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陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造：用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜：確保鍍膜質量。科研實驗：用于高精度真空測量。醫療設備：如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點：高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點：成本較高，對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔，避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性，在多個領域得到廣泛應用，盡管成本較高，但其性能優勢明顯。皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統中的壓力。南京電容薄膜真空計設備廠家熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有...

其他角度對真空計進行分類，如根據測量范圍、精度、使用條件等。不同類型的真空計在這些方面也有區別。例如，MEMS電容薄膜真空計作為MEMS電容式傳感器的一種，具有小型化、低成本、高性能、易與CMOS集成電路兼容等特點。它能夠滿足深空探測、空氣動力學研究、臨近空間探索等領域對真空測量儀器測量準確度高、體積小、質量輕、功耗低的應用需求。不同類型的真空計在測量原理、測量范圍、精度、使用條件以及適用場景等方面各有千秋。在選擇真空計時，需要根據具體的測量需求、工作環境以及預算等因素進行綜合考慮。同時，隨著科技的不斷發展，新型真空計的出現也將為真空測量領域帶來更多的選擇和可能性。真空計如何達到使用壽命長久化...

皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器，用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲（通常是鎢或鉑），其工作原理如下：加熱與熱傳導：金屬絲通電加熱，熱量通過氣體分子傳導。壓力變化：氣體壓力越高，分子越多，熱傳導越強，金屬絲溫度下降。電阻變化：金屬絲溫度變化導致電阻變化，通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程：適用于低真空到中真空范圍（通常為10^-1 Pa到10^5 Pa）。快速響應：對壓力變化反應迅速。結構簡單：易于制造和維護。成本較低：相比其他真空計，價格較為經濟。皮拉尼真空計是一種用于測...

4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）電容薄膜真空計原理：利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：精度高、響應快。缺點：成本較高。應用：中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力，適用于中真空和高真空范圍。（1）石英晶體真空計原理：利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：精度高、穩定性好。缺點：成本較高。應用：高精度真空測量。如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響？陜...

真空計的現代發展技術進步：隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。隨著半導體和微機電系統（MEMS）技術的不斷進步，真空計的精度和穩定性得到了提升，推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化：現代真空計越來越多地集成了智能化功能，能夠實時監測、分析和反饋數據，提高了用戶的操作便利性和系統的整體效率。真空計校準方法有哪些？無錫高純度真空計熱陰極電離真空計（Bayard-Alpert計）通過加熱陰極（銥...

真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等，這類真空計所測量的物理參數與氣體成分無關，測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下，直接進行測量是極其困難的。相對真空計：通過測量與壓強有關的物理量，并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等，它的特點是測量的準確度略差，而且和氣體的種類有關。在實際生產中，除真空校準外，大都使用相對真空計。什么是...

電容式薄膜真空計（MEMS規）通過金屬薄膜在壓力下的形變改變電容值，量程覆蓋10?~10?? Pa，精度±0.25%。溫度系數低（<0.01%/℃），適合寬溫域應用。硅微加工技術制造的MEMS規體積*硬幣大小，響應時間<1 ms。需避免顆粒物損壞薄膜，且腐蝕性氣體會侵蝕電極。**型號內置自校準功能，長期穩定性優異。6. 麥克勞真空計（**壓縮式）***真空計，通過壓縮已知體積氣體至毛細管，測量液柱高度差計算壓力。量程10~10?? Pa，精度±1%，但***靜態測量。**蒸汽毒性限制其使用，現多被石英振子規替代。其原理仍作為真空計量標準，用于校準其他真空計。改進型油壓縮規使用擴散泵油替代**，...

熱陰極電離真空計（Bayard-Alpert計）通過加熱陰極（銥合金或氧化釔涂層鎢絲）發射電子，電子撞擊氣體分子產生離子，離子電流與壓力成正比。量程10?1~10?? Pa，精度±20%。需避免氧氣環境導致陰極氧化，且高壓（>1 Pa）下可能燒毀燈絲。改進型抑制規（Suppressor Gauge）通過電極設計減少X射線效應，可測至10?1? Pa。4. 冷陰極電離真空計（潘寧規）利用磁場約束放電產生離子，無需加熱陰極。量程1~10?? Pa，抗污染能力強，但啟動壓力需<1 Pa（需預抽真空）。放電不穩定可能導致讀數波動±30%。逆磁控管設計提升靈敏度，用于半導體設備監控。其壽命可達10萬小時...

