上海彌正超高純六氟化鎢(6N 級純度),是半導體先進制程中鎢金屬層沉積的重心前驅體,以 “高純度 + 低金屬雜質” 助力芯片性能升級。采用化學合成與多級精餾提純工藝,將雜質總量控制在 1ppm 以下,其中銅、鐵、鋁等金屬雜質含量均≤0.1ppb,完全滿足 14nm 及以下邏輯芯片、3D NAND 閃存制造的工藝要求。在化學氣相沉積(CVD)工藝中,它能精細地在晶圓表面沉積出均勻、致密的鎢金屬層,用于芯片的柵極、互連線及接觸孔填充,其純度直接決定了鎢層的導電性與可靠性,進而影響芯片的運行速度與壽命。配備耐腐蝕的特用包裝與輸送系統,采用內壁經特殊鈍化處理的鎳合金氣瓶,防止氣體與容器發生反應導致污染,輸送管路采用無死腔設計,確保氣體純凈度。某頭部晶圓制造企業應用后,3D NAND 閃存的鎢層沉積均勻性提升至 99.5%,芯片數據存儲密度提高 15%,良率提升 2.2%,有力支撐了企業在先進存儲領域的技術競爭力。超高純氨氣純度達 99.999%,用于 LED 芯片制造與光伏電池鈍化。浙江順-2-丁烯超高純氣體

上海彌正針對不同芯片制程需求,提供電子級超高純氣體定制服務,從純度等級、雜質控制到供應方式均實現準確適配。可根據客戶工藝要求,定制 5N-9N 級不同純度的氣體產品,其中 7N 級以上超高純氣體金屬雜質含量可控制在 0.001ppb 以下,完全滿足 7nm 及以下先進制程的嚴苛要求。針對特定工藝環節,準確控制目標雜質含量,如光刻工藝用氣體可將碳氫化合物雜質控制在 0.05ppb 以下,避免影響光刻精度;摻雜工藝用氣體可準確調控摻雜元素濃度,確保芯片電性能穩定。提供 “瓶裝 + 管道” 雙供應模式,小批量生產采用高壓氣瓶供應,大批量連續生產采用管道輸送,輸送系統可與客戶生產設備無縫對接。配備專業技術團隊,提供工藝適配咨詢、氣體使用培訓與設備調試服務,幫助客戶優化氣體使用方案。某先進制程芯片企業應用定制化氣體后,芯片制程良率提升 3.5%,工藝調整周期縮短 40%,成為客戶工藝升級的重心合作伙伴。江蘇氧硫化碳超高純氣體半導體制造超高純硫化氫純度≥99.99%,用于金屬硫化物薄膜制備與化學分析。

上海彌正超高純氧氣(5N 級純度),兼具醫療與電子制造雙重適配性,以 “高純度 + 低雜質” 滿足多元場景需求。采用深度冷凍與吸附提純工藝,將水分、二氧化碳、一氧化碳等雜質含量控制在 0.5ppb 以下,無異味、無有害污染物,符合醫用氣體 GB 8982-2024 標準與電子行業 SEMI 標準。在醫療領域,可用于重癥患者呼吸療愈、麻醉輔助與高壓氧艙療愈,提高血氧飽和度,促進患者康復;在電子制造領域,用于 ITO 薄膜濺射沉積,提升顯示面板與觸摸屏的導電性能與透光率。采用醫用與工業特用氣瓶分類包裝,醫用氣瓶經無菌處理,工業氣瓶配備高精度流量控制裝置,支持連續穩定輸送。某綜合醫院應用后,重癥患者率提升 10%,氧療不良反應發生率下降 60%;某電子企業使用后,ITO 薄膜透光率提升 2%,導電性能穩定,完全滿足醫療與電子行業的嚴苛要求。
上海彌正率先采用 100% 綠電(光伏與風電)驅動的電解水制氫工藝,生產超高純氫氣(6N 級純度),實現從生產源頭的低碳化,助力客戶達成 “雙碳” 目標。該工藝以純水為原料,通過可再生能源發電進行電解,全程無化石燃料消耗,每立方米氫氣的碳足跡較傳統工藝降低 95% 以上,完全符合清潔能源發展趨勢。經膜分離與催化脫氧組合提純后,氫氣純度穩定在 99.9999%,雜質含量≤1ppb,不僅可作為燃料電池汽車的重心燃料,為氫能交通提供動力,也可廣泛應用于光伏、半導體等行業的綠色制造流程。建立 “生產 - 使用 - 回收” 的閉環體系,為使用客戶配套氫氣回收與純化裝置,回收率可達 85%,回收后的氣體經處理可再次達到超高純標準循環使用。某新能源汽車企業應用該綠電制氫產品后,其燃料電池系統的碳排放量降低 60%,獲得歐盟 “綠色氫能” 認證;某光伏企業將其用于多晶硅還原,年碳排放減少 1.2 萬噸,成功入選綠色工廠名單。超高純氯化氫純度≥99.999%,是光伏行業多晶硅提純的關鍵試劑。

