廣州儀控自動化儀表股份有限公司推出的小氣體流量計，針對半導體制造中特種氣體監測需求設計。該產品采用316L不銹鋼流道，具有良好的化學穩定性，適用于高純度氣體的流量測量，滿足半導體行業對氣體品質的嚴格要求。該系列產品內部流道經過特殊拋光處理，有效減少顆粒物附著。配備的快速響應傳感器能夠實時跟蹤氣體流量變化，為晶圓制造過程中的氣體配比提供數據依據。其緊湊型結構適合集成到氣體分配系統中，在刻蝕、沉積等關鍵工藝環節發揮穩定的監測作用。小氣體流量計在環保監測、能源管理等領域發揮著重要作用。小型氣體流量計

聚焦不同行業的微小流量監測痛點，廣州儀控自動化儀表股份有限公司打造的小氣體流量計以多原理適配性獲得市場認可。公司建有的專業校準車間配備高精度標準氣源裝置，可根據化工、醫療、科研等不同領域的介質特性，針對性調試設備參數，確保適配性與穩定性。針對低流速場景，該小氣體流量計采用熱式測量原理，能準確捕捉微小流量變化，適配實驗室低流速氣體監測；面對常規工業場景，則通過優化的渦街結構設計，在保證低壓力損失的同時提升測量穩定性。在石化行業的乙烯裂解爐供氣系統中，它可配合設備監測反應氣體流量；在智慧城市的環保監測節點，能助力廢氣排放的實時追蹤。設備采用耐腐外殼與防堵塞設計，日常維護需定期清潔傳感區域，配合清晰的 LCD 顯示界面，讓流量監控更便捷。廣州儀控通過技術迭代與場景化優化，讓小氣體流量計更好適配多元測量需求。小氣體流量計廣州儀控自動化儀表股份有限公司通過ISO質量管理體系認證，品質有確保。

廣州儀控自動化儀表股份有限公司聚焦小流量測量的實際痛點，其研發的小氣體流量計以低能耗、易維護的特點適配多場景需求。公司建有專門的校準車間，配備高精度標準氣源裝置，可根據不同行業的介質特性，對小氣體流量計進行針對性調試，保障設備在多樣工況下的適配性。該小氣體流量計采用優化的流場設計與耐腐外殼材質，壓力損失小，能降低系統運行能耗，尤其適合長期連續運行的工業場景。在環保領域的 VOCs 回收系統中，它可準確監測廢氣流量；在食品加工的包裝環節，能實時把控保護氣體的輸出狀態。設備采用無活動部件的結構設計，減少了磨損故障，日常維護需定期清潔傳感區域即可。廣州儀控通過持續優化生產工藝，讓小氣體流量計在科研、能源等多個領域的微小流量監測中發揮實用價值。

針對特殊工業環境需求，廣州儀控自動化儀表股份有限公司開發了耐腐蝕型小氣體流量計。該產品接觸介質部分采用不銹鋼材質，具有良好的耐腐蝕特性，適用于化工、電鍍等行業的腐蝕性氣體測量場景。該流量計集成了溫度和壓力補償功能，在不同工況條件下都能保持測量穩定性。產品通過了嚴格的環境適應性測試，在高溫、高濕等惡劣環境下仍能保持正常工作。其模塊化設計便于維護，降低了使用成本，為特殊工業環境的氣體流程監測提供了可靠的裝備支持。廣州儀控自動化儀表股份有限公司期待與您合作，共創美好未來。

半導體產業對工藝環境的控制要求極為嚴格，其中特種氣體的穩定供應是保障芯片質量的重要條件。廣州儀控自動化儀表股份有限公司生產的小氣體流量計，在半導體制造環節的氣體輸送系統中承擔著流量監控任務。其產品采用特殊材質和密封技術，能夠滿足半導體行業對高潔凈度的特殊要求。在化學氣相沉積、離子注入等關鍵工藝中，廣州儀控的小氣體流量計可實時監測反應氣體的供給狀況。產品具有良好的抗壓波動性能和快速響應特性，有助于維持工藝參數的穩定性。公司針對半導體行業的需求，推出了多款適用于腐蝕性氣體和超高純介質的小氣體流量計產品，為芯片制造的精細化控制提供了有力支持。小氣體流量計的性能受氣體成分、溫度、壓力等因素影響。氣體流量計 熱式

廣州儀控自動化儀表股份有限公司產品目錄包含多款小氣體流量計。小型氣體流量計

廣州儀控自動化儀表股份有限公司開發的模塊化小氣體流量計，采用標準化接口和尺寸設計，便于集成到自動化設備及系統中。產品提供多種信號輸出選項，可與PLC、DCS等控制系統直接對接，滿足工業自動化領域的氣體監測需求。該流量計具有參數組態功能，用戶可根據現場需求設定量程范圍和報警閾值。其統一的安裝尺寸簡化了設備集成過程，降低了系統改造難度。在包裝機械、自動化生產線等應用場景中，該產品為氣動元件的耗氣量監測和設備能效管理提供了實用的解決方案。小型氣體流量計

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