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來源: 發布時間:2022-02-27

EVG120特征2:先進且經過現場驗證的機器人具有雙末端執行器功能,可確保連續的高產量;工藝技術桌越和開發服務:多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)智能過程控制和數據分析功能[FrameworkSWPlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設備和過程性能根蹤功能;并行/排隊任務處理功能;智能處理功能;發生和警報分析;智能維護管理和根蹤;技術數據:可用模塊;旋涂/OmniSpray®/開發;烤/冷;晶圓處理選項:單/雙EE/邊緣處理/晶圓翻轉;彎曲/翹曲/薄晶圓處理。EVG光刻機關注未來市場趨勢 - 例如光子學 、光學3D傳感- 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案。海南光刻機聯系電話

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EVG101光刻膠處理系統的旋轉涂層模塊-旋轉器參數轉速:蕞高10krpm加速速度:蕞高10krpm噴涂模塊-噴涂產生超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴;開發模塊-分配選項水坑顯影/噴霧顯影EVG101光刻膠處理系統;附加模塊選項:預對準:機械系統控制參數:操作系統:Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數/離線程序編輯器靈活的流程定義/易于拖放的程序編程并行處理多個作業/實時遠程訪問,診斷和故障排除多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR海南光刻機聯系電話HERCULES平臺是“一站式服務”平臺。

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此外,EVG光刻機不斷關注未來的市場趨勢 - 例如光學3D傳感和光子學 - 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續的技術和市場地位證明了這一點,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的無人能比的經驗,這些抗蝕劑針對獨特的要求和參數進行了優化。了解客戶需求和有效的全球支持是我們提供優先解決方案的重要基礎。只有接近客戶,才能得知客戶蕞真實的需求,這是我們一直時刻與客戶保持聯系的原因之一。

IQAligner工業自動化功能:盒式磁帶/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米對準方式:上側對準:≤±0.5μm底側對準:≤±1,0μm紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基板材料曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式曝光選項:間隔曝光/洪水曝光系統控制操作系統:Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR實時遠程訪問,診斷和故障排除產能全自動:弟一批生產量:每小時85片全自動:吞吐量對準:每小時80片除了光刻機之外,岱美還代理了EVG的鍵合機等設備。

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EVG770自動UV-NIL納米壓印步進機,用于制作主圖章。母模是晶圓大小的模板,里面完全裝有微透鏡模具,每個模具都采用分步重復的方法從一個透鏡模板中復制。EVG從金屬或玻璃制成的單鏡頭母版開始,提供了涵蓋了制作母模的所有基本工藝步驟的工藝流程,具有****的鏡片位置精度和**鏡片制造所需的高鏡片形狀可重復性晶圓級相機模塊。

IQ Aligner自動UV-NIL納米壓印系統,用于UV微透鏡成型。軟UV壓印光刻技術是用于制造聚合物微透鏡(WLO系統的關鍵要素)的高度并行技術。EVG從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其應用于工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合。此外,EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關的材料專業知識。

EVG40 NT自動測量系統。支持非常高的分辨率和精度的垂直和橫向測量,計量對于驗證是否符合嚴格的工藝規范并立即優化集成的工藝參數至關重要。在WLO制造中,EVG的度量衡解決方案可用于關鍵尺寸(CD)測量和透鏡疊層對準驗證,以及許多其他應用。 HERCULES光刻機系統:全自動光刻根蹤系統,模塊化設計,用于掩模和曝光,集成了預處理和后處理能力。IQ Aligner NT光刻機試用

EVG所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術。海南光刻機聯系電話

儀器儀表行業已經連續多年保持了經濟高位運行的態勢。即使當全球受金融風暴的影響,各個行業經濟東圃有所放緩,但從全景發展情況看來,儀表行業的增長速度并沒有放緩。進一步提升我國儀器儀表技術和水平,其他有限責任公司企業要順應產業發展潮流,在穩固常規品種的同時,進一步發展智能儀器儀表,提升產業數字化、智能化、集成化水平。我國的互聯網行業從有到無、從有到繁榮,經歷一個高速發展的階段。而我國的儀器儀表行業借助互聯網的發展平臺開創了一條嶄新發展之路,開拓半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀新市場。我國貿易型發展迅速,年均增長速度超過20%。在相關報告中可以了解到在我國工業基礎貿易型產業現狀研究的成果。海南光刻機聯系電話

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