進(jìn)行光刻：

將設(shè)計好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術(shù)革新，極紫光刻出現(xiàn)了，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 X移動，Y移動，Z移動組成，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動，Y轉(zhuǎn)動，Z轉(zhuǎn)動可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點。廣州進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂

整個蛙腿型晶圓搬運機(jī)械手共由3個電機(jī)實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機(jī)，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持韶關(guān)官方晶圓運送機(jī)械吸臂維修盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè)，那么我們來說說工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器，六軸機(jī)器人的六個軸，每個軸都是一個電機(jī)配備減速機(jī)來傳動，各個軸的運動方式和方向都不同，每個軸其實是模擬人手的各個關(guān)節(jié)的動作。

一軸：一軸是連接底座的部位，主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn)，一個左右旋轉(zhuǎn)的動作就是使用電機(jī)與減速機(jī)傳動的結(jié)果，每個軸都是代替一個方向的運動方式。

二軸：控制機(jī)器人主臂的前后擺動、整個主臂上下運動的功能。

三軸：三軸同樣是控制機(jī)器人前后擺動功能，只是比第二軸的擺臂范圍小。

四軸：四軸是控制機(jī)器人上面的圓形管的部分可自由旋轉(zhuǎn)的部位，活動范圍相當(dāng)于人的小臂，不過不是360°旋轉(zhuǎn)里面有電線跟人小臂的范圍相同。

五軸：第五軸控制微調(diào)的上下翻轉(zhuǎn)動作，通常是當(dāng)產(chǎn)品抓取后可以使產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)的動作。

六軸：第六軸就是末端法蘭哪個部分旋轉(zhuǎn)功能。可以360°旋轉(zhuǎn)。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 為此，手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來加大手臂的剛度.

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對應(yīng)的就是硅晶圓。 操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。廣州進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂

手臂上的零部件，如油缸、導(dǎo)向桿、控制件等都安裝在手臂上。廣州進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂

沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手、沖床沖壓機(jī)械手，它是用于沖床行業(yè)專門用的機(jī)械臂，沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動完成幾個規(guī)定的動作，實現(xiàn)物體的自動夾取和運送。在沖壓生產(chǎn)中，它不僅用于一臺壓力機(jī)上完成上下料工作，實現(xiàn)單機(jī)自動化，也可以用在由若干臺壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上，實現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動傳遞，形成自動沖壓生產(chǎn)線。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中，對于實現(xiàn)生產(chǎn)自動化更具有重要意義。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu)、驅(qū)動機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成。 廣州進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂

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