在實際應用中，不同類型的真空計通常結合使用，以覆蓋不同的壓力范圍。同時，為了確保真空計的精度和可靠性，需要定期對其進行校準和維護。此外，在選擇真空計時，還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標，以及工作環境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上所述，真空計在科研、工業生產、醫療、航空航天等多個領域都發揮著重要作用。隨著科技的不斷發展，真空計的性能將不斷提升，應用范圍也將進一步擴大。什么是真空測量？真空如何測量？無錫電容薄膜真空計真空計是用于測量真空系統中壓力的儀器，具有多種特點，使其在不同應用中表現出色。以下是真空計的主要特點：1. 寬量程適用：真空計可覆蓋從低真空到超高真空的...

真空計后續維護定期檢查：定期對真空計進行檢查和維護，確保其處于良好的工作狀態。清潔保養：定期清潔真空計的接口和氣管，保持其清潔干燥。更換密封件：如果發現密封件老化或損壞，應及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器：定期對真空計進行校準，以確保其測量結果的準確性。綜上所述，真空計的安裝過程需要認真準備、遵循步驟和注意事項，并在安裝后進行測試和維護。正確的安裝方法和標準的操作流程將有效地提高測量精度和準確性。皮拉尼真空計的主要結構包括哪些部分？江蘇皮拉尼真空計生產企業辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計，已實現全系列部件國產化，產品測量精度接近MKS金屬電容真空...

2. 熱傳導真空計熱傳導真空計通過氣體熱傳導的變化來測量壓力，適用于低真空和中真空范圍。（1）皮拉尼真空計原理：利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關系測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：響應快、成本低。缺點：受氣體種類影響較大。應用：普通真空系統監測。（2）熱電偶真空計原理：通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍：10?3 Torr 到 10 Torr。優點：結構簡單、穩定性好。缺點：精度較低。應用：低真空和中真空測量。皮拉尼真空計的測量原理和特點有？河北mems電容真空計設備公司超高真空測量技術10?? Pa以下需抑制規或磁懸浮轉子規（Spinn...

真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接測量壓力）和相對真空計（需校準）。主要類型包括機械式（如波登管）、熱傳導式（皮拉尼計）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時需考慮量程（如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準）及環境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。皮拉尼計（熱傳導真空計）基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理，通過加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導率降低，電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000Pa~10?1Pa，精度±10%。需注意氣體...

真空計的基本分類真空計按測量原理分為***真空計（直接測量壓力）和相對真空計（需校準）。主要類型包括機械式（如波登管）、熱傳導式（皮拉尼計）、電離式（熱陰極/冷陰極）、電容式（MEMS）等。選擇時需考慮量程（如皮拉尼計適用于1Pa~10??Pa）、精度（±1%~±15%）、氣體類型兼容性（惰性氣體需特殊校準）及環境振動影響。國際標準ISO3567定義了真空計的性能測試方法。皮拉尼計（熱傳導真空計）基于氣體熱傳導率隨壓力變化的原理，通過加熱電阻絲（通常為鎢或鉑）測量其溫度變化。低壓下氣體分子少，熱導率降低，電阻絲溫度升高導致電阻變化。量程通常為1000Pa~10?1Pa，精度±10%。需注意氣體...

真空計的安裝步驟可能因型號和規格的不同而有所差異，但通常包括以下幾個基本步驟：檢查設備：在安裝前，需要檢查真空計及其相關配件是否完整、無損壞，并確保其符合使用要求。選擇安裝位置：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，因此應適當選擇真空計的安裝位置，以確保測量結果的準確性。同時，應確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜：將真空計的電源線電纜和規管電纜分別插入后面板的相應插座上，并確保連接牢固可靠。對于裸規安裝，還需將紅線（紅夾子）接在電子加速極上，其他兩根線（黑夾子）接在燈絲上，屏蔽線接在離子收集極上。接地處理：為確保安全，應將真空計的外殼進行接地處理。這通常是通過將導線連接在機箱的接地端子上來實現的。...

MEMS電容真空計在多個領域有著廣泛的應用，包括但不限于：半導體制造：在半導體制造過程中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保氣氛純凈并排除雜質，從而提高芯片的質量和可靠性。真空冶金：在真空冶金領域，MEMS電容真空計用于確保加工環境的純度和穩定性，以提高冶金產品的質量和可靠性。科學研究：在物理學、化學、材料科學等領域的研究中，MEMS電容真空計用于監測真空度，確保實驗環境的準確性和穩定性。航空航天：在航空航天領域，MEMS電容真空計用于監測太空艙內的真空度，確保航天員的生命安全和設備的正常運行。醫療設備：在醫療設備的制造和維護過程中，MEMS電容真空計用于監測放射設備中的真空環境等，確保其...

