影像型工具顯微鏡TMM-1510S
影像型工具顯微鏡TMM-S系列
產品特色
軸0.0005mm解析度
2.高精度非接觸式光測高度量測模組
3.具Z軸粗細調轉盤
4.同軸表面光/底光量測
5.內建偏光量測光學模組
6.可量測透明材質高度差
TMM-S/D系列規格：
| 儀器型號 | TMM-1510S | TMM-2010S | TMM-3020S | |
| 工作臺金屬臺面尺寸(MM) | 354*228 | 404*228 | 500*330 | |
| 工作臺玻璃臺面尺寸（mm） | 210*160 | 260*160 | 350*250 | |
| 工作臺運動行程（mm） | 150*100 | 200*100 | 300*200 | |
| 儀器重量（kg） | 100 | 110 | 140 | |
| 外形尺寸（mm） | 590（左右手輪距離）*560（前面板到后花崗石）*850（腳墊底部到保護鏈頂部） | 590*720*850 | ||
| Z軸工作距離（mm） | 120 | |||
| XYZ軸光學尺解析度 | 0.5um | |||
| xy坐標示值誤差 | ≤(3+L/200)um L為測量長度單位mm | |||
| 測量軟件 | QMS3D-M | |||
| 影像系統 | 彩色1/2〞CCD攝像機640*480 | |||
| 顯微鏡系統 | 三目頭 目鏡：10倍 濾光片：紅，藍，綠 測量模式：反射，透射，偏光 5孔物鏡轉換鏡 | |||
| 照明光源 | 透射照明光源：綠光 LED 亮度可調 同軸照明光源，鹵素燈，亮度可調 | |||
| 電源 | AC 110V 50/60HZ(標準），AC 220v 50/60hz（選配） | |||
| 功率 | ﹤60w（不含電腦） | |||
| 物鏡 | ||||
| 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
| 20.0 | 18.3 | 8.8 | 2.0 | |
| 1.23*0.91 | 0.62*0.46 | 0.31*0.23 | 0.12*0.09 | |
| 選配件 | ||||
| 高度量測模組 | 光干涉高度量測模組10X | |||
| 建議 | ||||
| 放置臺 | 載重量≧350kg ，尺寸（長*寬*高）：1000*600*500 | |||
