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超高真空測量技術10?? Pa以下需抑制規或磁懸浮轉子規（Spinning Rotor Gauge）。后者通過轉子轉速衰減測壓力，量程10?1~10?? Pa，精度±3%，***測量無需校準。X射線極限（10?? Pa）是電離規的理論下限，突破需采用低溫量子傳感器（如超導腔頻率偏移法）。12. 真空計的響應時間特性皮拉尼計響應約1~10秒（熱慣性限制）；電離規需預熱3~5分鐘（陰極穩定）；電容規**快（<10 ms）。動態壓力測量需選擇高頻響儀表，如MEMS規帶寬可達1 kHz。電離規在脈沖壓力下可能因電子發射延遲產生相位滯后。電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。浙江mems真空計...

熱陰極電離真空計（Bayard-Alpert計）通過加熱陰極（銥合金或氧化釔涂層鎢絲）發射電子，電子撞擊氣體分子產生離子，離子電流與壓力成正比。量程10?1~10?? Pa，精度±20%。需避免氧氣環境導致陰極氧化，且高壓（>1 Pa）下可能燒毀燈絲。改進型抑制規（Suppressor Gauge）通過電極設計減少X射線效應，可測至10?1? Pa。4. 冷陰極電離真空計（潘寧規）利用磁場約束放電產生離子，無需加熱陰極。量程1~10?? Pa，抗污染能力強，但啟動壓力需<1 Pa（需預抽真空）。放電不穩定可能導致讀數波動±30%。逆磁控管設計提升靈敏度，用于半導體設備監控。其壽命可達10萬小時...

選擇真空計應該注意什么6.安裝與接口安裝方式：根據系統設計選擇合適的安裝方式，如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性：確保真空計的接口與系統兼容。7.電源與信號輸出電源需求：選擇符合系統電源要求的真空計。信號輸出：根據需求選擇模擬信號（如4-20mA、0-10V）或數字信號（如RS485、Modbus）輸出的真空計。8.維護與校準維護需求：選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期：了解校準周期和校準方法，選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預算：在預算范圍內選擇性價比高的真空計。長期成本：考慮長期使用成本，包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務品牌信譽。售后服務：選擇提供良好售后服務的供...

旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大，正處于吸氣過程；而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小，正處于排氣過程；居中的空間B的容積也逐漸減小，正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，***與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，...

常見的真空計類型包括：直接讀取式真空計：如U型管壓力計、壓縮式真空計等，它們直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的，且與氣體種類無關。相對真空計：如熱傳導真空計、電離真空計等，它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進行刻度，必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計：利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成，是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關。電容真空計有哪些優點？南京mems電容真空計設備廠家微壓差真...

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。真空計原理及測量范圍是？蘇州高質量真空計設備公司真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：1.多種測量原理真空計...

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。真空計的維修與保養。無錫金屬電容薄膜真空計生產企業3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。四川高質量真空計設備供應商...

利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子，進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化，通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度，進而得到壓力大小。熱陰極電離規能夠提供高精度的真空度測量，常用于科研和高精度工業領域。b)冷陰極電離規同熱陰極一樣，也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理，不同的是，冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產生離子。在測量過程中無需加熱陰極，因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續工作的場合...

真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接測量壓力）和相對真空計（需校準）。主要類型包括機械式（如波登管）、熱傳導式（皮拉尼計）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時需考慮量程（如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準）及環境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。皮拉尼計（熱傳導真空計）基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理，通過加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導率降低，電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000Pa~10?1Pa，精度±10%。需注意氣體...

真空計的安裝誤差安裝位置不當導致誤差：①管路流導限制（需短而粗的連接管）；②溫度梯度（避免熱源附近）；③振動（機械泵需隔振）；④方向性（某些薄膜規需水平安裝）。規范要求測量點盡量靠近真空腔體，必要時使用差分測量消除管路效應。電離規安裝角度應避免顆粒落入燈絲區域。10.真空計的氣體種類影響不同氣體熱導率/電離效率差異***：皮拉尼計對H?的靈敏度是N?的7倍；電離規對Ar的靈敏度比He高30倍。實際應用中需輸入氣體修正因子（如SEMI標準E12-0305提供常見氣體系數）。混合氣體需質譜儀輔助分析，否則可能導致>50%的測量偏差。如何定制不同企業使用的真空計類型？浙江mems真空計皮拉尼真空計，...