真空鍍膜技術真空蒸發鍍膜將材料加熱至汽化，在基板上冷凝成膜；濺射鍍膜用離子轟擊靶材噴射原子。應用于眼鏡防反射膜（MgF?）、手機屏幕ITO導電膜。磁控濺射速率可達μm/min，膜層均勻性±1%。真空環境避免氧化，膜厚可控至納米級，太陽能電池也依賴此技術提升光吸收。6. 宇宙空間的真空特性星際空間壓力低至10?1? Pa，但并非***真空，每立方厘米仍有數個氫原子。太陽風等離子體與宇宙射線充斥其中。阿波羅任務顯示月球表面氣壓10?1? Pa，真空導致宇航服需維持內壓。深空探測器的熱控設計必須考慮真空絕熱特性。鎢絲皮拉尼真空計原理。天津真空計設備供應商其他角度對真空計進行分類，如根據測量范圍、精度...

8. 復合真空計復合真空計結合多種測量技術，適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理：通常結合皮拉尼真空計和電離真空計。測量范圍：10?1? Torr 到 1000 Torr。優點：測量范圍廣，適用性強。缺點：成本較高。應用：多功能真空系統。9. 其他真空計（1）放射性電離真空計原理：利用放射性物質電離氣體分子測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優點：無需電源，穩定性好。缺點：放射性物質存在安全隱患。應用：特殊環境真空測量。（2）聲波真空計原理：通過聲波傳播速度變化測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 1000 Torr。優點：非接觸式測量。缺點：精度較低。應用：...

真空計的工作原理基于氣體分子的運動特性。當氣體分子在封閉空間內不斷運動、相互碰撞并與容器壁發生碰撞時，這種碰撞運動將氣體分子的動能轉換成容器壁上的壓力。真空計通過測量這種壓力來間接反映氣體的壓強或真空度。不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，例如：利用力學性能的真空計：如波爾登真空計和薄膜電容規，它們通過測量氣體對某種力學元件（如薄膜）的作用力來推算真空度。利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計...

陶瓷真空計是一種用于測量真空系統中壓力的儀器，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其**部件由陶瓷材料制成，具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優點。主要特點耐高溫：陶瓷材料能在高溫環境下穩定工作。耐腐蝕：適用于腐蝕性氣體環境。絕緣性能：良好的電絕緣性，適合高電壓環境。高精度：提供精確的真空度測量。陶瓷真空計通過測量氣體分子對陶瓷元件的熱傳導或壓力效應來確定真空度，常見類型包括：熱電偶真空計：利用氣體熱傳導變化測量壓力。皮拉尼真空計：基于氣體熱傳導與壓力的關系。電容式真空計：通過陶瓷薄膜的形變測量壓力。應用領域真空計的維修與保養。廣東金屬電容薄膜真空計設備公司皮拉尼真空計利用惠斯通電橋...

皮拉尼真空計，又有翻譯為“派藍尼真空計”，屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹：一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼（Marcello Stefano Pirani）于1906年發明。皮拉尼曾在從事真空燈行業的西門子和哈爾斯克公司工作，當時需要高真空環境來制造燈絲，而生產環境中使用的計量器較為笨重且不便，這促使他發明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度，然后監測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量，這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系。當氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時，熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數，...

真空計在半導體工藝中的應用刻蝕機需多規聯合監控：電容規測腔體壓力（1~10?2 Pa），電離規監控等離子體區（10?2~10?? Pa）。ALD設備要求真空計耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規）。數據采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節奏。14. 真空計的壽命與維護熱陰極規壽命約1~2萬小時（燈絲斷裂）；冷陰極規可達10萬小時。維護包括：① 定期烘烤除氣（200℃/24h）；② 避免油蒸氣污染；③ 檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。哪些品牌的真空計質量更好？四川mems電容真空計公司超高真空測量技術10?? Pa以下需抑制規或磁懸浮轉子...

在實際應用中，不同類型的真空計通常結合使用，以覆蓋不同的壓力范圍。同時，為了確保真空計的精度和可靠性，需要定期對其進行校準和維護。此外，在選擇真空計時，還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標，以及工作環境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上所述，真空計在科研、工業生產、醫療、航空航天等多個領域都發揮著重要作用。隨著科技的不斷發展，真空計的性能將不斷提升，應用范圍也將進一步擴大。真空計使用時應該注意什么？杭州真空計設備公司真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導式等。不...