上海彌正超高純乙硼烷(5N 級純度),專為 FinFET、GAA(全環繞柵極)等先進晶體管結構的超淺結摻雜工藝設計,以 “超高純度 + 準確控制” 突破芯片制程瓶頸。采用低溫合成與精密吸附提純技術,將雜質含量控制在極低水平,其中磷、砷等雜質含量≤5ppt,水分含量≤10ppb,滿足 5nm 及以下先進制程對超淺結摻雜的嚴苛要求。在超淺結摻雜中,它能提供高濃度的硼離子,實現對半導體材料的準確、淺度摻雜,形成高性能的 P 型半導體層,其純度與穩定性直接影響結深控制精度與器件的閾值電壓,對提升晶體管開關性能至關重要。提供定制化的稀釋與輸送方案,可根據客戶工藝需求,將乙硼烷準確稀釋至 1-100ppm 的標準混合氣,采用不銹鋼管道輸送,配備在線濃度監測與自動報警系統,確保摻雜過程準確可控。某專注于先進制程的芯片設計與制造企業應用后,GAA 晶體管的閾值電壓波動范圍縮小至 ±0.02V,開關電流提升 20%,成功實現 5nm 制程芯片的穩定量產。超高純氚氣(雜質≤0.1ppm)用于核工業與放射性檢測設備。浙江丙烯超高純氣體核磁共振成像
超高純鍺烷純度達 99.99%,用于紅外光學薄膜與半導體制造。浙江順-2-丁烯超高純氣體
上海彌正創新推出 “現場制氣 + 純化” 一體化服務模式,為半導體、光伏等大規模連續生產企業提供高效、節能、穩定的超高純氣體供應,顛覆傳統瓶裝運輸模式。根據客戶的氣體需求量與純度要求,在客戶廠區內搭建小型化、模塊化的制氣與純化裝置,可現場生產氮氣、氬氣、氫氣等基礎氣體,并通過集成的提純系統將其升級至 5N-7N 級超高純標準,實現氣體的 “即產即用”。該模式省去了氣瓶運輸、存儲與更換的繁瑣流程,不僅大幅降低了運輸成本與碳排放,還徹底避免了長途運輸可能導致的氣體污染與純度衰減風險。配備遠程監控與智能運維系統,實時監測設備運行狀態與氣體純度,確保 24 小時穩定供應,運維響應時間≤2 小時。某大型光伏企業應用該模式后,超高純氫氣的供應成本降低 35%,氣體純度穩定性提升至 99.99%,年減少運輸相關碳排放超 2000 噸,生產連續性得到有力保障。浙江順-2-丁烯超高純氣體
上海彌正氣體有限公司是一家有著先進的發展理念,先進的管理經驗,在發展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創新,時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司,在上海市等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果,這些評價對我們而言是比較好的前進動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神,努力把公司發展戰略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同上海彌正氣體供應和您一起攜手走向更好的未來,創造更有價值的產品,我們將以更好的狀態,更認真的態度,更飽滿的精力去創造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!