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熱處理模塊對光刻膠有什么影響？?

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無錫凡華半導體科技有限公司2025-08-14

光刻膠對溫度很靈敏，少量溫度變化對先進制程的光刻膠膜厚影響較大。熱處理模塊中的熱板需嚴格確保溫度加熱的均勻性，并對升溫過程的精確度提出高標準要求，保證光刻工藝質量。?

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無錫凡華半導體科技有限公司
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簡介：無錫凡華半導體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機，IPA干燥機，晶舟轉換器，花籃清洗機等
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無錫凡華半導體科技有限公司

聯系人： 邵圣

手   機： 13961806265

網   址： http://www.fanhuasemi.com/

地   址：
江蘇省無錫市宜興市宜興市萬石鎮工業集中區北區
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