辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試，填補了MKS對國內斷供的影響。不同類型的真空計分別適用于哪些場景？溫州高質量真空計設備公司

真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接測量壓力）和相對真空計（需校準）。主要類型包括機械式（如波登管）、熱傳導式（皮拉尼計）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時需考慮量程（如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準）及環境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。皮拉尼計（熱傳導真空計）基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理，通過加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導率降低，電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000Pa~10?1Pa，精度±10%。需注意氣體種類影響（氫氣熱導率高，讀數偏低），且長期使用可能因污染導致零點漂移。現代皮拉尼計集成溫度補償算法，穩定性可達±1%/年。3.熱陰極電離真空計（Bay浙江mems皮拉尼真空計設備廠家真空計如何選型與使用？

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。選型與使用量程選擇：根據測量需求選擇合適的量程。環境適應性：考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護：正確安裝并定期校準和維護。常見問題零點漂移：定期校準以減少誤差。污染影響：保持傳感器清潔，避免污染。溫度影響：注意環境溫度變化對測量的影響。總結陶瓷真空計憑借其耐高溫、耐腐蝕和高精度等特性，在多個領域有廣泛應用。正確選型和使用能確保其長期穩定運行。 電容真空計與熱傳導式真空計在測量原理上有所不同。

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器，用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲（通常是鎢或鉑），其工作原理如下：加熱與熱傳導：金屬絲通電加熱，熱量通過氣體分子傳導。壓力變化：氣體壓力越高，分子越多，熱傳導越強，金屬絲溫度下降。電阻變化：金屬絲溫度變化導致電阻變化，通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程：適用于低真空到中真空范圍（通常為10^-1 Pa到10^5 Pa）。快速響應：對壓力變化反應迅速。結構簡單：易于制造和維護。成本較低：相比其他真空計，價格較為經濟。電容真空計有哪些優點？真空計供應商

真空計使用時應該注意什么？溫州高質量真空計設備公司

熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關，而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中，用旋轉磁場把鋼球加速到400轉/秒，然后停止加速，任其自然衰減，用電子學方法精確測量其轉速衰減率，從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度，吸氣、放氣速率小，壓強指示受氣體種類影響小，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數受振動影響較大，測量時間也較長。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。溫州高質量真空計設備公司