技術參數播報編輯根據2012年發布的ZDF-1A/B型說明書,熱偶真空計、熱陰極電離真空計及金屬電阻規三種測量通道組合構成,覆蓋105~10-6Pa的真空范圍測量,主要技術指標包括 [1]:熱偶規測量范圍:3.0×102~1.0×10?1Pa(ZJ-54D型)電離規測量范圍:5~1.0×10??Pa(ZJ-27型)或26~1.0×10??Pa(ZJ-10型)發射電流調節范圍:50μA至5mA陽極電壓:225V(ZDF-1A型)繼電器觸點容量:220V AC/3A。使用復合真空計需遵循特定操作要求 [1]:真空系統放氣前必須切換至熱偶計或電阻規通道,防止電離規管暴露于高壓空氣電離規燈絲只能在壓強低于1Pa時啟動,避免氧化燒毀定期校準熱偶規加熱電流,標準值為95-105mA(具體數值依據規管型號)安裝時電離規管軸線應與地面垂直,傾斜角度不得超過30°真空計用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓,是一種使用的儀表。保時安真空計怎么用

3.皮拉尼真空計皮拉尼真空計是一種電阻式真空計,其工作原理是利用氣體分子的熱傳導作用對細金屬絲(通常為鉑絲)的溫度產生影響,從而改變其電阻值。皮拉尼真空計適用于低真空和中真空范圍的測量,具有結構簡單、價格低廉、響應速度快等優點。綜上所述,不同類型的真空計各有其特點和適用情境。在選擇真空計時,應根據實際需求綜合考慮測量范圍、精度、穩定性、便攜性以及價格等因素。希望本文的介紹能對讀者在選用真空計時提供有益的參考哪些真空計推薦咨詢按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類。

二、相對真空計的主要類型1.熱傳導真空計熱傳導真空計是利用氣體在不同壓力下對熱量傳遞的影響來測量真空度的。在低真空范圍內,其測量精度高,穩定性好。但由于其依賴氣體的熱傳導性質,因此在不同氣體組分的環境下,可能需要進行校準。2.電離真空計電離真空計的工作原理是通過電場加速電子,使氣體分子電離,從而產生電流。該電流的大小取決于氣體分子的數量和能量,因此可以作為測量真空度的依據。電離真空計適用于測量高真空和超高真空范圍,且響應速度快,但對使用環境要求較高。
規管構造主要包括加熱燈絲C與D(通常采用鉑絲)以及用于測量熱絲溫度的熱電偶A與B(多采用鉑銠或康銅-鎳鉻合金)。熱偶真空計利用熱電偶測量熱絲溫度變化,受氣體種類影響,有特定的適用壓強范圍。在測量過程中,熱電偶的熱端與熱絲緊密接觸,而冷端則與儀器中的毫伏計相連,通過毫伏計可以讀取熱偶產生的電動勢。不同氣體的熱傳導性能各異,因此熱偶真空計在測量不同氣體時的結果會有所差異。為了獲得準確的結果,需要對測量結果進行相應的修正。此外,熱偶真空計的測量范圍通常在102~10-1Pa之間。與電阻真空計相似,熱偶真空計也具有一定的熱慣性。在壓強發生變化時,熱絲溫度的改變會存在一定的滯后時間,因此在讀取數據時也需要相應地滯后一些時間。 把待測壓強氣體的一部分進行隔離并加以壓縮,直到壓強增大到可以直接測量真空計的程度。

工作原理播報編輯兩種真空計在不同壓強區間發揮測量作用:1.熱偶真空計加熱電流恒定狀態下,熱電偶電勢與氣體熱傳導系數呈正相關。當壓強低于10Pa時氣體導熱系數隨壓強降低而減小,通過熱電偶輸出電勢變化反映真空度。有效測量范圍為100-0.1Pa [4]。2.熱陰極電離真空計燈絲加熱至2200K發射熱電子,經150V柵極電壓加速后與氣體分子碰撞產生正離子。收集極在-25V偏壓下捕獲離子形成電流,該電流與氣體壓強成線性關系 [4]。典型工作范圍為0.1-1×10??Pa。設備通過動態切換機制實現量程銜接:當熱偶計檢測到壓強低于10?1Pa時,自動開啟電離計 [1] [4]。ZDF-1A/B型具備1-99分鐘可調延時切換功能,防止頻繁啟停損壞燈絲 [1]隨著真空技術的普及,大量應用于單晶爐設備,真空計滿足光伏行業基礎單晶硅生產。品牌真空計廠家電話
薄膜真空計原理根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計。保時安真空計怎么用
冷陰極真空計(ColdCathodeGauge,如潘寧計)原理:基于高壓電場與磁場協同作用下的氣體放電效應。結構包含兩個陰極和一個陽極,外加軸向磁場。高壓電場使陰極發射電子,電子在磁場中螺旋運動,增加與氣體分子的碰撞概率,導致電離。電離產生的正離子被陰極捕獲,形成離子電流,其大小與氣體分子密度成正比。特點:量程:通常為10?6Torr至10?3Torr,適合中高真空。優點:無加熱元件,結構簡單、壽命長。對振動不敏感(適合航天等惡劣環境)。局限性:低真空下響應慢(需足夠殘余氣體維持放電)。測量結果可能受磁場均勻性影響。本質區別總結類型**物理效應信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導效應金屬絲電阻變化低真空至中真空高(需校準)熱陰極電離計氣體電離效應離子電流高真空至超高真空低(可忽略)冷陰極計(潘寧)高壓電場+磁場放電效應離子電流中高真空低。 保時安真空計怎么用