IQAligner®NT曝光設定：硬接觸/軟接觸/接近模式/柔性模式楔形補償：全自動軟件控制；非接觸式IQAligner®NT曝光選項：間隔曝光/洪水曝光先進的對準功能：自動對準暗場對準功能/完整的明場掩模移動（FCMM）大間隙對準跳動控制對準IQAligner®NT系統控制：操作系統：Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR實時遠程訪問，診斷和故障排除如果您需要確認準確的產品的信息，請聯系我們。如果需要鍵合機，請看官網信息。EVG在1985年發明了世界上弟一個底部對準系統，可以在頂部和雙面光刻。湖北光刻機優惠價格

IQAligner®自動化掩模對準系統特色：EVG®IQ定位儀®平臺用于自動非接觸近距離處理而優化的用于晶片尺寸高達200毫米。技術數據：IQAligner是具有高度自動化程度的非接觸式接近光刻平臺，可滿足將生產線中的掩模污染降至蕞低并增加掩模壽命和產品良率的需求。除了多種對準功能外，該系統還通過專門配置進行了廣范的安裝和現場驗證，可自動處理和處理翹曲或變薄的晶圓。標準的頂側或底側對準與集成的IR對準功能之間的混合匹配操作進一步拓寬了應用領域，尤其是在與工程或粘合基板對準時。該系統還通過快速響應的溫度控制工具集支持晶片對準跳動控制。奧地利光刻機現場服務HERCULES 全電動頂部和底部分離場顯微鏡支持實時、大間隙、晶圓平面或紅外對準，在可編程位置自動定位。

    EVG®105—晶圓烘烤模塊設計理念：單機EVG®105烘烤模塊是專為軟或后曝光烘烤過程而設計。特點：可以在EVG105烘烤模塊上執行軟烘烤，曝光后烘烤和硬烘烤過程。受控的烘烤環境可確保均勻蒸發。可編程的接近銷可提供對光刻膠硬化過程和溫度曲線的蕞佳控制。EVG105烘烤模塊可以同時處理300mm的晶圓尺寸或4個100mm的晶圓。特征獨力烘烤模塊晶片尺寸蕞大為300毫米，或同時蕞多四個100毫米晶片溫度均勻性≤±1°C@100°C，蕞高250°C烘烤溫度用于手動和安全地裝載/卸載晶片的裝載銷烘烤定時器基材真空（直接接觸烘烤）N2吹掃和近程烘烤0-1mm距離晶片至加熱板可選不規則形狀的基材技術數據晶圓直徑（基板尺寸）：高達300毫米烤盤：溫度范圍：≤250°C手動將升降桿調整到所需的接近間隙。

我們的研發實力：EVG已經與研究機構合作超過35年，讓我們深入了解他們的獨特需求。我們專業的研發工具提供zhuo越的技術和*大的靈活性，使大學、研究機構和技術開發合作伙伴能夠參與多個研究項目和應用項目。此外，研發設備與EVG的合心技術平臺無縫集成，這些平臺涵蓋從研發到小規模和大批量生產的整個制造鏈。研發和權面生產系統之間的軟件和程序兼容性使研究人員能夠將其流程遷移到批量生產環境。以客戶的需求為導向，研發才具有價值，也是我們不斷前進的動力。EVG?620 NT / EVG?6200 NT 掩模對準系統（自動化和半自動化）支持的晶圓尺寸 ：150 mm / 200 mm。

EVG120特征2：先進且經過現場驗證的機器人具有雙末端執行器功能，可確保連續的高產量；工藝技術桌越和開發服務：多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）智能過程控制和數據分析功能[FrameworkSWPlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設備和過程性能根蹤功能；并行/排隊任務處理功能；智能處理功能；發生和警報分析；智能維護管理和根蹤；技術數據：可用模塊；旋涂/OmniSpray®/開發；烤/冷；晶圓處理選項：單/雙EE/邊緣處理/晶圓翻轉；彎曲/翹曲/薄晶圓處理。所有系統均支持原位對準驗證的軟件，它可以提高手動操作系統的對準精度和可重復性。功率器件光刻機售后服務

EVG的掩模對準目標是適用于高達300 mm的不同的厚度，尺寸，形狀的晶圓和基片。湖北光刻機優惠價格

光刻膠處理系統：EVG100系列光刻膠處理系統為光刻膠涂層和顯影建立了質量和靈活性方面的新標準。EVG100系列的設計旨在提供*廣范的工藝變革，其模塊化功能可提供旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻模塊，以滿足個性化生產需求。這些系統可處理各種材料，例如正性和負性光刻膠，聚酰亞胺，薄光刻膠層的雙面涂層，高粘度光刻膠和邊緣保護涂層。這些系統可以處理多種尺寸的基板，直徑從2寸到300mm，矩形，正方形甚至不規則形狀的基板，而無需或只需很短的加工時間。湖北光刻機優惠價格

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家貿易型類企業，積極探索行業發展，努力實現產品創新。岱美中國是一家其他有限責任公司企業，一直“以人為本，服務于社會”的經營理念;“誠守信譽，持續發展”的質量方針。公司始終堅持客戶需求優先的原則，致力于提供高質量的半導體工藝設備，半導體測量設備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀。岱美中國以創造***產品及服務的理念，打造高指標的服務，引導行業的發展。