流片過(guò)程中的掩膜版管理是保證流片質(zhì)量的關(guān)鍵，中清航科推出專(zhuān)業(yè)的掩膜版全生命周期管理服務(wù)。從掩膜版設(shè)計(jì)審核、制作跟蹤到存儲(chǔ)管理、復(fù)用規(guī)劃，提供一站式解決方案。其建立了恒溫恒濕的掩膜版存儲(chǔ)倉(cāng)庫(kù)，配備先進(jìn)的掩膜版檢測(cè)設(shè)備，定期對(duì)掩膜版進(jìn)行質(zhì)量檢查與維護(hù)，確保掩膜版的使用壽命延長(zhǎng) 30%。通過(guò)掩膜版復(fù)用管理系統(tǒng)，合理規(guī)劃掩膜版的使用次數(shù)與范圍，使客戶(hù)的掩膜版成本降低 25%。針對(duì)模擬芯片流片的特殊要求，中清航科組建了模擬電路團(tuán)隊(duì)。該團(tuán)隊(duì)熟悉高精度運(yùn)放、電源管理芯片等模擬器件的流片工藝，能為客戶(hù)提供器件模型優(yōu)化、版圖布局建議、工藝參數(shù)選擇等專(zhuān)業(yè)服務(wù)。通過(guò)與晶圓廠的模擬工藝合作，共同解決模擬芯片的匹配性、溫度漂移等關(guān)鍵問(wèn)題，使模擬芯片的性能參數(shù)一致性提升 20%，某客戶(hù)的高精度 ADC 芯片通過(guò)該服務(wù)，流片后的線性誤差降低至 0.5LSB。中清航科靜電防護(hù)方案，流片過(guò)程ESD損傷率降至0.01%。徐州臺(tái)積電 40nm流片代理

流片代理服務(wù)中的專(zhuān)利布局支持是中清航科的特色服務(wù)之一。其知識(shí)產(chǎn)權(quán)團(tuán)隊(duì)會(huì)在流片前對(duì)客戶(hù)的設(shè)計(jì)方案進(jìn)行專(zhuān)利檢索與分析，識(shí)別潛在的專(zhuān)利侵權(quán)風(fēng)險(xiǎn)，并提供規(guī)避設(shè)計(jì)建議；流片完成后，協(xié)助客戶(hù)整理流片過(guò)程中的技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)，提供專(zhuān)利申請(qǐng)策略建議。通過(guò)該服務(wù)，客戶(hù)的專(zhuān)利申請(qǐng)通過(guò)率提升 35%，專(zhuān)利侵權(quán)風(fēng)險(xiǎn)降低 60%，某 AI 芯片客戶(hù)在其幫助下，成功申請(qǐng)了 15 項(xiàng)流片相關(guān)的發(fā)明專(zhuān)利。針對(duì)較低功耗芯片的流片需求，中清航科開(kāi)發(fā)了專(zhuān)項(xiàng)工藝優(yōu)化方案。通過(guò)與晶圓廠合作調(diào)整摻雜濃度、優(yōu)化柵氧厚度等工藝參數(shù)，幫助客戶(hù)降低芯片的靜態(tài)功耗與動(dòng)態(tài)功耗。引入較低功耗測(cè)試系統(tǒng)，能精確測(cè)量芯片在不同工作模式下的功耗特性，電流測(cè)量精度達(dá)到 10pA。已成功代理多個(gè)物聯(lián)網(wǎng)較低功耗芯片的流片項(xiàng)目，使產(chǎn)品的待機(jī)電流降低至 100nA 以下，續(xù)航能力提升 50%。淮安TSMC 12nm流片代理中清航科處理晶圓廠異常報(bào)告，技術(shù)爭(zhēng)議解決成功率100%。

全球晶圓產(chǎn)能緊張的背景下，其流片周期的穩(wěn)定性至關(guān)重要。中清航科建立了多晶圓廠備份機(jī)制，為每個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)匹配 2-3 家備選晶圓廠，當(dāng)主供廠商出現(xiàn)產(chǎn)能波動(dòng)時(shí)，可在 48 小時(shí)內(nèi)啟動(dòng)切換流程，確保流片計(jì)劃不受影響。去年某車(chē)規(guī)芯片客戶(hù)遭遇主晶圓廠火災(zāi)事故，中清航科只用 3 天就完成產(chǎn)能轉(zhuǎn)移，將交付延期控制在 1 周內(nèi)，較大限度降低客戶(hù)損失。流片后的測(cè)試與分析是驗(yàn)證設(shè)計(jì)有效性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，中清航科配備了完整的芯片測(cè)試實(shí)驗(yàn)室，擁有 ATE 測(cè)試系統(tǒng)、探針臺(tái)等先進(jìn)設(shè)備，可提供 CP（晶圓級(jí)測(cè)試）與 FT（成品測(cè)試）服務(wù)。測(cè)試數(shù)據(jù)通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的分析平臺(tái)進(jìn)行失效模式分類(lèi)，生成詳細(xì)的良率分析報(bào)告，幫助客戶(hù)精確定位設(shè)計(jì)缺陷。其與第三方失效分析實(shí)驗(yàn)室的合作網(wǎng)絡(luò)，還可提供切片分析、SEM 成像等深度分析服務(wù)。

