廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜 PECVD 設備無法啟動，多由六大模塊故障引起：①射頻電源無輸出或匹配器電容擊穿，等離子體不能點燃；②真空抽不到本底，前級泵故障或腔體大漏，系統拒絕解鎖；③氣體質量流量控制器（MFC）零點漂移，流量為零，連鎖保護；④冷卻水流開關未閉合，機臺過熱保護；⑤ PLC 急停或門互鎖信號未復位；⑥靶電源/直流源保險絲熔斷，無工藝電壓。排查順序：先復位急停并確認門閉→檢查冷卻水壓 0.3 MPa→檢漏并用氦質譜儀確保漏率＜1×10???Pa·m3/s→校準 MFC 零點→更換熔斷保險絲→觀察射頻匹配器反射功率，若＞10 W 則重新調諧；仍無法啟動，用示波器測功率管柵極波形，壞管及時更換。經此金屬表面處理流程，可在 30 min 內定位故障，恢復輝光，避免整批金屬表面處理真空鍍膜產品報廢，保障金屬表面處理產線連續運行與交付節拍

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