杭州芯紀源半導體設備有限公司2026-06-02

水浸超聲掃描顯微鏡的樣品尺寸范圍取決于具體型號，但主流設備的能力如下：**小可檢測單顆芯片（約2mm×2mm），**大可檢測12寸（300mm）晶圓或等效尺寸的大面積基板。掃描行程方面，X軸和Y軸通常在100mm~450mm之間，Z軸行程一般在50mm~100mm之間。對于超過設備行程的大樣品（如整塊PCB板），可以采用拼接掃描的方式，分區域掃描后軟件自動拼接。但拼接會增加時間和拼接誤差，所以如果樣品太大，建議先評估是否真的需要全檢，或者改用其他檢測手段。

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