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官方授權膜厚儀試用

來源: 發布時間:2022-03-30

FSM8018VITE測試系列設備VITE技術介紹:VITE是傅里葉頻域技術,利用近紅外光源的相位剪切技術(Phasesheartechnology)設備介紹適用于所有可讓近紅外線通過的材料:硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過孔尺寸、深度、側壁角度粗糙度薄膜厚度不同半導體材料的厚度環氧樹脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點高度(bumpheight)MEMS薄膜測量TSV深度、側壁角度...可見光可測試的深度,良好的厚樣以及多層樣品的局部應力。官方授權膜厚儀試用

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厚度標準:所有Filmetrics厚度標準都是得到驗證可追溯的NIST標準。S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的NIST厚度校準。TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si:厚度標準,外加調焦區和單晶硅基準,厚度大約3100A,4"晶圓。TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si:厚度標準,外加調焦區和單晶硅基準,厚度大約10000A,4"晶圓。TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,厚度大約4um,直徑2"。TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,可用于透射測量。TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約4um,直徑2"。TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約8um,23mmx23mm。TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標準,厚度大約7200A,4"晶圓。TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的NISTSiO2-4-7200厚度標準。TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標準:125埃米,250埃米,500埃米,1000埃米,5000埃米,和10000埃米(+/-10%誤差),6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為8000A。Filmetrics F30膜厚儀競爭力怎么樣F20測厚范圍:15nm - 70μm;波長:380-1050nm。

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F54包含的內容:集成光譜儀/光源裝置MA-Cmount安裝轉接器顯微鏡轉接器光纖連接線BK7參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標準聚焦/厚度標準4",6"and200mm參考晶圓真空泵備用燈型號厚度范圍*波長范圍F54:20nm-40μm380-850nmF54-UV:4nm-30μm190-1100nmF54-NIR:40nm-100μm950-1700nmF54-EXR:20nm-100μm380-1700nmF54-UVX:4nm-100μm190-1700nm*取決于材料與顯微鏡額外的好處:每臺系統內建超過130種材料庫,隨著不同應用更超過數百種應用工程師可立刻提供幫助(周一-周五)網上的“手把手”支持(需要連接互聯網)硬件升級計劃

平臺和平臺附件標準和磚用平臺。CS-1可升級接觸式SS-3樣品臺,可測波長范圍190-1700nmSS-36“×6”樣品平臺,F20系統的標準配置。可調節鏡頭高度,103mm進深。適用所有波長范圍。SS-3-88“×8”樣品平臺。可調節鏡頭高度,139mm進深。適用所有波長范圍。SS-3-24F20的24“×24”樣品平臺。可調節鏡頭高度,550mm進深。適用所有波長范圍。SS-56"x6"吋樣品臺,具有可調整焦距的反射光學配件,需搭配具有APC接頭的光纖,全波長范圍使用樣品壓重-SS-3-50樣品壓重SS-3平臺,50mmx50mm樣品壓重-SS-3-110樣品壓重SS-3平臺,110mmx110mmF40測量范圍;20nm-40μm;波長:400-850nm。

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生物醫療設備涂層應用生物醫療器械應用中的涂層生物醫療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組織損傷、敢染或者是排異反應。藥物傳輸涂層也變得日益普通。其它生物醫學器械,如血管成型球囊,具有讀立的隔膜,必須具有均勻和固定的厚度才能正常工作。這些涂層厚度的測量方法各不相同,但有一件事是確定的。使用普通方法(例如,在涂層前后稱某一部分的重量),無法檢測到會導致器械故障的涂層不完全覆蓋或涂層的不均勻性。F3-sX 系列測厚范圍:10μm - 3mm;波長:960-1580nm。盒厚測量膜厚儀質量怎么樣

系統測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1) ,全自動的200mm和300mm硅片檢查,自動檢驗和聚焦的能力。官方授權膜厚儀試用

測量眼科設備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射(AR)光譜和殘余顏色,以及硬涂層和疏水層的厚度。測量范例:F10-AR系統配備HC升級選擇通過反射率信息進行硬涂層厚度測量。這款儀器儀器采用接觸探頭,從而降低背面反射影響,并可測凹凸表面。接觸探頭安置在鏡頭表面。FILMeasure軟件自動分析采集的光譜信息以確定鏡頭是否滿足指定的反射規格。可測平均反射率,指定點蕞小蕞大反射率,以抵消硬涂層的存在。如果這個鏡頭符合要求,系統操作人員將得到清晰的“很好”指示。 官方授權膜厚儀試用

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