四極質譜儀（殘余氣體分析儀）通過質荷比（m/z）分析氣體成分，結合離子流強度定量分壓。質量范圍1~300amu，檢測限10?12Pa。需配合電離規使用，用于真空系統污染診斷（如檢出H?O峰提示漏氣）。動態模式可實時監控工藝氣體（如半導體刻蝕中的CF?），校準需使用NIST標準氣體。8.真空計的校準方法分直接比較法（與標準規并聯）和間接法（靜態膨脹法、流量法）。國家計量院采用二級標準膨脹系統，不確定度<0.5%。現場校準常用便攜式校準器（如壓強生成器），覆蓋1~10??Pa。溫度、振動和氣體吸附效應是主要誤差源，校準周期建議12個月。ISO3567規定校準需在恒溫（23±1℃）無塵環境下進行。不...

真空計的現代發展技術進步：隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空計進行比對。重慶皮拉尼真空計公司真空計的主要特...

金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構成。當真空度發生變化時，薄膜電容會發生相應的變化，從而導致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化，并將之轉換為電信號輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會導致膜片間距離變化，進而引起電容的變化。通過測量電容的變化，并將其轉換為電流或電壓的變化，就可以作為輸出的信號來測量真空度。高精度：金屬電容薄膜真空計的測量精度較高，部分產品的精度可達0.01%，可以滿足各種精度要求的實驗和生產需求。高靈敏度：由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米，因此該真空計能夠對微小的壓力變化做出反應，具有高靈敏度。長壽命：金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性，使得金屬電容薄...

MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用，包括但不限于：半導體制造：在半導體制造過程中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質，從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領域，MEMS電容真空計用于確保加工環境的純度和穩定性，以提高冶金產品的質量和可靠性。科學研究：在物理學、化學、材料科學等領域的研究中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保實驗環境的準確性和穩定性。航空航天：在航空航天領域，MEMS電容真空計用于監測太空艙內的真空度，確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫療設備：在醫療設備的制造和維護過程中，MEMS電容真空計用于監測放射設備中的真空環境等，確保其...

超高真空測量技術10?? Pa以下需抑制規或磁懸浮轉子規（Spinning Rotor Gauge）。后者通過轉子轉速衰減測壓力，量程10?1~10?? Pa，精度±3%，***測量無需校準。X射線極限（10?? Pa）是電離規的理論下限，突破需采用低溫量子傳感器（如超導腔頻率偏移法）。12. 真空計的響應時間特性皮拉尼計響應約1~10秒（熱慣性限制）；電離規需預熱3~5分鐘（陰極穩定）；電容規**快（<10 ms）。動態壓力測量需選擇高頻響儀表，如MEMS規帶寬可達1 kHz。電離規在脈沖壓力下可能因電子發射延遲產生相位滯后。真空計使用過程中常見的問題有哪些？溫州金屬真空計原廠家真空測量的特...

真空計在半導體工藝中的應用刻蝕機需多規聯合監控：電容規測腔體壓力（1~10?2 Pa），電離規監控等離子體區（10?2~10?? Pa）。ALD設備要求真空計耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規）。數據采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節奏。14. 真空計的壽命與維護熱陰極規壽命約1~2萬小時（燈絲斷裂）；冷陰極規可達10萬小時。維護包括：① 定期烘烤除氣（200℃/24h）；② 避免油蒸氣污染；③ 檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。真空計應如何進行日常的維修與保養？溫州mems真空計真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接...

MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用，包括但不限于：半導體制造：在半導體制造過程中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質，從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領域，MEMS電容真空計用于確保加工環境的純度和穩定性，以提高冶金產品的質量和可靠性。科學研究：在物理學、化學、材料科學等領域的研究中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保實驗環境的準確性和穩定性。航空航天：在航空航天領域，MEMS電容真空計用于監測太空艙內的真空度，確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫療設備：在醫療設備的制造和維護過程中，MEMS電容真空計用于監測放射設備中的真空環境等，確保其...

真空計相關知識真空計的通信接口現代真空計標配RS485/Modbus協議，**型號支持EtherCAT（延遲<1μs）。數字輸出可減少模擬信號噪聲，如電離規的離子電流低至10?12A。物聯網型真空計集成自診斷功能（如INFICON的SmartGauge）。16.真空計在航天器中的應用衛星推進系統監測需耐受-50~120℃溫度波動，采用冗余設計（如雙電離規）。深空探測器使用輻射硬化芯片，抗單粒子效應。阿波羅登月艙真空計采用鉭燈絲，適應月球晝夜300℃溫差。真空計使用過程中常見的問題有哪些？四川高質量真空計原廠家真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器，主要應用于高真空環境中的設備和系統的研究、制造和測...

