光源：提供相干光，通常是激光，因為激光具有高度的相干性，能夠產生穩定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調節光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結果，或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類，常見的分類方法包括：按結構區分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。工業園區耐用雙頻激光干涉儀單價

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5. 全套系統重量*15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。昆山定制雙頻激光干涉儀選擇在科學研究和工業檢測中，干涉儀是一種非常重要的工具。

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。

機床與加工設備：應用于數控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統校準及誤差修正，以提升加工精度。集成電路制造：支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗：測量位移、速度、加速度等動力學參數。在線監測控制：在大規模集成電路加工設備、精密機床中實現誤差的在線測量，以提升生產穩定性。檢測儀器校準：用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環境適應力、高實時動態測速以及廣泛的應用領域，在精密制造、科研創新以及標準化檢測等方面發揮著關鍵作用。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現象。

激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。用穩頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展；而且由于它的光束發散角小，能量集中，因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變為電訊號，并由計數器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。吳中區本地雙頻激光干涉儀維保

用穩頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以擴展；工業園區耐用雙頻激光干涉儀單價

若干涉條紋發生移動，一定是場點對應的光程差發生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發生變化，或是光路中某段介質的折射率n發生了變化，或是薄膜的厚度e發生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。工業園區耐用雙頻激光干涉儀單價

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