杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2026-06-03
T掃(Transmission Scan,透射掃描)是水浸超聲掃描顯微鏡的一種特殊成像模式,與常用的C掃(反射模式)相對(duì)應(yīng)。在T掃模式下,探頭發(fā)射的超聲波穿過(guò)被測(cè)件,在樣品另一側(cè)由另一個(gè)探頭(或同一個(gè)探頭切換到接收模式)接收。T掃圖像顯示的是超聲波的透射率:透射率高的區(qū)域顯示為亮色(聲波順利通過(guò),說(shuō)明材料均勻、結(jié)合良好),透射率低的區(qū)域顯示為暗色(聲波被衰減或阻擋,說(shuō)明有缺陷)。T掃特別適合檢測(cè)高衰減材料中的大面積缺陷,如陶瓷基板內(nèi)部的大面積分層、復(fù)合材料中的大面積脫粘。
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簡(jiǎn)單理解:C掃是"聽回聲",T掃是"聽穿透"。C掃看的是超聲波有沒有被彈回來(lái),彈回來(lái)多說(shuō)明有界面缺陷;T掃看的是超聲波有沒有穿過(guò)去,穿不過(guò)去說(shuō)明中間有東西擋著。T掃的優(yōu)勢(shì)是對(duì)某些C掃不敏感的缺陷更有效——比如當(dāng)缺陷和周圍材料的聲阻抗差異很小時(shí),反射信號(hào)弱,C掃看不出來(lái),但缺陷會(huì)***衰減透射信號(hào),T掃就能看出來(lái)。T掃的劣勢(shì)是需要樣品兩側(cè)都能接觸到探頭,對(duì)樣品形狀有限制,不是所有樣品都適合做T掃。
T掃在實(shí)際應(yīng)用中**典型的場(chǎng)景有兩個(gè)。***是陶瓷基板(如AlN、Al2O3)檢測(cè):陶瓷對(duì)超聲波衰減很大,反射信號(hào)弱,C掃效果不好,但T掃能清晰顯示陶瓷內(nèi)部的大面積空洞和裂紋。第二是復(fù)合材料檢測(cè):碳纖維復(fù)合材料內(nèi)部的分層和孔隙,用C掃很難分辨,但T掃能清楚顯示聲波被阻擋的區(qū)域。需要注意的是,T掃的分辨率通常低于C掃,因?yàn)橥干湫盘?hào)的信噪比一般不如反射信號(hào),所以T掃更適合看"有沒有大缺陷",而不是"小缺陷在哪里"。
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