光譜吸收法在半導(dǎo)體濕法制程藥液濃度監(jiān)控中的應(yīng)用

來源：發(fā)布時間：2026-05-28

在半導(dǎo)體、FPD、太陽能等高級制造領(lǐng)域，濕法制程是芯片清洗、刻蝕與光阻去除的關(guān)鍵工藝，藥液濃度的穩(wěn)定管控直接決定制程良率與產(chǎn)品品質(zhì)。傳統(tǒng)檢測依賴人工取樣滴定，存在檢測滯后、人為誤差大、無法實時調(diào)控等問題，不僅造成藥液無效消耗，還易引發(fā)刻蝕不均、清洗異常等品質(zhì)缺陷。

針對化學(xué)濕法工藝的藥液濃度管理需求，IAS

ANALYSIS開發(fā)出高精度化學(xué)藥液濃度計。該設(shè)備采用近紅外光譜吸收、電化學(xué)等技術(shù)原理，能夠秒級完成對HF、H?SO?、TMAH等多種常用蝕刻液/清洗液的濃度測定，精度達(dá)±0.01%。設(shè)備可在高溫強酸環(huán)境下連續(xù)運行(采用耐腐蝕PFA材料)，內(nèi)置補償算法，消除溫度和氣泡干擾帶來的測量誤差，并能夠與工廠中控系統(tǒng)進(jìn)行實時數(shù)據(jù)傳輸。產(chǎn)品已通過SEMI

S2、CE等認(rèn)證。

IAS-M100系列面向半導(dǎo)體常規(guī)濕法工藝，可適配SC1、SC2、HFN、SPM等主流工藝藥液，覆蓋清洗、刻蝕、光阻去除全流程，一臺設(shè)備即可滿足多類型常規(guī)藥液的檢測需求。IAS-M300系列針對高級制程專項開發(fā)，準(zhǔn)確適配9058、960H等專業(yè)制程藥液，依托定制化檢測配置，滿足先進(jìn)半導(dǎo)體、FPD高級制程的嚴(yán)苛檢測要求，覆蓋不同層級濕法工藝的應(yīng)用場景。

IAS-M100/M300系列具備穩(wěn)定的檢測精度，可準(zhǔn)確識別藥液濃度的細(xì)微變化，為制程管控提供可靠的數(shù)據(jù)支撐。IAS-M100可實現(xiàn)快速檢測，實時同步濃度數(shù)據(jù)，完美匹配濕法工藝連續(xù)化生產(chǎn)的監(jiān)控需求;IAS-M300接觸藥液部分采用PFA防腐材質(zhì)，耐酸堿、抗腐蝕，可長期適配強腐蝕性的藥液環(huán)境，進(jìn)一步提升設(shè)備運行穩(wěn)定性。兩款設(shè)備均按照工業(yè)現(xiàn)場標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計，適配對應(yīng)藥液的溫度、壓力工況，可直接接入制程管線使用。

IAS-M100/M300系列配備RS232、RS485、網(wǎng)口、并口、模擬量等標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)通訊接口，可無縫對接現(xiàn)場工控系統(tǒng)，實現(xiàn)數(shù)據(jù)實時傳輸與遠(yuǎn)程查看，滿足工業(yè)數(shù)字化管控要求。儀器支持濃度閾值設(shè)置與報警提醒，可實時監(jiān)控濃度指標(biāo)變化，結(jié)合閉環(huán)定量控制模式，及時調(diào)整藥液配比，將濃度穩(wěn)定在工藝標(biāo)準(zhǔn)區(qū)間內(nèi)，實現(xiàn)自動化、準(zhǔn)確化的濃度管控。

IAS-M100/M300系列的落地應(yīng)用，可有效降低藥液無效消耗，減少生產(chǎn)物料成本，同時通過穩(wěn)定的濃度管控，避免刻蝕不均、清洗異常等問題，明顯提升制程良率與生產(chǎn)效率。該系列設(shè)備可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、太陽能等高科技行業(yè)，統(tǒng)一檢測標(biāo)準(zhǔn)、簡化管控流程，助力濕法工藝從人工管控向智能自動化轉(zhuǎn)型。光譜吸收法與IAS-M100/M300系列的結(jié)合，徹底解決了傳統(tǒng)濕法制程藥液濃度檢測的關(guān)鍵痛點，以穩(wěn)定、準(zhǔn)確、高效的檢測優(yōu)勢，實現(xiàn)藥液濃度全流程實時監(jiān)控與閉環(huán)控制，推動半導(dǎo)體濕法工藝管控水平持續(xù)升級，成為高級制造產(chǎn)業(yè)提質(zhì)降本、高質(zhì)量發(fā)展的重要支撐。