輪廓儀產品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

想要了解更多的信息，請聯系我們岱美儀器。 由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。光刻機輪廓儀質保期多久

1.3. 培訓計劃

    在完成系統布線并開始設備安裝后，即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業主對整個系統有一個***的認識。

    在整個系統驗收前后，安排有關人員在進行培訓。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點；

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統的各個方面都能熟練掌握；

    針對系統的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領；

    對學員提出的問題進行詳細解答；

Nano X-3000輪廓儀聯系電話輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度。

    超納輪廓儀的主設計簡介:

中組部第十一批“****”****，美國KLA-Tencor（集成電路行業檢測設備市場的**企業）***研發總監，干涉測量技術**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發工程師，創造多項干涉測量數字化所需的關鍵算法，在光測領域發表23個美國專利和35篇學術論文3個研發的產品獲得大獎，國家教育部***批公派研究生,83年留學美國。光學輪廓儀可廣泛應用于各類精密工件表面質量要求極高的如：半導體、微機電、納米材料、生物醫療、精密涂層、科研院所、航空航天等領域。可以說只要是微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量，除了三維光學輪廓儀，沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求。（網絡）。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍蕞大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區域比較小（以10X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數；4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸？如果需要了解更多，請訪問官網。輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、醫藥新技術，微流控器件。

我們應該如何正確使用輪廓儀？

一、準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二、測量

1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現

3.在儀器上設置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。

5.測量完畢，根據圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。

輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。CSI輪廓儀可以試用嗎

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。光刻機輪廓儀質保期多久

NanoX-8000 系統主要性能

? 菜單式系統設置，一鍵式操作，自動數據存儲

? 一鍵式系統校準

? 支持連接MES系統，數據可導入SPC

? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度

**快

如果需要了解更多詳細參數，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。

我們主要經營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設備。 光刻機輪廓儀質保期多久