針對等離子體刻蝕環境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍寶石覆層與氮化鋁基底的復合結構，表面硬度達莫氏9級，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落！加熱盤內部嵌入鉬制加熱絲，經后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至500℃，控溫精度±1℃！底部設計環形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調節系統，快速響應刻蝕過程中的溫度波動！設備采用全密封結構，電氣強度達2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環境中絕緣性能穩定，適配中微半導體刻蝕機等主流設備，為圖形轉移工藝提供可靠溫控！升溫迅速表面溫差小，過熱保護安全耐用，為設備護航。靜安區涂膠顯影加熱盤供應商

國瑞熱控推出半導體加熱盤專項維修服務，針對加熱元件老化、溫度均勻性下降等常見問題提供系統解決方案！服務流程涵蓋外觀檢測、絕緣性能測試、溫度場掃描等12項檢測項目，精細定位故障點！采用原廠匹配的氮化鋁陶瓷基材與加熱元件，維修后的加熱盤溫度均勻性恢復至±1℃以內，使用壽命延長至新設備的80%以上！配備專業維修團隊，可提供上門服務與設備現場調試，單臺維修周期控制在7個工作日以內，大幅縮短生產線停機時間！建立維修檔案與質保體系，維修后提供6個月質量保障，為企業降低設備更新成本，提升資產利用率！浙江探針測試加熱盤定制表面特殊處理耐腐蝕易清潔，適用于化學實驗室食品加工。

國瑞熱控依托10余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求！服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤！配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用ANSYS溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短10個工作日，且提供3次**方案迭代！已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求！

針對半導體制造中的高真空工藝需求，國瑞熱控開發**真空密封組件，確保加熱盤在真空環境下穩定運行！組件采用氟橡膠與金屬骨架復合結構，耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃，可長期在10??Pa真空環境下使用無泄漏！密封件與加熱盤接口精細匹配，通過多道密封設計提升真空密封性，避免反應腔體內真空度下降影響工藝質量！組件安裝過程簡單，無需特殊工具，且具備良好的耐磨性與抗老化性能，使用壽命超5000次拆裝循環！適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤，與國產真空設備廠商的反應腔體兼容，為半導體制造中的高真空環境提供可靠密封保障，助力提升工藝穩定性與產品良率！低熱容設計，升溫降溫迅捷，適合快速變溫工藝。

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構，表面粗糙度Ra小于0.1μm，減少光刻膠涂布缺陷！加熱面劃分6個**溫控區域，通過仿真優化的加熱元件布局，使溫度均勻性達±0.5℃，避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均！溫度調節范圍覆蓋60℃至150℃，升溫速率10℃/分鐘，搭配無接觸紅外測溫系統，實時監測晶圓表面溫度并動態調節！設備兼容6英寸至12英寸光刻機配套需求，與ASML、尼康等設備的制程參數匹配，為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境！接口布線密封精心設計，確保整體性能穩定，延長使用壽命。山西涂膠顯影加熱盤非標定制

工作溫度范圍寬泛，滿足低溫烘烤至高溫燒結需求。靜安區涂膠顯影加熱盤供應商

面向半導體新材料研發場景，國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩定性成為科研工具！采用石墨與碳化硅復合基材，工作溫度范圍覆蓋500℃-2000℃，可通過程序設定實現階梯式升溫，升溫速率調節范圍0.1-10℃/分鐘！加熱面配備24組測溫點，實時監測溫度分布，數據采樣頻率達10Hz，支持與實驗室數據系統對接！設備體積緊湊（直徑30cm），重量*5kg，配備小型真空腔體與惰性氣體接口，適配薄膜沉積、晶體生長等多種實驗需求，已服務于中科院半導體所等科研機構！靜安區涂膠顯影加熱盤供應商

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！