激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。昆山新款雙頻激光干涉儀產品介紹

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2，它們經反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經過透射和反射后，來到觀察區域E。G2（右）為補償板，它與G1為相同材料，有相同的厚度，且平行安裝，目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等，兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時，表現為等傾干涉的圓環形條紋，移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時，中心就會“吐出”一個個條紋；反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時，則表現為等厚干涉條紋，移動M2時，條紋不斷移過視場中某一標記位置，M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長。高新區本地雙頻激光干涉儀五星服務即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。

干涉儀是一種使用干涉測量技術的光學計量儀器，其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息，從而獲得實驗所關心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹：一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發生變化，從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數，這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋，即干涉條紋。基本構成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏（或檢測器）等組成。光源發出的光經過分束器被分成兩束，分別經由反射鏡反射回來，并在干涉屏（或檢測器）上產生干涉圖樣。其中，各元件的功能如下：

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現象。

環境適應力強即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。實時動態測速高現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態測量。雙頻激光干涉儀的發明使激光干涉儀**終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中因此，對于雙頻激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應用，具有重大意義。它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。高新區定制雙頻激光干涉儀銷售廠

而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點，它是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。昆山新款雙頻激光干涉儀產品介紹

激光干涉測量儀通過雙頻激光技術實現高精度線性位移測量，適用于車間生產環境下的數控機床校準、三坐標機校準及光學平臺校準。其測量鏡組可擴展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優勢包括緊湊設計、自動環境補償及符合測校國家標準的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。昆山新款雙頻激光干涉儀產品介紹

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