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中國澳門光刻機推薦產品

來源: 發布時間:2022-04-28

IQAligner®NT曝光設定:硬接觸/軟接觸/接近模式/柔性模式楔形補償:全自動軟件控制;非接觸式IQAligner®NT曝光選項:間隔曝光/洪水曝光先進的對準功能:自動對準暗場對準功能/完整的明場掩模移動(FCMM)大間隙對準跳動控制對準IQAligner®NT系統控制:操作系統:Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR實時遠程訪問,診斷和故障排除如果您需要確認準確的產品的信息,請聯系我們。如果需要鍵合機,請看官網信息。岱美是EVG光刻機在中國的代理商,提供本地化的貼心服務。中國澳門光刻機推薦產品

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EVG®150--光刻膠自動處理系統

EVG®150是全自動化光刻膠處理系統中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達300毫米。

EVG150設計為完全模塊化的平臺,可實現自動噴涂/旋轉/顯影過程和高通量性能。

EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復性。

具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray技術進行均勻涂覆,而傳統的旋涂技術則受到限制。

EVG®150特征:晶圓尺寸可達300毫米多達六個過程模塊可自定義的數量-多達二十個烘烤/冷卻/汽化堆多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載 山西光刻機學校會用嗎EVG光刻機關注未來市場趨勢 - 例如光子學 、光學3D傳感- 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案。

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EVG鍵合機掩模對準系列產品,使用蕞先近的工程技術。用戶對接近式對準器的主要需求由幾個關鍵參數決定。亞微米對準精度,掩模和晶片之間受控的均勻接近間隙,以及對應于抗蝕劑靈敏度的已經明確定義且易于控制的曝光光譜是蕞重要的標準。此外,整個晶圓表面的高光強度和均勻性是設計和不斷增強EVG掩模對準器產品組合時需要考慮的其他關鍵參數。創新推動了我們的日常業務的發展和提升我們的理念,使我們能夠跳出思維框架,創造更先進的系統。

EVG®150--光刻膠自動處理系統EVG®150是全自動化光刻膠處理系統中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達300毫米。EVG150設計為完全模塊化的平臺,可實現自動噴涂/旋轉/顯影過程和高通量性能。EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復性。具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray技術進行均勻涂覆,而傳統的旋涂技術則受到限制。EVG®150特征:晶圓尺寸可達300毫米多達六個過程模塊可自定義的數量-多達二十個烘烤/冷卻/汽化堆多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載IQ Aligner光刻機支持的晶圓尺寸高達200 mm / 300 mm。

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光刻機軟件支持基于Windows的圖形用戶界面的設計,注重用戶友好性,并可輕松引導操作員完成每個流程步驟。多語言支持,單個用戶帳戶設置和集成錯誤記錄/報告和恢復,可以簡化用戶的日常操作。所有EVG系統都可以遠程通信。因此,我們的服務包括通過安全連接,電話或電子郵件,對包括經過現場驗證的,實時遠程診斷和排除故障。EVG經驗豐富的工藝工程師隨時準備為您提供支持,這得益于我們分散的全球支持機構,包括三大洲的潔凈室空間:歐洲(HQ),亞洲(日本)和北美(美國).EVG通過不斷開發掩模對準器來為這些領域做出巨大的貢獻,以提高蕞重要的光刻技術的水平。中國澳門光刻機推薦產品

EVG鍵合機掩模對準系列產品,使用的是蕞先近的工程工藝。中國澳門光刻機推薦產品

此外,EVG光刻機不斷關注未來的市場趨勢 - 例如光學3D傳感和光子學 - 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續的技術和市場地位證明了這一點,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的無人能比的經驗,這些抗蝕劑針對獨特的要求和參數進行了優化。了解客戶需求和有效的全球支持是我們提供優先解決方案的重要基礎。只有接近客戶,才能得知客戶蕞真實的需求,這是我們一直時刻與客戶保持聯系的原因之一。中國澳門光刻機推薦產品

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