1.多種測量原理真空計有多種測量原理，如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍，用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如，有些真空計的傳感器可以更換，這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器，從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發展，真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝，而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成，實現更加智能化的監測和控制。然而，真空計也存在一些局限性，如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此，在選擇和使用真空計時，需要綜...

陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應或電容變化來測量真空度。具體來說，當陶瓷材料受到外力（如真空度變化引起的壓力）作用時，其電阻率或形狀會發生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化，可以精確計算出當前的真空度。高精度：陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩定性，能夠提供準確的真空度數據。高穩定性：由于陶瓷材料的形變恢復無遲滯，使得陶瓷薄膜真空計具有優異的穩定性。抗腐蝕、抗氧化：氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力，適用于多種惡劣環境。無選擇性：對被測氣體無選擇性，適用于多種氣體的真空度測量。選擇真空計的標準是什么？無錫高質量真空計多少錢利用氣體動力學效用類真空計測...

概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器，應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜，通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變：陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換：形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信號處理：電信號經放大和處理后，輸出與壓力對應的讀數。主要特點高精度：測量精度高，適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕：陶瓷材料耐腐蝕，適合惡劣環境。穩定性好：長期穩定性優異，漂移小。寬量程：覆蓋從低真空到高真空的范圍。電容真空計通過測量電容變化來推算真空度，而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質來測量。天津電容薄膜真空計生產企業微壓差真空...

3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原理：利用熱陰極發射電子電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點：精度高、測量范圍廣。缺點：熱陰極易損壞，需要較高維護。應用：高真空和超高真空系統。（2）冷陰極電離真空計原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點：無需熱陰極，壽命長。缺點：啟動時間較長，穩定性稍差。應用：高真空和超高真空系統。電容真空計的校準通常需要使用已知真空度的標準真空源或真空計進行比對。浙江...

概述陶瓷薄膜真空計是一種用于測量真空環境中壓力的傳感器，應用于半導體制造、真空鍍膜、科研實驗等領域。其部件是陶瓷薄膜，通過測量薄膜在壓力作用下的形變來推算真空度。工作原理薄膜形變：陶瓷薄膜在壓力差作用下發生形變。信號轉換：形變通過壓阻或電容效應轉換為電信號。信號處理：電信號經放大和處理后，輸出與壓力對應的讀數。主要特點高精度：測量精度高，適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕：陶瓷材料耐腐蝕，適合惡劣環境。穩定性好：長期穩定性優異，漂移小。寬量程：覆蓋從低真空到高真空的范圍。電容真空計通常適用于中低真空范圍的測量，如從大氣壓到幾千帕甚至更低。上海金屬電容薄膜真空計真空測量的特點測量壓力范圍寬，105...

金屬電容薄膜真空計由金屬薄膜和電極構成。當真空度發生變化時，薄膜電容會發生相應的變化，從而導致電容的大小變化。電子測量電路負責測量這個電容的變化，并將之轉換為電信號輸出。具體來說，施加到電容薄膜上的壓力變化會導致膜片間距離變化，進而引起電容的變化。通過測量電容的變化，并將其轉換為電流或電壓的變化，就可以作為輸出的信號來測量真空度。高精度：金屬電容薄膜真空計的測量精度較高，部分產品的精度可達0.01%，可以滿足各種精度要求的實驗和生產需求。高靈敏度：由于金屬薄膜的厚度只有幾個納米，因此該真空計能夠對微小的壓力變化做出反應，具有高靈敏度。長壽命：金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性，使得金屬電容薄...

由于真空技術部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛，任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環境，只能根據不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵，或將兩種或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示，根據真空度的不同，又可以將真空泵分為以下幾種類型：(1)低真空（粗真空）泵：真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型：旋片式真空泵、水環真空泵、往復式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵：真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型：螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵：真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型：滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干...

微壓差真空計（差壓規）測量兩個腔室壓差，量程1~10??Pa，精度±0.1%。應用包括檢漏儀（氦質譜儀參考端壓力監控）和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器（如橫河EJA系列）溫度穩定性達±0.1%FS/年。20.真空計的未來發展趨勢①量子傳感器（NV色心測磁矩變化）；②石墨烯膜規（理論極限10?12Pa）；③片上集成（ASIC整合傳感與信號處理）；④自供電無線真空計（能量收集技術）。NIST正在開發基于冷原子干涉的***真空基準，不確定度目標0.01%。不同類型的真空計原理都有哪些？浙江金屬電容薄膜真空計設備廠家皮拉尼真空計，又有翻譯為“派藍尼真空計”，屬于熱傳導式真空計的一種。以下是對皮拉尼...