打個(gè)比方：X-Ray像是給樣品拍"密度照片"，密度大的地方（金屬）顯白，密度小的地方（空氣）顯黑，所以它看空洞、看金屬斷裂很準(zhǔn)；水浸SAM像是給樣品做"回聲測試"，結(jié)合好的地方回聲弱，結(jié)合差的地方回聲強(qiáng)，所以它看分層、看脫粘、看虛焊無人能敵。兩者的盲區(qū)幾乎完全不同，這就是為什么半導(dǎo)體封裝廠通常兩臺(tái)都要買。另外，SAM無輻射、對(duì)人體無害，X-Ray有輻射需要防護(hù)，這也是一個(gè)實(shí)際考慮因素。

從檢測效率看，水浸SAM的掃描速度通常比X-Ray快得多，因?yàn)槌暡ú杉菍?shí)時(shí)的，而X-Ray需要積累足夠的光子數(shù)才能成像。SAM做一片12寸晶圓的C掃通常只需要幾分鐘，X-Ray可能需要十幾分鐘甚至更久。從成本看，SAM設(shè)備貴但無耗材（水可以循環(huán)），X-Ray設(shè)備也貴但有X射線管壽命限制（通常幾千小時(shí)需更換）。從安全性看，SAM完全無輻射，可以放在普通實(shí)驗(yàn)室；X-Ray必須有輻射防護(hù)間，審批流程復(fù)雜。所以越來越多的工廠傾向于用SAM做主檢，X-Ray做輔檢。