機(jī)床與加工設(shè)備:應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺(tái)的精密定位。物理實(shí)驗(yàn):測(cè)量位移、速度、加速度等動(dòng)力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測(cè)控制:在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機(jī)床中實(shí)現(xiàn)誤差的在線測(cè)量,以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測(cè)儀器校準(zhǔn):用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測(cè)儀等幾何檢測(cè)儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)力、高實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。它通過(guò)將光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。姑蘇區(qū)新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

另一方面,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào),而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō),可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等吳江區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。

三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān)。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù), 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋, 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng)。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過(guò)同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見(jiàn)的多路徑干涉儀, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]。
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,在測(cè)試環(huán)境惡劣,測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí),這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí),光電接收器會(huì)輸出信號(hào),如果信號(hào)超過(guò)了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會(huì)被記錄下來(lái),而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),使激光器強(qiáng)度或干涉信號(hào)強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流,機(jī)床油霧,切削屑對(duì)光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。

若干涉條紋發(fā)生移動(dòng),一定是場(chǎng)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線長(zhǎng)度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動(dòng)鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng),最小讀數(shù)為10mm,可估計(jì)到10mm,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光)。激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制),頻率分別為f1和f2。常熟直銷雙頻激光干涉儀維保
光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。姑蘇區(qū)新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
非接觸式測(cè)量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測(cè)量其形狀,這對(duì)于測(cè)量易碎或精細(xì)的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作。抗干擾能力強(qiáng):雙頻激光干涉儀對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng)。五、注意事項(xiàng)與維護(hù)注意事項(xiàng):儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。在移動(dòng)儀器時(shí),應(yīng)托住底座以防止導(dǎo)軌變形。光學(xué)零件在不用時(shí),應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放以防止發(fā)霉。姑蘇區(qū)新款雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
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