超高真空PVD系統：超純非團聚納米顆粒沉積的利器

科睿設備有限公司推出的超高真空（UHV）PVD系統，以“超純非團聚納米顆粒直接沉積”為主要優勢，徹底革新了納米材料制備的工藝邏輯。該系統借助先進的真空技術，將真空度控制在極高水平，有效避免了空氣中雜質對納米顆粒的污染，確保沉積過程中納米顆粒的超純特性，同時通過優化的沉積機制，防止顆粒團聚，保證每一顆納米顆粒都能以單獨、均勻的狀態附著于基材表面。更值得關注的是，系統可兼容直徑達50毫米的各類基材，無論是剛性的金屬、陶瓷基板，還是柔性的聚合物材料，都能實現精細沉積，極大拓展了應用場景。對于共享研究實驗室或教學實驗室而言，這一特性尤為重要——不同研究團隊可圍繞催化材料合成、光子器件制備、儲能電極修飾等不同項目并行使用設備，無需擔心交叉污染問題，既提升了設備利用率，又降低了科研成本。此外，系統生成的納米顆粒和薄膜兼具高純度、高均勻性和良好的穩定性，完美適配工業研發中的性能驗證需求和學術研究中的機理探索需求，成為連接基礎研究與實際應用的關鍵技術橋梁。 NL-FLEX 系統兼容卷對卷、非平面及粉末基材，適配多元沉積場景需求。PVD沉積系統采購

科睿設備的納米顆粒沉積系統、超高真空 PVD 系統等產品作為高精度科研儀器，其安裝環境和安裝規范直接影響設備的運行穩定性和使用壽命，因此必須嚴格遵循相關要求。在空間要求方面，設備需安裝在通風良好、整潔干燥的實驗室或車間內，根據設備型號的不同，需預留足夠的操作空間（一般建議設備周圍至少保留 1.5 米的活動空間）和維護空間，確保操作人員能夠安全便捷地進行設備操作和日常維護，同時便于設備散熱和氣體管路、電路的布局。在環境溫濕度方面，建議環境溫度控制在 18-25℃之間，相對濕度保持在 40%-60%，避免溫度過高或過低導致設備真空系統、電氣元件等關鍵部件性能下降，同時防止高濕度環境引發的設備銹蝕、電路短路等問題。PVD沉積系統采購該系統廣泛應用于催化、儲能和光子學等前沿研究領域。

全自動和配方驅動的軟件是實現復雜工藝與可重復性的靈魂。高級配方控制允許用戶編寫包含條件判斷、循環和分支的復雜工藝流，例如“當QCM厚度達到100nm時，自動將基底溫度升至500℃并保持30分鐘”。這種靈活性滿足了從簡單沉積到復雜材料工程的各種需求。

設備運行過程中的數據記錄與追溯是良好科研實踐的一部分。SPECTRUM軟件會自動記錄全過程的工藝數據，形成電子日志。研究人員應妥善保管這些數據，這對于實驗結果的重現性分析、工藝優化以及在出現異常時進行故障診斷都具有極高價值。

真空度抽不上去或抽速緩慢是最常見的故障之一。排查應遵循由外到內、由簡到繁的原則。首先檢查腔門是否關緊、密封圈是否完好潔凈。其次，檢查各個真空閥門的開閉狀態是否正確。然后，使用氦質譜檢漏儀對系統進行檢漏，重點關注法蘭連接處、電極引入端等潛在漏點。然后，考慮是否腔室或泵體內部污染導致放氣率過高。

分子泵或渦輪泵運行異常，如過載報警、轉速不穩，可能的原因包括軸承壽命到期、泵體內部進入異物、或前級真空不足導致泵負載過大。需要查閱泵的維護手冊，檢查前級真空壓力，必要時聯系專業人員進行檢修或更換。 它為二維材料異質結的可控構筑提供了理想制備平臺。

新南威爾士大學AronMichael團隊利用超高真空電子束蒸發硅系統，攻克了CMOS上集成MEMS時的低熱預算難題。該系統可在≤500℃的低熱預算下，制備出厚度達60μm、表面光滑且低應力的原位磷摻雜硅薄膜，沉積速率達1μm/min，且不會損害CMOS的完整性。團隊還基于這種厚多晶硅膜設計制造了20μm厚的梳狀驅動結構，成功實現了加速度計的功能。該案例為MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技術，助力汽車、可穿戴設備等領域智能傳感器的低成本集成。粉末鍍膜前需對粉體進行干燥預處理，去除水分與吸附雜質。PVD沉積系統采購

教學實驗室中，可直觀展示納米沉積原理，助力學生實踐能力培養。PVD沉積系統采購

NL-FLEX系統展現了優異的基底兼容性，它能夠處理包括剛性基片、柔性卷對卷材料、復雜三維結構的非平面基底乃至粉末顆粒在內的各種樣品。這種靈活性極大地拓展了其應用邊界，使得從傳統硅片上的器件研發到粉末材料的表面改性，再到柔性電子器件的制備，都能在同一平臺上完成。該系統集成了納米顆粒沉積與多種薄膜沉積技術，為用戶提供了“一站式”的材料合成與加工解決方案。

該系列設備專為共享研究或教學實驗室環境進行了深度優化。其模塊化設計和智能化的過程控制，使得不同課題組的學生和研究人員能夠并行開展多樣化的納米技術項目，而無需擔憂交叉污染的風險。系統內置的先進配方驅動軟件，允許用戶預設并存儲復雜的工藝參數，不同用戶調用各自配方即可完成實驗，極大地提升了設備的使用效率與管理便捷性，尤其適合高校院所內多用戶、跨學科的研究平臺。 PVD沉積系統采購

科睿設備有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在上海市等地區的化工中匯聚了大量的人脈以及**，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同科睿設備供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！