邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領域。吳江區購買雙頻激光干涉儀哪家好

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。常熟安裝雙頻激光干涉儀選擇干涉儀的應用包括測量微小位移、折射率、波長、材料的光學特性等。

若干涉條紋發生移動，一定是場點對應的光程差發生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發生變化，或是光路中某段介質的折射率n發生了變化，或是薄膜的厚度e發生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調節其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。

非接觸式測量：激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀，這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性：激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作。抗干擾能力強：雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。在移動儀器時，應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發霉。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg當兩束不同頻率的激光光束經過分束器分開后，經過被測物體的反射或透射后再合并，形成干涉條紋。常熟安裝雙頻激光干涉儀選擇

光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。吳江區購買雙頻激光干涉儀哪家好

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統中。吳江區購買雙頻激光干涉儀哪家好

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