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湖北高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

來源: 發布時間:2022-05-19

DTN630C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)



規格:

①內尺寸(寬×深×高mm):660×500×660

②外形尺寸(寬×深×高mm):1300×1000×1750

③內容積:216L

④棚板層數/層間距:19層/30mm

⑤排氣口:40KF法蘭

⑥氮氣入口:Rc1/2

⑦冷卻水入口:Rc3/4

⑧熱水出口:Rc3/4,2個

⑨電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 19A

⑩重量:約1100kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能



------------- 浚和(上海)儀器有限公司為您提供高溫無氧烘箱,有想法的可以來電咨詢!湖北高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

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使用高溫爐應該選擇儲備哪些備件?


1、加熱元件和隔熱屏

      加熱元件和隔熱屏蔽作為手頭備件是特別重要的,因為它們是高溫爐的心臟,具有許多不同的大小和配置,往往又不是一個容易儲存的部件。這些部件會隨著時間的推移緩慢降解,具體取決于它們所接觸到的溫度、氣體和污染物。檢查加熱器和屏蔽工作效率的一個簡單方法,是將給定溫度下熱區的用電量與操作手冊中列出的功耗進行比較。如果總體KVA使用量增加,或者電壓和電流與這些數字嚴重偏離,則可能表示加熱器有一定損耗。溫度均勻性測試還可以提供有關加熱區狀況的重要數據。


2、傳感器

  熱電偶通常是用于測量溫度的主要傳感器。雖然它們通常被護套延長壽命,但隨著時間的推移,它們容易漂移,需要定期更換,以確保準確的反饋溫度。真空和壓力傳感器也需要定期檢查精度和性能。許多用戶都有一個校準計劃來做到這一點。


3、密封

  密封件相對便宜,建議在進行維護時更換,以確保真空完整性。對于正壓運轉的爐子,室內氣廢氣閥是另一個應作為備用物品保留的物品。這些閥門可能暴露于許多揮發性物質,它們往往聚集在這個閥門上,通過他們冷卻排出爐體。 山東高溫無氧烘箱規格參數浚和(上海)儀器有限公司致力于提供高溫無氧烘箱,有想法的不要錯過哦!

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C1-007厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


●用途:電子元器件高溫處理工藝。

●用途:光刻工藝后段,光刻膠固化。

●MAX工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下。

●程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式。

●快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式。

●配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等。

●在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異

●常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置。


室溫+30~360℃ 規格參數:

溫度范圍室溫:+30~360℃

溫度分布精度:±4.0℃(at 360℃)

溫度上升時間:60min(室溫→360℃)

溫度下降時間:90min(360℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時間:約45分鐘

運轉功能:定值運轉、程序運轉

裝備:氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



室溫+50~600℃ 規格參數:

溫度范圍室溫:室溫+50~600℃

溫度分布精度:±8.0℃(at 600℃)

溫度上升時間:90min(室溫→600℃)

溫度下降時間:120min(600℃→50℃)

氧濃度:20ppm以下

氧濃度下降時間:約45分鐘

運轉功能:定值運轉、程序運轉

裝備:氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等

內尺寸:W600×D600×H600mm

電源:3相 AC380V



DTN430C/630C/450C/650C潔凈厭氧高溫氣氛爐(YAMATO)


潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。


特點:

● MAX工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。

● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔凈度始終保持在100級,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。

● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2消耗量極低。

● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。

● 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。

● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。

● 液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式。


安全性:

● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關等安裝裝置。


浚和(上海)儀器有限公司是一家專業提供高溫無氧烘箱的公司,有想法的可以來電咨詢!

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DTN650C潔凈厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)


規格:

①內尺寸(寬×深×高mm):660×500×660

②外形尺寸(寬×深×高mm):1450×1060×1960

③內容積:216L

④棚板層數/層間距:19層/30mm

⑤排氣口:40KF法蘭

⑥氮氣入口:Rc1/2

⑦冷卻水入口:Rc3/4

⑧熱水出口:Rc3/4,2個

⑨電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 27A

⑩重量:約1100kg


選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能


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DNN430C厭氧高溫氣氛爐 相關參數及規格(YAMATO)


規格:

內尺寸(寬×深×高mm):450×450×450

外形尺寸(寬×深×高mm):1090×950×1540

內容積:91L

棚板層數/層間距:12層/30mm

排氣口:40KF法蘭

氮氣入口:Rc1/2

冷卻水入口:Rc3/4

熱水出口:Rc3/4,2個

電源(50/60Hz)額定電流:3相AC380V 16A

重量:約800kg



選購品:棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能



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湖北高溫無氧烘箱固化半導體晶圓

浚和(上海)儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商,致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來,持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

浚和在不斷引進國內外先進儀器設備的同時,結合行業和市場需求,加強和客戶之間的溝通,并與國際上多家**儀器設備制造商保持著長期穩定的合作關系,不定期地與合作商進行技術交流,努力加強自身技術力量。公司配備了數名有著多年行業經驗的技術人員,依靠雄厚的技術實力、科學合理的配置方案、專業的安裝調試和周到的售后服務,得到了廣大用戶的支持與信賴。

公司主要經營產品包括:等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等,目前主要合作品牌有:日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時,公司還提供專業的技術服務,如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點,以客戶需求為導向,不斷地提高自身專業技術能力,不停地完善客戶服務質量,在發展中保持創新的精神,力求與客戶共同進步,為行業的發展作出不懈的努力。

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