以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸到與其連接的測試機上,從而得到電性能的參數。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。一般,信號路徑電阻被用來替代接觸電阻,而且它在眾多情況下更加相關。湖北磁場探針臺加工廠家

探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業向來有“一代設備,一代工藝,一代產品”的說法。半導體設備價值普遍較高,一條先進半導體生產線投資中,設備價值約占總投資規模的75%以上。隨著全球半導體行業市場規模不斷擴大,半導體設備市場也呈增長趨勢。根據SEMI統計,全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元,年復合增長率約為15.2%,但受到半導體行業景氣度下滑及宏觀經濟環境影響,2019年、2020年一季度增長有所下降,但預計疫病過后,將恢復增長。甘肅半自動探針臺廠家上海勤確科技有限公司終善的服務、及時的服務、正確的服務,服務到每一個客戶滿意。

探針臺市場逐年增長:半導體測試對于良率和品質控制至關重要,是必不可少的環節,主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設備(探針臺、測試機、分選機等)。根據半導體產線投資配置規律,測試設備在半導體設備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導體市場飛速增長。在全球貿易摩擦背景下,半導體行業國產化率提高成為必然趨勢,國內半導體產業的投資規模持續擴大。
半自動探針臺主要應用于需要精確運動、可重復接觸和采集大量數據的場合。一些公司也使用半自動探針系統來滿足其小批量生產要求。半自動探針系統的組成部件大部分與手動探針臺相似,但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的,并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動。

近來出現的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針,它結合了探針臺準確性和可重復性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地(GSG)或者接地-信號(GS)——一端帶有pogo-pin探針,另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達到40GHz,回波損耗優于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間,這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺一樣,可以在特定的測試區域中設計一個影響小的焊盤端口,或者可以將探針放置在靠近組件的端子或微帶傳輸線上。在探針臺上裝上打點器,打點器根據系統的信號來判斷是否給芯片打點標記。天津芯片測試探針臺配件廠家
探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。湖北磁場探針臺加工廠家
精細探測技術帶來新優勢:先進應力控制技術亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅動在有效區域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,因此能動態控制探針強度也是很重要的;若能掌握可移轉的參數及精細的移動控制,即可提升晶圓翻面時的探測精確度,使精細的Z軸定位接觸控制得到協調,以提高精確度,并縮短索引的時間。湖北磁場探針臺加工廠家