什么是光譜共焦干涉儀？非接觸式輪廓測量技術中的測量精度，通常受機械振動和微掃描臺位置不準確的限制。為不再受此類環境干擾，開發了對振動不敏感的全新干涉測量法。采用這種新型干涉儀系統，干涉儀顯微鏡的精度可達亞納米級。光譜共焦干涉測量原理干涉測量法基于白光干涉圖（SAWLI）的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號，以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統的**性在于將參考板固定在檢測目標上。由于參考板和樣品固定在一起，機械振動不會影響測量結果。此外，該傳感器可用于測量太薄而不允許使用光譜共焦技術的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。用點光譜或線光譜傳感器測量晶圓上的翹曲/平面度 凸塊測量CLMG/EVERESTK1/K2傳感器系列可達360,000測點/秒。光譜共焦視覺檢測傳感器測量范圍

什么是光譜共焦干涉儀？非接觸式輪廓測量技術中的測量精度通常受到機械振動和微掃描臺位置不準確性的限制。為了從這些環境干擾中解放出來，開發了一種新的對振動不敏感的干涉測量方法。采用這種新型光譜共焦干涉儀系統，干涉儀顯微鏡的潛在亞納米級精度是極其有效的。原理：干涉測量法基于白光干涉圖（SAWLI）的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學檢測儀器儀表中必然涉及到的概念。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號，以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發達系統的**性在于將參考板固定在檢測目標上。由于參考板和樣品固定在一起，機械振動不會影響測量結果。此外，該傳感器可用于測量太薄而不允許使用色彩共焦技術的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。天津光譜共焦傳感器廠家馬波斯測量科技致力于提供專業的光譜共焦傳感器，竭誠為您。

而光譜共焦測量方法恰恰利用這種物理現象的特點。通過使用特殊透鏡，延長不同顏色光的焦點光暈范圍，形成特殊放大色差，使其根據不同的被測物體到透鏡的距離，會對應一個精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長，就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。白色光通過一個半透鏡面到達凸透鏡。上述特殊色差就在這里產生。光線照射到被測物體后發生反射,透過凸透鏡，返回到傳感器探頭內的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個穿孔蓋板上，小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜，也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測物體上聚焦的反射光擁有足夠光強，在CCD感光矩陣上產生一個明顯的波峰。在穿孔蓋板后面，需要一個分光器測量反射光的顏色信息。分光器類似一個特制光柵，可以根據反射光的波長，增強或減弱折射率。因此，CCD矩陣上的每一個位置，對應一個測量物體到探頭的距離。

什么是光譜共焦技術？光譜共焦位移傳感器提供比較好的技術以滿足非接觸尺寸測量**苛刻的要求。基于使用空間彩色編碼的創新光學原理，光譜共焦傳感器使用戶能夠以非凡的精確度對任何類型的材料進行測量。傳感器適用于絕大多數行業：計量或研究實驗室中的高精度儀器，工業生產線上的質量控制。用于工業環境中的設計，傳感器的各系列，吸引集成器與測量檢測機器輕松連接，這歸功于為每臺儀器提供的動態鏈接庫（DLL）。光譜共焦成像基于2個原則：l共焦成像l光軸的彩色編碼。共焦裝置是一種光學裝置，光學系統在物體的表面上產生點光源S的圖像S’。反向散射光由相同的光學系統收集，該光學系統在***S’’處成像。***被置于光電探測器的前面，它過濾可以到達光電探測器的光線，因此它也被稱為“空間濾波器”。共焦裝置的特點是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光學系統是彩色光學頭，光電探測器是一個光譜儀。光譜共焦傳感器，就選馬波斯測量科技，用戶的信賴之選，歡迎您的來電！

應用范圍：光譜共聚焦傳感器既可用于工業環境中，也可用于生產過程中的在線檢測以及實驗室環境中的高精度儀器。他們主要涵蓋以下內容：l微形貌（測量樣品的形狀和表面特征）l尺寸控制（測試制造產品的特定尺寸是否符合規格）l質量控制(制造產品缺陷的識別和特征描述）l粗糙度測量（測量樣品表面的統計特征）l摩損度（表征機械或化學侵蝕）l厚度測量光譜共焦傳感器完全符合涉及3D真實表面紋理的測量和分析的ISO25178標準。此外，此標準第601章節致力于非接觸式表面測量，引用CCI作為***參考技術原理非接觸式測量，一體化設計，3D輪廓掃描，多功能數據處理適用于各種材料的精確測量。點光譜共焦傳感器

機械手表：用于在線測量的傳感器比較大樣本斜率±45°；高達±88°的漫反射。光譜共焦視覺檢測傳感器測量范圍

顛覆傳統激光三角測距法，3D尺寸精密測量方案提供者線激光位移傳感器高場度高性價的線激光位移器，操作簡單易懂出廠時已作標定，用戶開箱即用，重新定義3D視覺，讓3D相機的使用和2D相機一致非接觸式晶圓厚度測量系統非接觸式晶圓厚度測量系統是一種利用氣體動靜壓原理工作的非觸式軸承，由于工作在平面度較好的花崗巖表面，因此本身也能獲得非常理想的使用。非接觸式晶圓粗糙度測量系統階梯式測量還原接觸測量真實結果:直線電機高精度龍門動機構:兼容拋光、未拋光透明及非透明晶圓測量光譜共焦視覺檢測傳感器測量范圍