1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器**長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性5. 全套系統重量*15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。蘇州本地雙頻激光干涉儀選擇

分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環境要求較高，周圍大氣需處于穩定狀態，以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀：出現于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。三、應用高新區安裝雙頻激光干涉儀哪家好光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。

（5）數控機床動態性能檢測 利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。5D/6D標準型：1. 線性：0.5ppm .2. 測量范圍：40米（1D可選80米）3. 線性分辨力：0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5. 比較大范圍：800角秒6. 滾動角精度：1.0角秒7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8. 直線度比較大范圍：500um9. 垂直度精度：1角秒10. 溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg

非接觸式測量：激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀，這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性：激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作。抗干擾能力強：雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。在移動儀器時，應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發霉。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加，形成新的波形的現象。

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s，適于高速動態測量。蘇州本地雙頻激光干涉儀選擇

而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。蘇州本地雙頻激光干涉儀選擇

這種無規則的變化較難通過觸發電平的自動調整來補償，因而限制了單頻干涉儀的應用范圍，只有設法用交流測量系統代替直流測量系統才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器，所不同者，一方面是當可動棱鏡不動時，前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平，而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號；蘇州本地雙頻激光干涉儀選擇

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