濺射或蒸發工藝后的金屬層表面光滑,微米尺寸的電極具有較大的基線噪聲和波動,因此增加電極的比面積可以增加電極和溶液的有效接觸面積,從而來降低電極的阻抗和噪聲。通常所采用的電極表面修飾材料有: TiN、Ir、鉑黑碳納米管等,在修飾到裸金或鉑電極上后,電極表面出現納米結構,增加了電極表面的粗糙度。TiN 通過反應濺射法在氮氣和氟氣混合氣體中粘附到金或鉑電極上, TiN 具有規則的柱狀納米結構,表現出穩定的電學和機械特性,被采用在商業化生產的叉指電極上。相比之下,采用陰極氧化方法加工的Ir雖然具有較大的表面電荷負載,但是其電荷注入能力較差,不適合用于刺激電極,此外其電學特性不穩定,表面是現不規則的龜裂結構。出于鉑黑采用恒電流或恒電壓電鍍方法修飾到電極表面,裝置和電鍍液成本較低,操作簡單,安徽Pt叉指電極,較多采用。電鍍鉑黑后的電極表面出現棉絮狀的納米結構,比面積達到電極幾何面積的 10~100 倍,安徽Pt叉指電極,安徽Pt叉指電極,在實驗中具有較好的效果。然而相比TiN,電極表面的鉑黑顆粒容易脫落,電極壽命較短。Si 基 Pt 薄膜生物叉指電極具有耐腐蝕性和生物相容性。安徽Pt叉指電極

高分子材料、單獨的Si3N4、SiO2/Si3N4/SiO2的復合層常作為鈍化層的可選材料。光刻膠和聚酷亞胺是光敏感的材料,能夠在紫外光曝光下形成掩模板所設計的圖形,以暴露金屬電極位點。這些材料具有較低的介電常數(低于2.7)和良好的生物相容性。相比之下,高分子材料的鈍化層厚達幾微米,容易受到化學腐蝕,清洗的時候容易碎裂,減短芯片的壽命。硅化合物采用等離子增強型化學氣相沉積(PECVD)方法沉積在已經形成電極,引線圖形的金屬層上,并采用刻蝕的方法將金屬電極位點暴露。SiO2/Si3N4都具有絕緣特性,其介電常數分別為7.5 和3.9。在金屬-氧化硅-硅的結構中SiO2不能有效地阻止離子的通過,因此較少單獨用來做鈍化層。SiO2/Si3N4/ SiO2的復合層結合了 Si02的絕緣性和Si3N4阻止離子通過的特性,是鐘化層的較好的選擇。單獨的Si3N4則簡化了加工的過程,但需加厚。在本實驗工作中,采用單獨的Si3N4鈍化層,厚度為800-1000nm,能達到良好的絕緣作用。北京叉指電極技術生物傳感器領域內,襯底材料主流發展方向之一。

三電極微針陣列血糖濃度傳感器屬于一種酶生物傳感器,將生物酶和電極相結合來測定酶底物的濃度,隨著世界上首支葡萄糖氧化酶電極被研制出,學術界開始重視酶生物傳感器的研究并取得了迅速發展。酶生物傳感器以酶作為生物敏感基件,可以根據各種化學或物理信號轉換系統,計量得出目標測量物與酶反應產生的與目標測量測量濃度成比例關系的某種形式的信號,從而根據反應所測得的信號實現對目標物進行定量檢測的目的。相較于其他類型的生物傳感器,這種酶固化方法將酶直接固定在金屬或半導體電極的表面形成固化膜,由于酶具有專屬反應特性,有著很高的選擇性,同時具有不溶性酶的優點和電化學電極的靈敏度。
工作電極表面產生的氧化還原,并在電壓的作用下進一步電離得到游離電子,上式為葡萄糖氧化還原反應的化學方程。葡萄糖氧化酶氧化葡萄糖產生葡萄糖酸和過氧化氫,過氧化氫的強氧化力,使氫離子不會還原成氫。電流使過氧化氫解離以獲得兩個自由電子。根據測得的電荷數,可以計算出葡萄糖濃度。實際應用中,不可避免存在微量的反應電流會流過參比電極,改變控制回路的電壓,產生錯誤的測量結果。因為這種現象的存在,必須要恒電位電路來滿足三電極穩定工作條件的這一特性。生物叉指電極必須具有良好的生物相容性、質量可靠性等。

對于柔性叉指電極,電極層的厚度和電極材料對失效形式也有較大影響。金屬層較厚時,拉伸導致的機械損傷往往會令導體完全裂開,使得電流中斷。相較而言,較薄的金屬層在受到較大的拉應力時,雖然會在電極層中產生微裂紋,但這些裂紋不會從電極的一端延伸到另一端,雖然電極的阻值有所增大,但仍能夠保持導電路徑的連通。電極斷路主要發生在柔性電極中,在反復拉伸、扭轉、彎曲實驗中電極容易發生斷路現象,該種方式導致的電極失效時間與電極金屬層材料和微觀結構、電極金屬層厚度以及電極金屬層缺陷有很大關系。又指型電容具有特殊的平面電極結構,表面空間電場特性良好,是表面電容傳感器的理想選擇。浙江聚酰亞胺叉指電極
柔性叉指電極自身的延展性實現與生物組織的良好接觸以保證信號監測質量。安徽Pt叉指電極
叉指電極可應用于食品安全、環境監測和生物醫學等領域門,制作成本低、易實現自動檢測等優點而成為是目前國內外的研究熱點。亞面電極是電化學生物傳感器的主要信號轉換器之一,其形狀多種多樣,主要有四電極、三電極、兩電極 3 種結構形式,形狀有圓形、環形、矩形等。微又指電極阻抗生物傳感器將微叉指電極作為信號轉換器,是一種應用的兩電極結構形式,具有阻抗降低、能快速建立穩態信號、信噪比高等優點,應用于電化學阻抗生物傳感器研究。安徽Pt叉指電極
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