針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質，經電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風險，同時具備 1500V/1min 的電氣強度，使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計，使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內，溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器，實時監測溶液溫度，當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節，確保化學反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體，可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障。精選耐高溫材料，絕緣性能優異，確保使用安全萬無一失。陜西陶瓷加熱盤定制

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器。模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達 ±0.05℃，可覆蓋室溫至 800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求。配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過 USB 導出形成校準報告。校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至 30 分鐘以內。適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容 Kyocera、CoorsTek 等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性。天津加熱盤定制專業售后服務團隊，快速響應及時處理，保障您的生產不間斷。

國瑞熱控快速退火**加熱盤以高頻響應特性適配 RTP 工藝需求，采用紅外輻射與電阻加熱復合技術，升溫速率突破 50℃/ 秒，可在數秒內將晶圓加熱至 1000℃以上。加熱盤選用低熱慣性的氮化鋁陶瓷材質，搭配多組**溫控模塊，通過 PID 閉環控制實現溫度快速調節，降溫速率達 30℃/ 秒，有效減少熱預算對晶圓性能的影響。表面噴涂抗熱震涂層，可承受反復快速升降溫循環而無開裂風險，使用壽命超 20000 次循環。設備集成溫度實時監測系統，與應用材料 Centura、東京電子 Trias 等主流爐管設備兼容，為先進制程中的離子***、缺陷修復工藝提供可靠支持。

借鑒晶圓鍵合工藝的技術需求，國瑞熱控鍵合**加熱盤創新采用真空吸附與彈簧壓塊復合結構，通過彈簧壓力限制加熱平臺受熱膨脹，高溫下表面平整度誤差控制在 0.02mm 以內。加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復合基材，兼具低熱膨脹系數與高導熱性，溫度均勻性達 ±1.5℃，適配室溫至 450℃的鍵合溫度需求。底部設計雙層隔熱結構，***層阻隔熱量向下傳導，第二層快速散熱避免設備腔體溫升過高。配備精細壓力控制模塊，可根據鍵合類型調整吸附力，在硅 - 硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密，提升鍵合良率。模塊化設計理念，維護更換簡單快捷，大幅降低運維成本。

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統，為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持。系統采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在 10 分鐘內將加熱盤溫度從 500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間。散熱系統配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費。采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監測與報警功能，確保系統運行安全。適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環，為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障。多種規格靈活定制，國瑞加熱盤滿足您的特殊應用需求。甘肅半導體晶圓加熱盤生產廠家

豐富行業經驗積累，深入了解各行業需求，提供專業解決方案。陜西陶瓷加熱盤定制

針對碳化硅襯底生長的高溫需求，國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術，**溫度梯度可控性差的行業難題。加熱盤主體選用耐高溫石墨基材，表面噴涂碳化硅涂層，在 2200℃高溫下仍保持結構穩定，熱導率達 180W/mK，適配 PVT 法、TSSG 法等主流生長工藝。內部劃分 12 個**溫控區域，每個區域控溫精度達 ±2℃，通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率，助力 8 英寸碳化硅襯底量產。設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構，在 10??Pa 真空環境下無雜質釋放，與晶升股份等設備廠商聯合調試適配，使襯底生產成本較進口方案降低 30% 以上，為新能源汽車、5G 通信等領域提供**材料支撐。陜西陶瓷加熱盤定制

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！