國瑞熱控依托10余年半導體加熱盤研發經驗，提供全流程定制化研發服務，滿足客戶特殊工藝需求！服務流程涵蓋需求分析、方案設計、原型制作、性能測試、批量生產五大環節，可根據客戶提供的工藝參數（溫度范圍、控溫精度、尺寸規格、環境要求等），定制特殊材質（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結構（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤！配備專業研發團隊（含材料學、熱力學、機械設計工程師），采用ANSYS溫度場仿真軟件優化設計方案，原型樣品交付周期**短10個工作日，且提供3次**方案迭代！已為國內多家半導體設備廠商定制**加熱盤，如為某企業開發的真空腔體集成加熱盤，實現加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求！遠程監控功能可選，實時掌握設備狀態，智能便捷管理。閔行區涂膠顯影加熱盤

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件！設備溫度調節范圍覆蓋-40℃至150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達25℃/分鐘和20℃/分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化！加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達±0.5℃！配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求！設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境！無錫晶圓加熱盤結構設計緊湊合理，安裝維護簡便快捷，有效提升設備使用效率。

國瑞熱控半導體加熱盤**散熱系統，為設備快速降溫與溫度穩定提供有力支持！系統采用水冷與風冷復合散熱方式，水冷通道圍繞加熱盤均勻分布，配合高轉速散熱風扇，可在10分鐘內將加熱盤溫度從500℃降至室溫，大幅縮短工藝間隔時間！散熱系統配備智能溫控閥，根據加熱盤實時溫度自動調節水流量與風扇轉速，避免過度散熱導致的能耗浪費！采用耐腐蝕管路與密封件，在長期使用過程中無漏水風險，且具備壓力監測與報警功能，確保系統運行安全！適配高溫工藝后的快速降溫需求，與國瑞加熱盤協同工作，形成完整的溫度控制閉環，為半導體制造中多工藝環節的連續生產提供保障！

針對半導體制造中的高真空工藝需求，國瑞熱控開發**真空密封組件，確保加熱盤在真空環境下穩定運行！組件采用氟橡膠與金屬骨架復合結構，耐溫范圍覆蓋-50℃至200℃，可長期在10??Pa真空環境下使用無泄漏！密封件與加熱盤接口精細匹配，通過多道密封設計提升真空密封性，避免反應腔體內真空度下降影響工藝質量！組件安裝過程簡單，無需特殊工具，且具備良好的耐磨性與抗老化性能，使用壽命超5000次拆裝循環！適配CVD、PVD等真空工藝用加熱盤，與國產真空設備廠商的反應腔體兼容，為半導體制造中的高真空環境提供可靠密封保障，助力提升工藝穩定性與產品良率！節能環保設計理念，熱損失小效率高，助力綠色生產制造。

在半導體離子注入工藝中，國瑞熱控配套加熱盤以穩定溫控助力摻雜濃度精細控制！其采用耐高溫合金基材，經真空退火處理消除內部應力，可在400℃高溫下長期穩定運行而不變形！加熱盤表面噴涂絕緣耐離子轟擊涂層，避免電荷積累對注入精度的干擾，同時具備優良的導熱性能，能快速將晶圓預熱至設定溫度并保持恒定！設備配備雙路溫度監測系統，分別監控加熱元件與晶圓表面溫度，當出現偏差時自動啟動調節機制，溫度控制精度達±1℃！適配不同型號離子注入機，通過標準化接口實現快速安裝，為半導體摻雜工藝的穩定性與重復性提供有力支持！便于自動化集成，標準接口通訊支持，助力智能制造。寶山區半導體加熱盤供應商

表面噴涂特殊涂層，防腐防氧化，延長設備使用壽命。閔行區涂膠顯影加熱盤

針對等離子體刻蝕環境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍寶石覆層與氮化鋁基底的復合結構，表面硬度達莫氏9級，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落！加熱盤內部嵌入鉬制加熱絲，經后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至500℃，控溫精度±1℃！底部設計環形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調節系統，快速響應刻蝕過程中的溫度波動！設備采用全密封結構，電氣強度達2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環境中絕緣性能穩定，適配中微半導體刻蝕機等主流設備，為圖形轉移工藝提供可靠溫控！閔行區涂膠顯影加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發展理念，先進的管理經驗，在發展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創新，時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司，在江蘇省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業界也收獲了很多良好的評價，這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果，這些評價對我們而言是比較好的前進動力，也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神，努力把公司發展戰略推向一個新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來，創造更有價值的產品，我們將以更好的狀態，更認真的態度，更飽滿的精力去創造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長！