針對小批量多品種的研發型生產需求，中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在30分鐘內完成不同規格晶圓的換型調整，配合云端工藝數據庫，存儲超過1000種標準工藝參數，工程師可快速調用并微調，大幅縮短新產品導入周期，為科研機構與初創企業提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環節直接關系到后續封裝的質量。中清航科將AI視覺檢測技術與切割設備深度融合，通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷，檢測精度達0.5μm，檢測速度提升至每秒300個Die，實現切割與檢測的一體化流程，避免不良品流入下道工序造成的浪費。針對柔性晶圓，中清航科開發低溫切割工藝避免材料變性。淮安藍寶石晶圓切割廠

8英寸晶圓在功率半導體、MEMS等領域仍占據重要市場份額，中清航科針對這類成熟制程開發的切割設備，兼顧效率與性價比。設備采用雙主軸并行切割設計，每小時可加工40片8英寸晶圓，且通過優化機械結構降低振動噪聲至65分貝以下，為車間創造更友好的工作環境，深受中小半導體企業的青睞。晶圓切割工藝的數字化轉型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設備內置工業物聯網模塊，可實時采集切割壓力、溫度、速度等100余項工藝參數，通過邊緣計算節點進行實時分析，生成工藝優化建議。客戶可通過云端平臺查看生產報表與趨勢分析，實現基于數據的精細化管理。寧波砷化鎵晶圓切割藍膜中清航科推出晶圓切割應力補償算法，翹曲晶圓良率提升至98.5%。

中清航科飛秒激光雙光子聚合技術：在PDMS基板上直寫三維微流道（最小寬度15μm），切割精度達±0.25μm，替代傳統光刻工藝，開發成本降低80%。中清航科推出“切割即服務”（DaaS）：客戶按實際切割面積付費（$0.35/英寸），包含設備/耗材/維護全包。初始投入降低90%，產能彈性伸縮±50%，適配訂單波動。中清航科共聚焦激光測距系統實時監測切割深度（分辨率0.1μm），閉環控制切入量。將150μm晶圓切割深度誤差壓縮至±2μm，背面研磨時間減少40%。

針對晶圓切割過程中的靜電防護問題，中清航科的設備采用全流程防靜電設計。從晶圓上料的導電吸盤到切割區域的離子風扇，再到下料區的防靜電輸送軌道，形成完整的靜電防護體系，將設備表面靜電電壓控制在50V以下，有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設備具備強大的數據分析能力，內置數據挖掘模塊可對歷史切割數據進行深度分析，識別影響切割質量的關鍵因素，如環境溫度波動、晶圓批次差異等，并自動生成工藝優化建議。通過持續的數據積累與分析，幫助客戶不斷提升切割工藝水平，實現持續改進。12英寸晶圓切割中清航科解決方案突破產能瓶頸，良率99.3%。

在晶圓切割的質量檢測方面，中清航科引入了三維形貌檢測技術。通過高分辨率confocal顯微鏡對切割面進行三維掃描，生成精確的表面粗糙度與輪廓數據，粗糙度測量精度可達0.1nm，為工藝優化提供量化依據。該檢測結果可直接與客戶的質量系統對接，實現數據的無縫流轉。針對晶圓切割過程中的熱變形問題，中清航科開發了恒溫控制切割艙。通過高精度溫度傳感器與PID溫控系統，將切割艙內的溫度波動控制在±0.1℃以內，同時采用熱誤差補償算法，實時修正溫度變化引起的機械變形，確保在不同環境溫度下的切割精度穩定一致。中清航科切割實驗室開放合作，已助力30家企業工藝升級。江蘇sic晶圓切割劃片廠

中清航科定制刀輪應對超薄晶圓切割，碎片率降至0.1%以下。淮安藍寶石晶圓切割廠

半導體制造對潔凈度要求嚴苛，晶圓切割環節的微塵污染可能導致芯片失效。中清航科的切割設備采用全封閉防塵結構與高效HEPA過濾系統，工作區域潔凈度達到Class1標準，同時配備激光誘導等離子體除塵裝置，實時清理切割產生的微米級顆粒，使產品不良率降低至0.1%以下。在成本控制成為半導體企業核心競爭力的現在，中清航科通過技術創新實現切割耗材的大幅節約。其自主研發的金剛石切割刀片，使用壽命較行業平均水平延長50%，且通過刀片磨損實時監測與自動補償技術，減少頻繁更換帶來的停機損失，幫助客戶降低20%的耗材成本，在激烈的市場競爭中構筑成本優勢。淮安藍寶石晶圓切割廠