滯后等問題。替代方案不僅在采購成本上較進口產品降低30%以上，且交貨周期縮短至45天以內，大幅提升供應鏈穩定性。已為國內多家半導體制造企業提供國產化替代服務，助力半導體產業鏈自主可控，推動國內半導體裝備產業的發展。密封式設計可選，防潮防塵耐腐蝕，適用復雜環境。楊浦區刻蝕晶圓加熱盤供應商

精選耐高溫材料，絕緣性能優異，確保使用安全萬無一失。河北刻蝕晶圓加熱盤非標定制

國瑞熱控半導體封裝加熱盤，聚焦芯片封裝環節的加熱需求，為鍵合、塑封等工藝提供穩定熱源。采用鋁合金與云母復合結構，兼具輕質特性與優良絕緣性能，加熱面功率密度可根據封裝規格調整，比較高達 2W/CM2。通過優化加熱元件排布，使封裝區域溫度均勻性達 95% 以上，確保焊料均勻熔融與鍵合強度穩定。設備配備快速響應溫控系統，從室溫升至 250℃*需 8 分鐘，且溫度波動小于 ±2℃，適配不同封裝材料的固化需求。表面采用防氧化處理，使用壽命超 30000 小時，搭配模塊化設計，可根據封裝生產線布局靈活組合，為半導體封裝的高效量產提供支持。河北刻蝕晶圓加熱盤非標定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！