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計...

真空泵的工作原理真空泵通過機械或物理方式移除氣體分子。旋片泵通過旋轉葉片壓縮氣體排出；渦輪分子泵利用高速葉片撞擊氣體分子；低溫泵則通過冷卻表面吸附氣體。干泵無油污染，適合潔凈環境；擴散泵通過油蒸氣噴射帶走氣體，需配合冷阱使用。選擇泵需考慮極限真空、抽速和氣體類型。4. 真空在半導體制造中的應用芯片制造需10?? Pa超高真空環境。光刻機通過真空避免空氣散射紫外線；離子注入在真空中加速摻雜原子；分子束外延（MBE）逐層生長晶體。真空減少雜質污染，確保納米級精度。一臺EUV光刻機包含數十個真空腔室，真空穩定性直接影響5nm以下制程良率。皮拉尼真空計是一種用于測量真空壓力的儀器。溫州mems電容真空...

真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個力學量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術中，測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術中遇到的氣體壓力都很低，如有時要測10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現象，然后測量這...

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器，用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲（通常是鎢或鉑），其工作原理如下：加熱與熱傳導：金屬絲通電加熱，熱量通過氣體分子傳導。壓力變化：氣體壓力越高，分子越多，熱傳導越強，金屬絲溫度下降。電阻變化：金屬絲溫度變化導致電阻變化，通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程：適用于低真空到中真空范圍（通常為10^-1 Pa到10^5 Pa）。快速響應：對壓力變化反應迅速。結構簡單：易于制造和維護。成本較低：相比其他真空計，價格較為經濟。電容真空計的工作原理是怎...

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器，用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲（通常是鎢或鉑），其工作原理如下：加熱與熱傳導：金屬絲通電加熱，熱量通過氣體分子傳導。壓力變化：氣體壓力越高，分子越多，熱傳導越強，金屬絲溫度下降。電阻變化：金屬絲溫度變化導致電阻變化，通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程：適用于低真空到中真空范圍（通常為10^-1 Pa到10^5 Pa）。快速響應：對壓力變化反應迅速。結構簡單：易于制造和維護。成本較低：相比其他真空計，價格較為經濟。不同類型的真空計原理都有...

（1）利用氣體熱學特征類真空計通過測量氣體分子在真空中的運動狀態或動力學效應來推算真空度，典型**有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規。a）皮拉尼電阻規利用熱絲在真空中的熱傳導效應來測量真空度。當真空度發生變化時，熱絲的熱傳導性能會受到影響，進而導致電阻發生變化。通過測量電阻的變化，可以推算出真空度的數值。皮拉尼電阻規具有靈敏度高、測量范圍寬等特點。b）熱電偶規利用熱電效應進行真空度測量的儀器，其**原理在于熱電偶的溫差電勢與周圍氣體壓力的關系。隨著真空度的變化，熱電偶的溫差電勢也會相應改變，從而提供關于真空度的信息。熱電偶規具有結構簡單、操作便捷等特點。真空計的讀數通常是不變的，這是因為...

常見的真空計類型包括：直接讀取式真空計：如U型管壓力計、壓縮式真空計等，它們直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的，且與氣體種類無關。相對真空計：如熱傳導真空計、電離真空計等，它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進行刻度，必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計：利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成，是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關。真空計按刻度方法如何分類？杭州高精度真空計供應商真空計在半導...

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。真空計的維修與保養。山東皮拉尼真空計原廠家陶瓷真空計是一種用于測量真空系統...

真空計在半導體工藝中的應用刻蝕機需多規聯合監控：電容規測腔體壓力（1~10?2Pa），電離規監控等離子體區（10?2~10??Pa）。ALD設備要求真空計耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規）。數據采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節奏。14.真空計的壽命與維護熱陰極規壽命約1~2萬小時（燈絲斷裂）；冷陰極規可達10萬小時。維護包括：①定期烘烤除氣（200℃/24h）；②避免油蒸氣污染；③檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器，它是根據皮拉尼原理制成的。溫州皮拉尼真空計設備公司微壓差真空計（差壓規）測量兩個腔...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。電容真空計是一種利用電容變化來測量真空度的儀器。電容薄膜真空計生產企業真空...