面對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)能波動(dòng)，中清航科構(gòu)建了靈活的產(chǎn)能調(diào)配機(jī)制，確保客戶(hù)的流片需求得到穩(wěn)定滿(mǎn)足。其建立了動(dòng)態(tài)產(chǎn)能監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)跟蹤全球主要晶圓廠的產(chǎn)能利用率、交貨周期等數(shù)據(jù)，提前了3 個(gè)月預(yù)判產(chǎn)能緊張節(jié)點(diǎn)，及時(shí)通知客戶(hù)調(diào)整流片計(jì)劃。針對(duì)突發(fā)產(chǎn)能短缺，啟動(dòng)備用晶圓廠機(jī)制，與 20 余家二線晶圓廠保持合作，這些晶圓廠經(jīng)過(guò)中清航科的嚴(yán)格審核，工藝能力與前列廠的匹配度達(dá)到 95% 以上，可在緊急情況下快速切換產(chǎn)能。在產(chǎn)能分配上，采用優(yōu)先級(jí)管理機(jī)制，為戰(zhàn)略客戶(hù)與緊急項(xiàng)目預(yù)留 10% 的應(yīng)急產(chǎn)能，確保關(guān)鍵項(xiàng)目不受影響。去年全球晶圓產(chǎn)能緊張期間，中清航科通過(guò)產(chǎn)能調(diào)配，幫助 80% 的客戶(hù)維持了原有的流片計(jì)劃，平均交付延期不超過(guò) 7 天。中清航科高校流片計(jì)劃，教育機(jī)構(gòu)專(zhuān)享MPW補(bǔ)貼30%。

流片過(guò)程的復(fù)雜性往往讓設(shè)計(jì)企業(yè)望而生畏，中清航科通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化流程再造，將流片環(huán)節(jié)拆解為 12 個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)都配備專(zhuān)屬技術(shù)人員負(fù)責(zé)。在項(xiàng)目啟動(dòng)階段，其 DFM 工程師會(huì)對(duì)客戶(hù)的 GDSII 文件進(jìn)行多方面審查，重點(diǎn)檢查光刻層對(duì)齊、金屬線寬等可制造性問(wèn)題，平均能提前發(fā)現(xiàn) 80% 的潛在生產(chǎn)隱患。進(jìn)入晶圓廠生產(chǎn)階段，項(xiàng)目經(jīng)理會(huì)建立每日進(jìn)度通報(bào)機(jī)制，通過(guò)可視化平臺(tái)實(shí)時(shí)展示晶圓生產(chǎn)狀態(tài)，包括清洗、光刻、蝕刻等各工序的完成情況。針對(duì)突發(fā)狀況，中清航科建立了三級(jí)應(yīng)急響應(yīng)體系，普通問(wèn)題 4 小時(shí)內(nèi)給出解決方案，重大問(wèn)題 24 小時(shí)內(nèi)協(xié)調(diào)晶圓廠技術(shù)團(tuán)隊(duì)共同處理，去年流片項(xiàng)目的按時(shí)交付率達(dá)到 98.7%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平。中清航科提供流片后快速封樣，3天交付工程樣品。南通TSMC MPW流片代理

中清航科確保全流程符合RoHS/REACH法規(guī)，規(guī)避出口風(fēng)險(xiǎn)。徐州臺(tái)積電 40nm流片代理

綠色流片是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，中清航科積極推動(dòng)流片過(guò)程的環(huán)保優(yōu)化，構(gòu)建綠色流片代理服務(wù)體系。在晶圓廠選擇上，優(yōu)先與通過(guò) ISO14001 認(rèn)證的企業(yè)合作，這些晶圓廠在廢水處理、廢氣排放等方面達(dá)到嚴(yán)格的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。在流片方案設(shè)計(jì)中，推薦采用低能耗工藝，如減少高溫工藝步驟、優(yōu)化光刻次數(shù)等，幫助客戶(hù)降低流片過(guò)程的碳排放。針對(duì)測(cè)試環(huán)節(jié)產(chǎn)生的廢晶圓，中清航科與專(zhuān)業(yè)回收企業(yè)合作，進(jìn)行材料回收再利用，晶圓回收率達(dá)到 90% 以上。定期為客戶(hù)提供流片碳足跡報(bào)告，分析各環(huán)節(jié)的碳排放情況，并提出優(yōu)化建議，助力客戶(hù)實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo)。某汽車(chē)芯片客戶(hù)通過(guò)中清航科的綠色流片方案，流片過(guò)程的碳排放降低了 25%，滿(mǎn)足了整車(chē)廠的環(huán)保要求。徐州臺(tái)積電 40nm流片代理