激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。吳江區定制雙頻激光干涉儀選擇

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現高精度線性位移測量,適用于車間生產環境下的數控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能,支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統包括 [2]:1.雙頻激光頭及附件2.環境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優勢包括緊湊設計、自動環境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月,典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒,頻差為7±0.5MHz [2]。相城區附近雙頻激光干涉儀五星服務由于其高精度和高靈敏度,激光干涉儀在科學研究和工業應用中都具有重要的地位。

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分,分別經過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟:激光發射:激光器發出單色光束。光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播:參考光束和測量光束分別經過不同的路徑,可能會經過被測物體或介質。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。
三角運算給出其中疊加后的振幅為可以看到, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數, 這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋, 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結構區分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現象,廣泛應用于傳感器、通信等領域。

這種無規則的變化較難通過觸發電平的自動調整來補償,因而限制了單頻干涉儀的應用范圍,只有設法用交流測量系統代替直流測量系統才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點,它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器,所不同者,一方面是當可動棱鏡不動時,前者的干涉信號是介于**亮和**暗之間的某個直流光平,而后者的干涉信號是一個頻率約為1.5MHz的交流信號;邁克爾遜干涉儀:由阿爾伯特·邁克爾遜發明,主要用于測量光的波長、干涉條紋的變化等。吳江區定制雙頻激光干涉儀選擇
光束分割:通過分束器將激光束分成兩部分,通常稱為參考光束和測量光束。吳江區定制雙頻激光干涉儀選擇
激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。用穩頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴展;而且由于它的光束發散角小,能量集中,因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變為電訊號,并由計數器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。吳江區定制雙頻激光干涉儀選擇
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