上海彌正超高純三氟化氮(5N 級純度),是半導體等離子體刻蝕工藝的關鍵清洗氣體,以 “高純度 + 低污染” 助力芯片制程精細化。采用低溫吸附與精餾提純工藝,將雜質含量控制在 1ppb 以內,其中金屬雜質與顆粒物雜質均≤0.1ppb,能準確匹配 7nm 及以下先進制程的刻蝕需求。其強氧化性可高效去除晶圓表面的硅化物、金屬氧化物等殘留沉積物,且反應產物易揮發,無需額外復雜清洗步驟,有效提升刻蝕工藝效率。配備特用環保處理系統,氣體使用后可通過回收裝置實現 67% 的再利用率,降低環境排放與使用成本,符合亞洲芯片代工廠的生態合規要求。某半導體代工廠應用后,晶圓刻蝕殘留率從 0.8% 降至 0.05%,刻蝕工藝效率提升 15%,單晶圓制造成本降低 3%,同時滿足 SEMI 國際半導體產業協會的環保與純度標準,成為先進制程刻蝕工藝的推薦清洗氣體。超高純二氧化碳純度達 99.995%,適配食品冷鏈與激光焊接保護。上海氖氣超高純氣體

上海彌正超高純氮氣(純度達 6N 級),專為半導體晶圓加工設計,以 “雜質 + 穩定供應” 成為芯片制造的關鍵基礎材料。采用低溫精餾與吸附分離雙重提純工藝,將氧氣、水分、碳氫化合物等雜質含量控制在 0.1ppb 以下,完全滿足半導體刻蝕、沉積等重心工藝對氣體純度的嚴苛要求。作為惰性保護氣體,它能有效隔絕空氣與工藝環境接觸,防止晶圓表面氧化或污染,保障光刻膠涂覆、等離子體刻蝕等環節的工藝穩定性。配備特用超潔凈包裝與輸送系統,氣瓶內壁經電解拋光處理,避免二次污染,氣體輸送過程中純度衰減率低于 0.01%。某芯片制造企業應用后,晶圓氧化缺陷率從 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%,連續供應 12 個月無純度波動問題,完全適配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生產需求,成為半導體產業不可或缺的惰性保護解決方案。
上海氖氣超高純氣體超高純六氟化鎢純度≥99.999%,是半導體金屬化工藝的鎢源氣體。

上海彌正秉持綠色制造理念,打造環保型超高純氣體解決方案,從生產、使用到回收全流程降低環境影響。生產過程采用節能型提純設備,能耗較傳統設備降低 25%,同時利用余熱回收系統,實現能源循環利用;氣體使用后,通過特用回收裝置回收反應尾氣,如三氟化氮氣體回收率達 67%,經處理后可重新用于下游生產,降低資源浪費與環境排放。所有氣體包裝材料均采用可回收不銹鋼材質,回收率達 95% 以上,減少固體廢棄物產生;生產車間配備廢氣處理系統,確保廢氣排放符合國家環保標準,無有害氣體泄漏。為客戶提供環保使用指導,優化氣體使用工藝,降低單位產品氣體消耗量,助力客戶實現 “雙碳” 目標。某半導體企業應用該環保方案后,年氣體消耗量降低 10%,廢棄物排放減少 30%,成功通過 “綠色工廠” 認證,環保與經濟效益雙贏。
上海彌正深耕國產超高純氣體研發與生產,打破國際巨頭在品類的壟斷,為半導體產業鏈自主可控提供關鍵材料支撐。針對國內高度依賴進口的 7N 級電子級氟化物、硅烷等品類,公司通過自主研發攻克重心提純技術,實現規?;慨a,產品純度達到國際先進水平,雜質控制精度進入 ppt 級別,并成功通過中芯國際、長江存儲等頭部晶圓廠的驗證認證。相較于進口產品,公司產品在供應響應速度、成本控制及技術服務方面更具優勢,可實現訂單 48 小時內快速響應,交貨周期縮短 50%,成本降低 20-30%。積極參與國家 “十四五” 新材料產業發展規劃重點項目,推動超高純氣體國家標準的修訂與完善,目前已主導或參與 3 項行業標準的制定。某半導體企業使用其國產替代型超高純三氟化氮后,不僅擺脫了對進口氣體的依賴,還將相關工藝的材料成本降低 25%,供應鏈穩定性明顯增強,為實現芯片國產化提供了有力保障。超高純氯化氫純度≥99.999%,是光伏行業多晶硅提純的關鍵試劑。

上海彌正構建覆蓋全國的供應鏈服務網絡,為客戶提供“及時生產、快速配送、高效運維”的全周期服務,保障超高純氣體穩定供應。在上海、江蘇、廣東等地建立生產基地與倉儲中心,倉儲容量達5000瓶/次,可滿足客戶應急儲備與常規供應需求;配備20余輛特用危險品運輸車輛,均符合國家危險品運輸標準,運輸半徑覆蓋500公里范圍內的次日達服務,偏遠地區3日內送達。建立7×24小時客戶服務熱線與技術支持團隊,客戶提出需求后15分鐘內響應,4小時內提供解決方案;定期安排技術人員上門巡檢,檢查氣體儲存、輸送系統運行狀態,提供設備維護與操作培訓服務,幫助客戶優化氣體使用方案。針對半導體、光伏等連續生產行業,提供“主供+備用”雙供應模式,備用氣源響應時間≤2小時,確保客戶生產不中斷。某半導體客戶在大促期間遭遇氣源緊急短缺,上海彌正通過應急供應鏈快速調配,2小時內送達備用氣源,避免客戶生產線停機,贏得客戶高度認可,復購率達95%以上。超高純氧氣與氮氣混合氣(氧含量可調),滿足醫療與發酵需求。1-丁烯超高純氣體香精香料
超高純氙氣純度達 99.999%,用作醫療成像與激光技術的發光氣體。上海氖氣超高純氣體
上海彌正依托專業的氣體配比技術,為半導體、光伏、醫療等行業提供定制化混合氣調配服務,精細滿足不同工藝的個性化需求?;旌蠚馀浔群w二元、三元及多元組合,可根據客戶要求精細調控各組分濃度,濃度范圍從 1ppm 至 50%,配比精度達 ±1%,其中關鍵組分濃度控制精度可達 ±0.1ppm。采用先進的靜態混合與動態配比相結合的技術,確保混合氣各組分均勻分布,無分層、無沉淀現象,穩定性達 99.9%,有效期長達 12 個月。支持多種氣體組合定制:半導體行業的蝕刻混合氣(如三氟化氮 + 氬氣)、光伏行業的摻雜混合氣(如磷烷 + 氮氣)、醫療行業的麻醉混合氣(如氧氣 + 笑氣)等,所有混合氣均根據應用場景選擇適配的包裝方式與輸送系統。配備專業的混合氣配方研發團隊,可根據客戶工藝升級需求快速調整配方,提供小批量試產與批量供應服務。某精密制造企業應用定制化混合氣后,生產效率提升 20%,工藝合格率提高 15%,產品一致性明顯改善,成為客戶工藝優化的重心支撐。上海氖氣超高純氣體
上海彌正氣體有限公司在同行業領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創新的市場高度,多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準,在上海市等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環境,富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新,勇于進取的無限潛力,上海彌正氣體供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!