系統(tǒng)控制與自動化：實現(xiàn)工藝的準(zhǔn)確復(fù)現(xiàn)。

整個沉積過程由“全自動配方驅(qū)動軟件”控制，主要是將各環(huán)節(jié)的參數(shù)（真空度、沉積源功率、氣體流量、QMS篩選參數(shù)、基材溫度/旋轉(zhuǎn)/偏置、沉積時間等）整合為“工藝配方”，實現(xiàn)自動化、可重復(fù)運行：參數(shù)設(shè)定與存儲：用戶可根據(jù)實驗需求，設(shè)定各環(huán)節(jié)的具體參數(shù)（如納米顆粒尺寸、薄膜厚度、沉積速率等），并將參數(shù)組合保存為工藝配方，后續(xù)可直接調(diào)用，確保實驗的可重復(fù)性；實時反饋與調(diào)節(jié)：控制系統(tǒng)通過傳感器實時采集真空度、沉積速率、基材溫度等數(shù)據(jù)，若參數(shù)偏離設(shè)定值，自動調(diào)節(jié)相關(guān)部件（如真空泵功率、沉積源電流、氣體閥門開度），維持工藝穩(wěn)定；安全聯(lián)鎖控制：系統(tǒng)內(nèi)置多重安全聯(lián)鎖裝置（如真空度不足時禁止啟動沉積源、基材溫度過高時自動斷電、氣體壓力異常時關(guān)閉閥門），確保操作人員和設(shè)備安全。 在共享教學(xué)實驗室中，多名學(xué)生可并行進(jìn)行不同項目而無交叉污染。沉積系統(tǒng)用途

燃料電池高性能催化劑制備（日本東北大學(xué)）：該大學(xué)環(huán)境學(xué)院團(tuán)隊采用電弧等離子體類型的UHV沉積系統(tǒng)（APD）制備Pt基高熵合金催化劑。系統(tǒng)借助超高真空環(huán)境避免雜質(zhì)污染，以原子級精度構(gòu)建出4層單晶Pt層與10層Cantor合金的“偽核殼”結(jié)構(gòu)，還通過準(zhǔn)確控制實現(xiàn)Cr-Mn-Fe-Co-Ni等多元合金的組分比例。后續(xù)在Pt/Cantor合金的（111）晶面上引入三聚氰胺分子后，催化劑的氧還原反應(yīng)活性提升約2倍，且在0.6-1.0V的潛在循環(huán)負(fù)載下保持超高穩(wěn)定性，大幅延長了燃料電池使用壽命，為燃料電池催化劑的高性能化研發(fā)提供了技術(shù)支撐。沉積系統(tǒng)用途啟動沉積工藝前，務(wù)必確認(rèn)腔室密封圈潔凈且完好無損。

系統(tǒng)的負(fù)載鎖定選件是一個極具價值的高級功能。它允許用戶在維持主沉積腔室超高真空的同時，快速更換樣品。這極大地提升了設(shè)備的吞吐量，尤其適用于需要處理大量樣品的研發(fā)或小規(guī)模生產(chǎn)場景，同時保證了主工藝腔的潔凈度與真空穩(wěn)定性。基板處理模塊的擴展功能提供了極大的靈活性。基板加熱選項允許在沉積前或沉積過程中對基底進(jìn)行高溫退火，以改善薄膜的結(jié)晶質(zhì)量或促進(jìn)界面反應(yīng)。基板旋轉(zhuǎn)確保了在大面積基底上膜厚的極端均勻性。基板偏置選項則允許施加射頻或直流偏壓，用于在沉積前對基底進(jìn)行離子清洗，或在沉積過程中對生長薄膜進(jìn)行離子轟擊，以優(yōu)化薄膜的致密度和附著力。

多用途納米顆粒膜制備（萊奧本礦業(yè)大學(xué)）：該校ChristianMitterer教授課題組引入了由MiniLab125型磁控濺射系統(tǒng)與納米顆粒濺射源組成的UHV綜合系統(tǒng)。該系統(tǒng)可制備1-20nm可調(diào)的納米顆粒，支持Au、Ag、Cu等多種材料，還能實現(xiàn)3重金屬共沉積制備合金顆粒，同時可準(zhǔn)確控制納米顆粒層厚度，實現(xiàn)從亞單層到三維納米孔的沉積效果。該設(shè)備解決了傳統(tǒng)磁控濺射在顆粒膜制備中粒徑和均勻性難以控制的問題，為生命科學(xué)中的ca癥診治藥物傳輸、石墨烯領(lǐng)域的電子器件研發(fā)、光伏領(lǐng)域的光子俘獲等多個方向的納米顆粒膜研究提供了可靠的制備工具。此技術(shù)特別適用于對溫度敏感的生物樣品基底涂層制備。

生命科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用：生物相容性納米技術(shù)賦能醫(yī)療健康創(chuàng)新。

生命科學(xué)領(lǐng)域的研究與應(yīng)用對材料的生物相容性、安全性和精細(xì)性有著極高的要求，科睿設(shè)備有限公司的納米顆粒沉積系統(tǒng)和粉體鍍膜涂覆系統(tǒng)憑借獨特的技術(shù)優(yōu)勢，在該領(lǐng)域展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。在藥物輸送領(lǐng)域，通過粉體鍍膜涂覆系統(tǒng)對藥物粉末或微球進(jìn)行表面改性，沉積生物相容性良好的納米涂層（如聚乳酸 - 羥基乙酸共聚物納米顆粒、無機生物陶瓷納米顆粒），可實現(xiàn)藥物的控釋、靶向輸送，減少藥物對正常組織的毒副作用，提高藥物的療效。 高級配方軟件支持多步驟工藝編輯，適配復(fù)合結(jié)構(gòu)材料的分層沉積。沉積系統(tǒng)用途

設(shè)備專為共享實驗室設(shè)計，支持多用戶并行開展納米技術(shù)項目且無交叉污染。沉積系統(tǒng)用途

在規(guī)劃安裝此類設(shè)備的實驗室時，首先需確保地面承重能力滿足要求，因為真空設(shè)備及其泵組通常重量較大。實驗室空間應(yīng)保持潔凈、無塵，建議達(dá)到萬級潔凈度以上，較大程度減少設(shè)備維護(hù)頻率和樣品污染風(fēng)險。穩(wěn)定的環(huán)境溫濕度對于設(shè)備的穩(wěn)定運行和精度也至關(guān)重要。基礎(chǔ)設(shè)施的準(zhǔn)備必須周全。設(shè)備需要大功率、穩(wěn)定的三相和單相交流電源，并且必須有良好的接地。冷卻水系統(tǒng)需要提供足夠流量、壓力和潔凈度的去離子水，水溫波動應(yīng)控制在較小范圍內(nèi)。對于納米顆粒沉積所需的特定工作氣體，實驗室需規(guī)劃氣瓶間或集中供氣系統(tǒng)，并確保氣體純度滿足要求。沉積系統(tǒng)用途

科睿設(shè)備有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在上海市等地區(qū)的化工中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評價對我們而言是比較好的前進(jìn)動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同科睿設(shè)備供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！