例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業機械人，美國機械人協會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料，工件，工具或特別設備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業機械人并非有人的形態，但只要它們符合機械人的定義，便可以稱為機械人.工業機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業內，但估計在不久將來還會有數以十萬計的工業機械人投入服務.現時，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。普遍認為機械臂是實現智能制造的很好的載體，可以實現五軸數控無法實現的大操作空間與靈活性。汕尾銷售晶圓運送機械吸臂維修

 晶圓是半導體行業的關鍵元件，隨著半導體行業的迅速發展，晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業發展的關鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量，體現著整個加工系統的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預對準設備上，工作環境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預對準設備上取下，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運到接口位置，等待大氣機械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環境下進行，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高。東莞庫存晶圓運送機械吸臂供應商家單軸機械手臂作為一個組件在工業中應用***。

割拋光：

單晶棒將按適當的尺寸進行切割，然后進行研磨，將凹凸的切痕磨掉，再用化學機械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡，晶圓片制造就完成了。

二，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產生一層二氧化硅。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質和特殊處理的二氧化硅有一定的導電性。二氧化硅在這里的作用是為了傳導光。像是用二氧化硅做光導纖維是同一個道理。完成這步后就為后面光刻做好了準備。

光刻膠涂抹：

顧名思義，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠，而對其技術要求是要做到平整和薄。

背景技術：

晶圓的生產與制作屬極為精密的加工技術，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業。例如，準備對晶圓進行刻蝕加工時，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內。

現有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂，該機械手臂的表面設有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內，以防止機械手臂在傳送晶圓時發生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動)。然而，現有機械手臂易出現碰撞損傷，另外，機械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產效率。

盡管它們的形態各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.

    建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統建模與控制的基礎。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時變形的描述與系統動力學方程的求解關系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法；2)有限段法；3)模態綜合法；4)集中質量法；動力學方程的建立無論是連續或離散的動力學模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學法和分析力學法。應用較***同時也是比較成熟的是Newton-Euler公式、Lagrange方程、變分原理、虛位移原理和Kane方程。 手端的定位由各部關節相互轉角來確定，其誤差是積累誤差，因而精度較差，其位置精度也更難保證。深圳庫存晶圓運送機械吸臂供應商家

機械手要獲得較高的位置精度，除采用先進的控制方法外，在結構上還注意以下幾個問題；汕尾銷售晶圓運送機械吸臂維修

本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現要素：

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

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