蒸鍍和濺射等方法在薄膜電極制備領域中具有精度高和潔凈度好等優勢。利用蒸鍍和濺射方法將電極搭載于柔性印刷電路板（FPC）上直接與外部檢測體系相連。微型三電極系統由金電極(工作電極)、鉑電極(對電極)與 Ag/AgCI電極(參比電極)組成，單個電極尺寸為0.5 mm x0.7 mm,單次檢測所需樣品量約10 ~20 L。當三電極外接檢測電路后,可通過多步電位法和計時電流法,無酶、快速、定量地檢測人工汗液(pH=4，湖南石英叉指電極，湖南石英叉指電極.7)中的葡萄糖濃度線性檢測范圍為50~500 umol/L檢出限為20 umol/L，湖南石英叉指電極。又指型電容具有特殊的平面電極結構，表面空間電場特性良好，是表面電容傳感器的理想選擇。湖南石英叉指電極

在微加工工藝中，主要采取硅、玻璃和高分子材料作為基底。硅作為一種半導體材料，具有良好的導電性能，作為叉指電極MEA基底時,需要在表面熱生長一層SiO2,隔離金屬層和硅基底之間的導電通路出于金屬-氧化層-硅具有光電效應，對光敏感在檢測中，光照在硅-SiO2 產生的光生電流能被金屬電極輸出到檢測電路，增加信號的噪聲幅度。在實驗中發現，此噪聲幅度可達幾十到幾百微伏，因此采用硅基底的 MEA 需要避光檢測。相比于硅，玻璃具有良好的絕緣性、透光性和耐熱性，具有成熟的加工工藝，在生物實驗中便于采用倒置顯微鏡觀察，被采用于 MEA 芯片的基底材料。為了降低成本，聚對二甲苯(Parylene)和聚酷亞胺 (Polyimide)也用來作為底材料。這些高分了材料具備良好的絕緣性，耐高溫，靈活的可塑性，顯示了良好的生物相容性，對細胞的活性沒有明顯的影響。在本實驗室的實踐過程中，也嘗試采用PCB板加工MEA芯片，然而工藝中電極精度受到限制，電極尺寸限于80um，遠遠低于微加工工藝的芯片加工精度。河北叉指電極研發合作生物傳感器是一種以生物活性單元為敏感元件, 結合化學、物理轉換元件。

MEMS加工技術主要包括光刻、鍍膜、刻蝕。光刻是將掩模板上的圖形通過光刻膠轉移到基底上，主要分為紫外光刻和電子束光刻兩類。紫外光刻中，通常光刻膠涂布在需要被刻蝕的加工層上，掩模板直接壓在光刻膠上，在紫外光曝光下，透光區和不透光區的光刻膠發生相反的反應，顯影后形成所需要的圖形。電子束光刻中無需光刻板，避免了光散射的缺點，能提高光刻的精度，通常在 10nm 以上，高于紫外光刻微米級的精度。鍍膜是將材料沉積在基底上，通常沉膜的方法因材料而異。在硅工藝中，硅化合物采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)或熱生長。金屬薄膜在 MEMS中常用作傳感電極，采用濺射或蒸發將粘附層和工作層金屬均勻一致地沉積于基底上。

叉指電極的電極部分作為電化學檢測時的平臺和電子傳遞的通道，一般使用惰性導電材料，用金、鉑、鋁、銀、ITO、鉻、碳等。電極材料的選擇與電極的應用、檢測介質的成分和檢測環境對材料的影響以及制造工藝的可行性相關，需根據實際應用情況進行選擇。例如，ITO 導電玻璃電極因其透光性好、電阻低常被用于光電子器件，金電極能夠減少氧化產物，促進氧化還原循環常被用于污染物的檢測。目前，金仍然是電極制備的常用金屬，它突出的電學特性，可以提升微電極的導電性能，且兼具無毒，親和生物材料能夠偶聯疏基的特性使其擁有難以比擬的應用優勢。碳材料具有較寬的電位窗口而且形態多樣，有些甚至具有其他材料沒有的電學性能，因而在電極制備中是非常理想的電極材料。目前，多種新型碳基材料被用于微電極的制備，并對微電極傳感器的性能改進起到了重要作用。叉指電極中光刻是微納加工工藝中制備圖型化表面常用的工藝。

三電極微針陣列血糖濃度傳感器屬于一種酶生物傳感器，將生物酶和電極相結合來測定酶底物的濃度，隨著世界上首支葡萄糖氧化酶電極被研制出，學術界開始重視酶生物傳感器的研究并取得了迅速發展。酶生物傳感器以酶作為生物敏感基件，可以根據各種化學或物理信號轉換系統，計量得出目標測量物與酶反應產生的與目標測量測量濃度成比例關系的某種形式的信號，從而根據反應所測得的信號實現對目標物進行定量檢測的目的。相較于其他類型的生物傳感器，這種酶固化方法將酶直接固定在金屬或半導體電極的表面形成固化膜，由于酶具有專屬反應特性，有著很高的選擇性，同時具有不溶性酶的優點和電化學電極的靈敏度。叉指電極導電材料的銀是所有金屬材料中導電性與導熱性較好的材料。河北叉指電極研發合作

叉指電極導電層需采用物理方法制備，主要包括蒸鍍、磁控濺射、絲網印刷、噴墨打印。湖南石英叉指電極

柔性叉指電極穩定性好，靈敏度高，表面空間電場特性好，生物相容性好，在可穿戴領域、電子皮膚和生物測試領域應用。柔性電極因具有阻抗低、快速建立穩態信號、信噪比高等優點，常被用作與生物非均勻體系接觸的媒介和信號轉換器。柔性叉指電極可嵌入衣物、貼附皮膚等方式感知外部環境。柔性電極是指可以承受彎曲、扭轉、拉伸、折疊等形變，并且在形變狀態下依然能夠正常工作的電極材料。其特點是具有高導電性、高柔韌性、使用上的耐久性等。湖南石英叉指電極

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