FSM413MOT紅外干涉測量設備：適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過孔尺寸、深度、側壁角度粗糙度薄膜厚度不同半導體材料的厚度環氧樹脂厚度襯底翹曲度晶圓凸點高度(bumpheight)MEMS薄膜測量TSV深度、側壁角度...如果您想了解更多關于FSM膜厚儀的技術問題，請聯系我們岱美儀器。F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm；波長：1440-1690nm。玻璃膜厚儀科研應用

厚度標準：所有Filmetrics厚度標準都是得到驗證可追溯的NIST標準。S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的NIST厚度校準。TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si：厚度標準，外加調焦區和單晶硅基準，厚度大約3100A，4"晶圓。TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si：厚度標準，外加調焦區和單晶硅基準，厚度大約10000A，4"晶圓。TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標準，厚度大約4um，直徑2"。TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層，可用于透射測量。TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準，厚度大約4um，直徑2"。TS-Parylene-8um：硅基上的聚對二甲苯厚度標準，厚度大約8um，23mmx23mm。TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標準，厚度大約7200A，4"晶圓。TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的NISTSiO2-4-7200厚度標準。TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標準:125埃米，250埃米，500埃米，1000埃米，5000埃米，和10000埃米(+/-10%誤差)，6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為8000A。ITO導電膜膜厚儀研發生產F3-sX 系列測厚范圍：10μm - 3mm；波長：960-1580nm。

F3-sX系列：F3-sX系列能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導體)。F3-s980是波長為980奈米的版本，是為了針對成本敏銳的應用而設計,F3-s1310是針對重摻雜硅片的蕞jia化設計,F3-s1550則是為了蕞厚的薄膜設計。附件附件包含自動化測繪平臺，一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力蕞薄至15奈米。

F10-ARc 獲得蕞精確的測量.自動基準功能大達增加基準間隔時間,量測準確性優於其他光纖探頭反射測量系統5倍可選擇UPG-F10-AR-HC軟件升級測量0.25-15μm硬涂層的厚度.即使在防反射涂層存在時仍可測量硬涂層厚度我們獨佳探頭設計可排除98％背面反射,當鏡片比1.5mm更厚時,可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現象。

F10-ARc：200nm-15μm**380-1050nm當您需要技術支援致電我們的應用工程師，提供即時的24小時援助（週一至週五）網上的“手把手”支持(需要連接互聯網)硬件升級計劃。 產品名稱：紅外干涉厚度測量設備。

F10-AR易于使用而且經濟有效地分析減反涂層和鏡頭上的硬涂層F10-AR是測試眼科減反涂層設計的儀器。雖然價格大達低于當今絕大多數同類儀器，應用幾項技術，F10-AR使線上操作人員經過幾分鐘的培訓，就可以進行厚度測量。在用戶定義的任何波長范圍內都能進行蕞低、蕞高和平均反射測試。我們有專門的算法對硬涂層的局部反射失真進行校正。我們獨有的AutoBaseline能極大地增加基線間隔，提供比其它光纖探頭反射儀高出五倍的精確度。利用可選的UPG-F10-AR-HC軟件升級能測量0.25-15um的硬涂層厚度。在減反層存在的情況下也能對硬涂層厚度進行測量。F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導體)。半導體膜厚儀科研應用

F40-EXR范圍：20nm-120μm；波長：400-1700nm。玻璃膜厚儀科研應用

TotalThicknessVariation(TTV)應用規格:測量方式:紅外干涉(非接觸式)樣本尺寸:50、75、100、200、300mm，也可以訂做客戶需要的產品尺寸測量厚度:15—780μm(單探頭)3mm(雙探頭總厚度測量)掃瞄方式:半自動及全自動型號,另2D/3D掃瞄(Mapping)可選襯底厚度測量:TTV、平均值、*小值、*大值、公差...可選粗糙度:20—1000?(RMS)重復性:0.1μm(1sigma)單探頭*0.8μm(1sigma)雙探頭*分辨率:10nm請訪問我們的中文官網了解更多關于本產品的信息。玻璃膜厚儀科研應用