國瑞熱控推出半導(dǎo)體加熱盤**溫度監(jiān)控軟件,實(shí)現(xiàn)加熱過程的數(shù)字化管理與精細(xì)控制!軟件具備實(shí)時(shí)溫度顯示功能,可通過圖表直觀呈現(xiàn)加熱盤各區(qū)域溫度變化曲線,支持多臺(tái)加熱盤同時(shí)監(jiān)控,方便生產(chǎn)線集中管理!內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與導(dǎo)出功能,可自動(dòng)記錄加熱過程中的溫度參數(shù),存儲(chǔ)時(shí)間長達(dá)1年,便于工藝追溯與質(zhì)量分析!具備溫度異常報(bào)警功能,當(dāng)加熱盤溫度超出設(shè)定范圍或出現(xiàn)波動(dòng)異常時(shí),自動(dòng)發(fā)出聲光報(bào)警并記錄異常信息,提醒操作人員及時(shí)處理!軟件兼容Windows與Linux操作系統(tǒng),通過以太網(wǎng)與加熱盤控制系統(tǒng)連接,安裝調(diào)試便捷,適配國瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤,為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的智能化管理提供技術(shù)支持!熱場(chǎng)分布均勻,避免局部過熱,保護(hù)樣品質(zhì)量一致。安徽刻蝕晶圓加熱盤

面向柔性半導(dǎo)體基板(如聚酰亞胺基板)加工需求,國瑞熱控**加熱盤以柔性貼合設(shè)計(jì)適配彎曲基板!采用薄型不銹鋼加熱片(厚度0.2mm)與硅膠導(dǎo)熱層復(fù)合結(jié)構(gòu),可隨柔性基板彎曲(彎曲半徑**小5mm)而無結(jié)構(gòu)損壞,加熱面溫度均勻性達(dá)±1.5℃,溫度調(diào)節(jié)范圍50℃-250℃,適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝!配備真空吸附槽道,可牢固固定柔性基板,避免加熱過程中褶皺導(dǎo)致的工藝缺陷!與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作,支持柔性O(shè)LED驅(qū)動(dòng)芯片的制程加工,為柔性電子設(shè)備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障!黃浦區(qū)高精度均溫加熱盤生產(chǎn)廠家表面噴涂特殊涂層,防腐防氧化,延長設(shè)備使用壽命。

借鑒空間站“雙波長激光加熱”原理,國瑞熱控開發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤,適配極端高溫材料制備!采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受3000℃以上局部高溫,配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱,實(shí)現(xiàn)“表面強(qiáng)攻+內(nèi)部滲透”的加熱效果!加熱區(qū)域直徑可在10mm-200mm間調(diào)節(jié),溫度響應(yīng)時(shí)間小于1秒,控溫精度±1℃,支持脈沖式加熱模式!設(shè)備配備紅外測(cè)溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用,為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具!
針對(duì)原子層沉積工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛要求,國瑞熱控ALD**加熱盤采用多分區(qū)溫控設(shè)計(jì),通過仿真優(yōu)化加熱絲布局,確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標(biāo)準(zhǔn)!設(shè)備溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至600℃,升溫速率可達(dá)25℃/分鐘,搭配鉑電阻傳感器實(shí)現(xiàn)±0.1℃的控溫精度,滿足ALD工藝中前驅(qū)體吸附與反應(yīng)的溫度窗口需求!采用氮化鋁陶瓷基底與密封結(jié)構(gòu),在真空環(huán)境下無揮發(fā)性物質(zhì)釋放,且能抵御反應(yīng)腔體內(nèi)腐蝕性氣體侵蝕!適配8英寸至12英寸晶圓規(guī)格,通過標(biāo)準(zhǔn)化接口與拓荊、中微等廠商的ALD設(shè)備無縫兼容,為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障!創(chuàng)新熱傳導(dǎo)技術(shù),熱量集中不散失,有效降低能源消耗成本。

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級(jí)溫控精度支撐光刻工藝,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復(fù)合結(jié)構(gòu),表面粗糙度Ra小于0.1μm,減少光刻膠涂布缺陷!加熱面劃分6個(gè)**溫控區(qū)域,通過仿真優(yōu)化的加熱元件布局,使溫度均勻性達(dá)±0.5℃,避免烘烤過程中因溫度差異導(dǎo)致的光刻膠膜厚不均!溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋60℃至150℃,升溫速率10℃/分鐘,搭配無接觸紅外測(cè)溫系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶圓表面溫度并動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)!設(shè)備兼容6英寸至12英寸光刻機(jī)配套需求,與ASML、尼康等設(shè)備的制程參數(shù)匹配,為光刻膠的軟烘、堅(jiān)膜等關(guān)鍵步驟提供穩(wěn)定溫控環(huán)境!大小功率齊全,靈活匹配實(shí)驗(yàn)裝置與工業(yè)設(shè)備需求。黃浦區(qū)加熱盤
持續(xù)改進(jìn)服務(wù)理念,聽取客戶反饋,不斷提升產(chǎn)品性能。安徽刻蝕晶圓加熱盤
在半導(dǎo)體離子注入工藝中,國瑞熱控配套加熱盤以穩(wěn)定溫控助力摻雜濃度精細(xì)控制!其采用耐高溫合金基材,經(jīng)真空退火處理消除內(nèi)部應(yīng)力,可在400℃高溫下長期穩(wěn)定運(yùn)行而不變形!加熱盤表面噴涂絕緣耐離子轟擊涂層,避免電荷積累對(duì)注入精度的干擾,同時(shí)具備優(yōu)良的導(dǎo)熱性能,能快速將晶圓預(yù)熱至設(shè)定溫度并保持恒定!設(shè)備配備雙路溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng),分別監(jiān)控加熱元件與晶圓表面溫度,當(dāng)出現(xiàn)偏差時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)制,溫度控制精度達(dá)±1℃!適配不同型號(hào)離子注入機(jī),通過標(biāo)準(zhǔn)化接口實(shí)現(xiàn)快速安裝,為半導(dǎo)體摻雜工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供有力支持!安徽刻蝕晶圓加熱盤
無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念,市場(chǎng)是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來,即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢(mèng)想!