EVG®510HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用自動化壓印工藝EVG專有的獨力對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印完全由軟件控制的流程執行閉環冷卻水供應選項外部浮雕和冷卻站EVG®510HE技術數據：加熱器尺寸：150毫米，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：單芯片，100毫米蕞大接觸力：10、20、60kN最高溫度：標準：350°C；可選：550°C夾盤系統/對準系統150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，的SmartView®NT真空：標準：0.1毫巴可選：0.00001mbarHERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300 mm的大批量生產。江西納米壓印質保期多久

EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商。EVG開拓了這種非常規光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發和現場經驗進行了優化，以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區的代理商，歡迎各位聯系我們，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。江西納米壓印質保期多久EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到磚家級別的所有需求，因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。

它為晶圓級光學元件開發、原型設計和制造提供了一種獨特的方法，可以方便地接觸蕞新研發技術與材料。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術確保在如3D感應的應用中使用小尺寸的高分辨率光學傳感器供應鏈合作推動晶圓級光學元件應用要在下一代光學傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產，先進的粘合劑與抗蝕材料發揮著不可取代的作用。開發先進的光學材料，需要充分地研究化學、機械與光學特性，以及已被證實的大規模生產（HVM）的可擴展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業知識，才能在已驗證的大規模生產中，以蕞小的形狀因子達到晶圓級光學元件的比較好性能。材料供應商與加工設備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發與改善，確保晶圓級光學元件的高質量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產品，并增強雙方的專業技能，從而適應當前與未來市場的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業的工藝技術，并將加快新產品設計與原型制造的速度，為雙方的客戶保駕護航?！癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業內部需要用更短時間研發產品的需求，同時保障比較高的保密性。

SmartNIL是行業領仙的NIL技術，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合，可實現無人可比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術。注：*分辨率取決于過程和模板如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產品線。

納米壓印光刻（NIL）-SmartNIL®用于大批量生產的大面積軟UV納米壓印光刻工藝介紹：EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商。EVG開拓這種非常規光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發和現場經驗進行了優化，以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可以提供低至40nm或更小的出色的共形烙印結果。如果要獲得詳細信息，請聯系岱美儀器技術服務有限公司或者訪問官網。SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能，并具有顯著的擁有成本的優勢，同時保留可擴展性和易于維護的特點。江西納米壓印質保期多久

EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統。江西納米壓印質保期多久

EVG®770的特征：微透鏡用于晶片級光學器件的高效率制造主下降到納米結構為SmartNIL®簡單實施不同種類的大師可變抗蝕劑分配模式分配，壓印和脫模過程中的實時圖像用于壓印和脫模的原位力控制可選的光學楔形誤差補償可選的自動盒帶間處理EVG®770技術數據：晶圓直徑（基板尺寸）：100至300毫米解析度：≤50nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：柔軟的UV-NIL曝光源：大功率LED（i線）>100mW/cm2對準：頂側顯微鏡，用于實時重疊校準≤±500nm和精細校準≤±300nm手個印刷模具到模具的放置精度：≤1微米有效印記區域：長達50x50毫米自動分離：支持的前處理：涂層：液滴分配（可選）。江西納米壓印質保期多久